一种显影机循环降温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种显影机循环降温装置，包括显影机，所述显影机的显影液槽上连通有循环降温机构，所述循环降温机构包括设置在所述显影机一侧的冷却水箱，所述冷却水箱中设有冷却管组件，所述冷却水箱的进液口与出液口均与循环降温管连接，所述循环降温管部分位于所述显影液槽内。本实用新型专利技术能够对显影槽内药液进行降温，避免其温度超标影响显影效果，有效提高产品良率。效提高产品良率。效提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】
一种显影机循环降温装置


[0001]本技术涉及显影机降温
，具体涉及一种显影机循环降温装置。

技术介绍

[0002]在半导体行业中，显影是一个非常重要的步骤，通过将电路板放入显影槽内，显影槽内的药液将电路板上未曝光的阻焊层溶解掉，使已曝光固化的阻焊图形部分显像出来。
[0003]在显影机的显影过程中需要使用显影液显影，由于显影液为碱性，一般为含浓度0.8％
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1.2％碳酸钠的化学药品。现有的显影机在长时间的显影过程中机器散热会导致药液温度升高，水的电离将增加，使得氢离子和氢氧根离子都增大，使得药液PH值增大，影响显影效果，可能导致显影不净、阻焊桥脱落，不良品率较高。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于：提供一种显影机循环降温装置，能够对显影槽内药液进行降温，避免其温度超标影响显影效果，有效提高产品良率。
[0005]为实现上述目的，本技术所采取的技术方案是：一种显影机循环降温装置，包括显影机，所述显影机的显影液槽上连通有循环降温机构，所述循环降温机构包括设置在所述显影机一侧的冷却水箱，所述冷却水箱中设有冷却管组件，所述冷却水箱的进液口与出液口均与循环降温管连接，所述循环降温管部分位于所述显影液槽内。
[0006]本技术更进一步改进方案是，所述循环降温管包括与所述冷却水箱连接的主管，所述主管上、位于所述显影液槽内的部分分叉设有若干根降温细管，若干根所述降温细管分散设置在所述显影液槽内。
[0007]本技术更进一步改进方案是，所述冷却管组件包括螺旋设置在所述冷却水箱内的冷却管，所述冷却管的两端穿出所述冷却水箱并与制冷空压机连接。
[0008]本技术更进一步改进方案是，所述冷却水箱中设有防浮固定杆，所述防浮固定杆穿过螺旋设置的所述冷却管，所述防浮固定杆的两端与所述冷却水箱的内壁卡接。
[0009]本技术更进一步改进方案是，所述冷却水箱的进液口设置在所述出液口上方，所述循环降温管上设有抽水泵。
[0010]本技术更进一步改进方案是，所述进液口设置在所述冷却水箱的上端，所述出液口设置在所述冷却水箱的下端，所述进液口和出液口内均设有过滤网。
[0011]本技术更进一步改进方案是，所述冷却水箱上端开口且密封连接有箱盖，所述冷却水箱和箱盖上均设有保温棉层。
[0012]本技术更进一步改进方案是，所述降温细管至少为三根。
[0013]本技术的有益效果在于：
[0014]第一、本技术通过循环降温管部分位于所述显影液槽内，能够对显影液槽内药液进行降温，降温效果好，避免药液温度超标导致其PH值变化影响显影效果，有效提高产品良率，且冷却水循环使用，节能环保，降低生产成本。
[0015]第二、本技术通过所述主管上、位于所述显影液槽内的部分分叉设有若干根降温细管，相较于单根粗管放置在显影液槽内，降温细管有效提高了与显影液的接触面积，因此提高了降温换热效率，提高降温效果，且分散设置可灵活调整放置位置，提高降温范围，避免局部降温效果不佳。
[0016]第三、本技术通过将冷却管螺旋设置，在有限的冷却水箱范围内提高冷却管的长度，增加与冷却水的接触面积，进而增强冷却效果。
[0017]第四、本技术的防浮固定杆穿过螺旋设置的所述冷却管，所述防浮固定杆的两端与所述冷却水箱的内壁卡接，避免使用风冷式空压机时冷风在冷却管内带动冷却管浮动的现象发生，浮动会导致冷却管部分浮出冷却水导致冷却效果下降，提高装置稳定性和能源利用效率。
[0018]第五、本技术通过在冷却水箱和箱盖上均设有保温棉层，减少冷气外散，提高冷却水箱的保温效果，进而减少能源浪费。
[0019]第六、本技术设置了冷却水箱，通过在冷却水箱外接制冷空压机进行冷却，相较于大型冷气机降温的降温成本低，节约能源，维护方便且维护成本低，实用性强。
[0020]附图说明：
[0021]图1为本技术的结构俯视示意图。
[0022]图2为本技术的冷却水箱的结构主视剖面示意图。
[0023]图中，1
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显影机，2
