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本发明公开了一种芯片智能制造用的自动化在线分析气体监测设备，涉及芯片制造技术领域，包括加工台、蚀刻箱和监测分析箱，所述加工台的顶部外侧连接有阻挡层，且阻挡层的内侧连接有蚀刻箱，所述蚀刻箱的顶部外侧设置有抽气组件。本发明在线检测器出现检测精度...
该专利属于常州信凯峰精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州信凯峰精密仪器有限公司授权不得商用。

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