本发明专利技术公开了一种芯片智能制造用的自动化在线分析气体监测设备，涉及芯片制造技术领域，包括加工台、蚀刻箱和监测分析箱，所述加工台的顶部外侧连接有阻挡层，且阻挡层的内侧连接有蚀刻箱，所述蚀刻箱的顶部外侧设置有抽气组件。本发明专利技术在线检测器出现检测精度误差时，输水管能向对接管内注入清水，这使得清水能通过对接管流入至连通管内侧，氟化氢具有较强的溶水性，并且与水互溶会形成氢氟酸，这使得清水在连通管、分流管以及在线检测器内部流动时，能与残留在管道内的氟化氢充分融合，并且能将融合的氢氟酸通过水流带离连通管、分流管以及在线检测器，清水流过在线检测器后，能通过第四抽吸泵的抽吸流入至排废箱内的废水室进行储存。进行储存。进行储存。
【技术实现步骤摘要】
一种芯片智能制造用的自动化在线分析气体监测设备
[0001]本专利技术涉及芯片制造
，具体为一种芯片智能制造用的自动化在线分析气体监测设备。
技术介绍
[0002]芯片制造过程中的刻蚀与杂物清除等工序中,通常需要使用到高纯度氟化氢进行辅助刻蚀与清杂，但高纯度氟化氢具有较强的毒性，故而在芯片进行蚀刻的步骤中，需要实时监测氟化氢是否发生泄漏。
[0003]氟化氢具有较强的附着性，市场上的常见的芯片制造用气体监测设备在长时间使用后，其内部会附着大量的氟化氢，这会严重影响气体监测设备的监测精度。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种芯片智能制造用的自动化在线分析气体监测设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种芯片智能制造用的自动化在线分析气体监测设备，包括加工台、蚀刻箱和监测分析箱，所述加工台的顶部外侧连接有阻挡层，且阻挡层的内侧连接有蚀刻箱，所述蚀刻箱的顶部外侧设置有抽气组件，所述抽气组件包括抽气箱体、第一抽吸泵、第一抽气管、输送管、连通管、第二抽吸泵、第二抽气管和第一抽气吸嘴，所述抽气箱体内侧底部设置有第一抽吸泵，且第一抽吸泵的底部外侧连接有第一抽气管，所述第一抽吸泵的前部外侧连接有输送管，且输送管的末端连接有连通管，所述抽气箱体的顶部内侧安装有第二抽吸泵，且第二抽吸泵的外侧四周连接有第二抽气管，所述第二抽气管的末端连接有第一抽气吸嘴，所述监测分析箱安置于蚀刻箱的前部外侧，所述连通管的末端连接有分流管，且分流管的末端连接有在线检测器，所述在线检测器的前部外侧设置有通入管，且通入管外侧连接有第三抽吸泵，所述第三抽吸泵的外端连接有第二抽气吸嘴，所述在线检测器的外侧表面连接有排废管，且排废管的末端连接有第四抽吸泵，所述第四抽吸泵外侧设置有排出管，所述排出管的末端连接有排废组件，所述连通管的外部两端连接有回流管，且回流管的末端连接有回流组件，所述连通管的外侧中端连接有清洁组件。
[0006]进一步的，所述蚀刻箱包括箱体、连接板、电推杆、波纹输气管和风扇，所述箱体的外部两侧设置有连接板，且连接板的顶部外侧连接有电推杆，所述箱体的外部两侧连接有波纹输气管，且箱体的内部两侧设置有风扇。
[0007]进一步的，所述箱体的外轮廓与阻挡层的内轮廓尺寸一致，且箱体与加工台呈垂直状分布。
[0008]进一步的，所述连通管通过分流管与在线检测器相连通，且在线检测器共设置有两个。
[0009]进一步的，所述排废组件包括排废箱、控流管、废气室、排出口和废水室，所述排废
箱的内侧中端连接有控流管，且控流管的左端连接有废气室，所述排废箱的外部两侧开设有排出口，所述排废箱的右部内侧安置有废水室。
[0010]进一步的，所述废气室与废水室沿排废箱、的竖直中心线对称分布，且排出管通过控流管与废气室、废水室相连通。
[0011]进一步的，所述回流组件包括回流箱体、第五抽吸泵和流入管，所述回流箱体的内侧中端连接有第五抽吸泵，且第五抽吸泵的外部两侧连接有流入管。
[0012]进一步的，所述回流管通过第五抽吸泵与流入管相连通，且第五抽吸泵沿蚀刻箱的竖直中心线对称分布。
[0013]进一步的，所述清洁组件包括对接管、输水管和高温热气管，所述对接管的右侧上方连接有输水管，且对接管的右侧下方连接有高温热气管。
[0014]进一步的，所述输水管通过对接管与连通管相连通，且对接管与输水管、高温热气管为一体化。
[0015]本专利技术提供了一种芯片智能制造用的自动化在线分析气体监测设备，具备以下有益效果：通入管和分流管均为双通管，这使得通入管和分流管在对采集的气体进行运输时，能均匀的将采集的氟化氢传输至两个在线检测器的内部，两个在线检测器可同时对采集的气体进行检测，并且在检测完成后，两个在线检测器可将获得的数据进行对比，若结果相近，则设备会采用该检测结果，若两个在线检测器具有较大检测误差，设备会控制两个在线检测器进行再次对比检测，这能极大的降低使用单个在线检测器造成的检测误差，在线检测器出现检测精度误差时，输水管能向对接管内注入清水，这使得清水能通过对接管流入至连通管内侧，氟化氢具有较强的溶水性，并且与水互溶会形成氢氟酸，这使得清水在连通管、分流管以及在线检测器内部流动时，能与残留在管道内的氟化氢充分融合，并且能将融合的氢氟酸通过水流带离连通管、分流管以及在线检测器。