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显影液槽，3
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循环降温机构，4
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冷却水箱，5
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进液口，6
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出液口，8
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主管，9
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降温细管，10
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冷却管，11
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制冷空压机，12
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防浮固定杆，13
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抽水泵，14
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过滤网，15
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箱盖，16
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保温棉层。
[0024]具体实施方式：
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]结合图1~图2可知，一种显影机循环降温装置，包括显影机1，所述显影机1的显影液槽2上连通有循环降温机构3，所述循环降温机构3包括设置在所述显影机1一侧的冷却水箱4，所述冷却水箱4中设有冷却管组件，所述冷却水箱4的进液口5与出液口6均与循环降温管连接，所述循环降温管部分位于所述显影液槽2内。
[0028]所述循环降温管包括与所述冷却水箱4连接的主管8，所述主管8上、位于所述显影液槽2内的部分分叉设有若干根降温细管9，若干根所述降温细管9分散设置在所述显影液槽2内。所述降温细管9至少为三根。所述显影液槽2上端设有玻璃观察盖。
[0029]所述冷却管组件包括螺旋设置在所述冷却水箱4内的冷却管10，所述冷却管10的两端穿出所述冷却水箱4并与制冷空压机11连接。
[0030]所述冷却水箱4中设有防浮固定杆12，所述防浮固定杆12穿过螺旋设置的所述冷却管10，所述防浮固定杆12的两端与所述冷却水箱4的内壁卡接。所述防浮固定杆12还可与
冷却水箱4的内角卡接，固定效果更佳。
[0031]所述制冷空压机11可为风冷式制冷空压机或水冷式制冷空压机，且优选为风冷式制冷空压机，降低生产成本。所述防浮固定杆12可避免冷风在冷却管10内时带动冷却管10浮动的现象发生，浮动会导致冷却管10部分浮出冷却水导致冷却效果下降，提高装置稳定性和能源利用效率。
[0032]所述冷却水箱4的进液口5设置在所述出液口6上方，所述循环降温管上设有抽水泵13。避免进液时箱内冷却水反溢。
[0033]所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种显影机循环降温装置，包括显影机（1），其特征在于：所述显影机（1）的显影液槽（2）上连通有循环降温机构（3），所述循环降温机构（3）包括设置在所述显影机（1）一侧的冷却水箱（4），所述冷却水箱（4）中设有冷却管组件，所述冷却水箱（4）的进液口（5）与出液口（6）均与循环降温管连接，所述循环降温管部分位于所述显影液槽（2）内。2.根据权利要求1所述的一种显影机循环降温装置，其特征在于：所述循环降温管包括与所述冷却水箱（4）连接的主管（8），所述主管（8）上、位于所述显影液槽（2）内的部分分叉设有若干根降温细管（9），若干根所述降温细管（9）分散设置在所述显影液槽（2）内。3.根据权利要求1所述的一种显影机循环降温装置，其特征在于：所述冷却管组件包括螺旋设置在所述冷却水箱（4）内的冷却管（10），所述冷却管（10）的两端穿出所述冷却水箱（4）并与制冷空压机（11）连接。4.根据权利要求3所述的一种显影机循环...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗会益，杨淳钦，陈兴国，
申请(专利权)人：涟水县苏杭科技有限公司，
类型：新型
国别省市：