[0016]1、本专利技术通过第二抽吸泵工作，能使吸力通过第二抽气管传递至第一抽气吸嘴外侧，这使得第一抽气吸嘴能将其外侧的空气吸入至抽气箱体的内侧，在完成抽气后，第二抽吸泵能将抽出的空气通过连通管传递至分流管内侧，分流管末端连接有在线检测器，这使得抽出的空气能传递至在线检测器内部进行检测，此外通过第三抽吸泵进行工作，能使第二抽气吸嘴将外界的空气输入至通入管内，因通入管与在线检测器进行连通，这使得在线检测器也可对第二抽气吸嘴吸入的空气进行检查，因第二抽气吸嘴安置在蚀刻箱的前段，而第一抽气吸嘴分布在抽气箱体的外侧四周，这使得在线检测器采集的外界气体范围可以扩大，这能避免小范围采集样本空气造成的检测结果不准确的情况发生，同时这也能提升设备的检测精度。
[0017]2、本专利技术通入管和分流管均为双通管，这使得通入管和分流管在对采集的气体进行运输时，能均匀的将采集的氟化氢传输至两个在线检测器的内部，两个在线检测器可同时对采集的气体进行检测，并且在检测完成后，两个在线检测器可将获得的数据进行对比，若结果相近，则设备会采用该检测结果，若两个在线检测器具有较大检测误差，设备会控制两个在线检测器进行再次对比检测，这能极大的降低使用单个在线检测器造成的检测误差，此外若两个在线检测器超过三次检测误差较大，设备可向外界发出故障信号，这使得在线检测器能在进行气体检测的过程中还能进行自检，这能极大降低在线检测器故障造成的检测错误，这使得设备的使用稳定性和检测精度能得到提升。
[0018]3、本专利技术氟化氢进入第一抽吸泵内侧后，能通过输送管传递至连通管内侧，这使得氟化氢气体能通过连通管流入至在线检测器内侧进行浓度检测，在线检测器检测氟化氢浓度达标后，第五抽吸泵工作，能将连通管内的氟化氢气体通过回流管吸入至第五抽吸泵内侧储存，并且在后续的芯片蚀刻时，第五抽吸泵工作能将氟化氢气体通过流入管注入至箱体内侧，这使得设备会优先使用来自第五抽吸泵的氟化氢进行蚀刻，通过设备对残留氟化氢的抽出收集、检测以及再利用，能使芯片蚀刻完成后的取出便利化，同时也能降低氟化氢的消耗量，这能降低芯片的蚀刻成本，同时也能降低废弃的氟化氢气体处理压力。
[0019]4、本专利技术在线检测器出现检测精度误差时，输水管能向对接管内注入清水，这使得清水能通过对接管流入至连通管内侧，氟化氢具有较强的溶水性，并且与水互溶会形成氢氟酸，这使得清水在连通管、分流管以及在线检测器内部流动时，能与残留在管道内的氟化氢充分融合，并且能将融合的氢氟酸通过水流带离连通管、分流管以及在线检测器，清水流过在线检测器后，能通过第四抽吸本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种芯片智能制造用的自动化在线分析气体监测设备，其特征在于，包括加工台（1）、蚀刻箱（3）和监测分析箱（5），所述加工台（1）的顶部外侧连接有阻挡层（2），且阻挡层（2）的内侧连接有蚀刻箱（3），所述蚀刻箱（3）的顶部外侧设置有抽气组件（4），所述抽气组件（4）包括抽气箱体（401）、第一抽吸泵（402）、第一抽气管（403）、输送管（404）、连通管（405）、第二抽吸泵（406）、第二抽气管（407）和第一抽气吸嘴（408），所述抽气箱体（401）内侧底部设置有第一抽吸泵（402），且第一抽吸泵（402）的底部外侧连接有第一抽气管（403），所述第一抽吸泵（402）的前部外侧连接有输送管（404），且输送管（404）的末端连接有连通管（405），所述抽气箱体（401）的顶部内侧安在有第二抽吸泵（406），且第二抽吸泵（406）的外侧四周连接有第二抽气管（407），所述第二抽气管（407）的末端连接有第二抽吸泵（406），所述监测分析箱（5）安置于蚀刻箱（3）的前部外侧，所述连通管（405）的末端连接有分流管（6），且分流管（6）的末端连接有在线检测器（7），所述在线检测器（7）的前部外侧设置有通入管（8），且通入管（8）外侧连接有第三抽吸泵（9），所述第三抽吸泵（9）的外端连接有第二抽气吸嘴（10），所述在线检测器（7）的外侧表面连接有排废管（11），且排废管（11）的末端连接有第四抽吸泵（12），所述第四抽吸泵（12）外侧设置有排出管（13），所述排出管（13）的末端连接有排废组件（14），所述连通管（405）的外部两端连接有回流管（15），且回流管（15）的末端连接有回流组件（16），所述连通管（405）的外侧中端连接有清洁组件（17）。2.根据权利要求1所述的一种芯片智能制造用的自动化在线分析气体监测设备，其特征在于，所述蚀刻箱（3）包括箱体（301）、连接板（302）、电推杆（303）、波纹输气管（304）和风扇（305），所述箱体（301）的外部两侧设置有连接板（302），且连接板（302）的顶部外侧连接有电推杆（303），所述箱体（301）的外部两侧连接有波纹输气管（304），且箱体（301）的内部两侧设置有风扇（305）。3.根据权利要求2所述的一种芯片智能制造用的自动化在线分析气体监测设备，其特征在于，所述箱体（301）的外轮廓与阻挡层（...
【专利技术属性】
技术研发人员：张实岭，
申请(专利权)人：常州信凯峰精密仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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