一种用于晶圆蚀刻机荧光式温度传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及荧光式温度传感器技术领域，尤其为一种用于晶圆蚀刻机荧光式温度传感器，包括感温探头，所述感温探头包括锥形外壳，所述锥形外壳外侧设有连接螺纹，所述锥形外壳内部设有通孔，且所述通孔内部设有光缆，所述光缆远离感温探头的一端设有光纤连接器，通过采用斜面螺纹一体式安装，使得该荧光式温度传感器可以根据蚀刻机的使用情况无需复杂的安装方式，安装方便，且探头顶部用金属帽封装，导热性好，精确度高，响应速度快。响应速度快。响应速度快。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆蚀刻机荧光式温度传感器


[0001]本技术涉及荧光式温度传感器
，具体为一种用于晶圆蚀刻机荧光式温度传感器。

技术介绍

[0002]晶圆是制造半导体器件基础原料，晶圆蚀刻机是最主要的设备之一，他通过腐蚀作用将晶圆表面不需要的材料去除，蚀刻时需将承载有晶圆的托盘放置在腔体内的静电卡盘上，为使静电卡盘拥有比较大的升温速度，提高晶圆刻蚀的均匀性，所以静电卡盘表面反应区的温度对稳定工艺至关重要，直接影响蚀刻速率和选择比，现有的静电卡盘通常由卡盘本体和调温基座组成，卡盘本体通过与被吸附的晶圆进行热交换，对晶圆的温度进行调节，进行热交换需探测出卡盘本体的温度，可以间接调节晶圆的温度，探测其温度则需在卡盘本体工作区域安装感应温度的器件，此器件为温度传感器。
[0003]现有的温度传感器通常是电子式，电子式温度传感器的测温稳定性和精度容易受电磁干扰，刻蚀机的反应区存在较强射频场，射频场的磁场干扰会影响电子式温度传感器的稳定性，进而对静电卡盘的温度控制带来不稳定性，而且，电子式传感器的感温物质和导线通常是金属材料，良好的导体也是良好的导热体，传感器自身对温度的吸收和传导影响了测温的精度。
[0004]因此需要一种用于晶圆蚀刻机荧光式温度传感器对上述问题做出改善。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种用于晶圆蚀刻机荧光式温度传感器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种用于晶圆蚀刻机荧光式温度传感器，包括感温探头，所述感温探头包括锥形外壳，所述锥形外壳外侧设有连接螺纹，所述锥形外壳内部设有通孔，且所述通孔内部设有光缆，所述光缆远离感温探头的一端设有光纤连接器。
[0008]作为本技术优选的方案，所述光缆包括设在感温探头与光纤连接器之间的保护套，保护套内部设有光纤。
[0009]作为本技术优选的方案，所述光纤远离光纤连接器的一端穿过通孔与感温物质连接。
[0010]作为本技术优选的方案，所述光纤连接器是ST类型。
[0011]作为本技术优选的方案，所述锥形外壳采用塑料材质制成，其材质是PTFE材质。
[0012]作为本技术优选的方案，所述锥形外壳一侧且位于通孔的一侧开设有定位孔，所述锥形外壳一侧且与定位孔齐平的位置镶嵌连接有金属帽，所述金属帽一侧设有感温物质，所述金属帽采用导热性能好的材质制成，如铜合金、铝合金。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1.本技术中，安装时感温探头通过连接螺纹拧入基座，感温探头的斜面镶嵌在静电卡盘，感温探头的金属帽与晶圆托盘接触，光缆与光纤连接器露出基座外面，通过采用斜面螺纹一体式安装，使得该荧光式温度传感器可以根据蚀刻机的使用情况无需复杂的安装方式，安装方便，且探头顶部用金属帽封装，导热性好，精确度高，响应速度快。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图；
[0016]图2为本技术的整体内部结构示意图；
[0017]图3为本技术的感温探头内部结构示意图；
[0018]图4为本技术的安装状态结构示意图。
[0019]图中：1、感温探头；11、锥形外壳；12、金属帽；13、感温物质；14、连接螺纹；15、通孔；16、定位孔；2、光缆；21、保护套；22、光纤；3、光纤连接器。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例,基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]为了便于理解本技术，下面将参照相关附图对本技术进行更全面的描述。给出了本技术的若干实施例。但是，本技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容更加透彻全面。
[0022]需要说明的是，当元件被称为“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0023]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0024]请参阅图1
‑
4，本技术提供一种技术方案：
[0025]一种用于晶圆蚀刻机荧光式温度传感器，包括感温探头1，感温探头1包括锥形外壳11，锥形外壳11外侧设有连接螺纹14，锥形外壳11内部设有通孔15，锥形外壳11一侧且位于通孔15的一侧开设有定位孔16，锥形外壳11 一侧且与定位孔16齐平的位置镶嵌连接有金属帽12，金属帽12内部固定连接有感温物质13，且通孔15内部设有光缆2，光缆2远离感温探头1的一端设有光纤连接器3。
[0026]实施例，请参照图2和图3，光缆2包括设在感温探头1与光纤连接器3 之间的保护套21，保护套21内部设有光纤22。
[0027]实施例，请参照图1、图2和图3，光纤22远离光纤连接器3的一端穿过通孔15与感温物质13连接。
[0028]实施例，请参照图1、图2、图3和图4，光纤连接器3是ST类型，锥形外壳11采用塑料材质制成，其材质是PTFE材质。
[0029]实施例，请参照图2和图3，锥形外壳11一侧且位于通孔15的一侧开设有定位孔16，锥形外壳11一侧且与定位孔16齐平的位置镶嵌连接有金属帽 12，金属帽12一侧设有感温物质13，金属帽12采用导热性能好的材质制成，如铜合金、铝合金。
[0030]工作原理：安装时感温探头1通过连接螺纹14拧入基座，感温探头1的斜面镶嵌在静电卡盘，感温探头1的金属帽12与晶圆托盘接触，光缆2与光纤连接器3露出基座外面，通过采用斜面螺纹一体式安装，使得该荧光式温度传感器可以根据蚀刻机的使用情况无需复杂的安装方式，安装方便，且探头顶部用金属帽12封装，导热性好，精确度高，响应速度快。
[0031]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆蚀刻机荧光式温度传感器，包括感温探头(1)，其特征在于：所述感温探头(1)包括锥形外壳(11)，所述锥形外壳(11)外侧设有连接螺纹(14)，所述锥形外壳(11)内部设有通孔(15)，且所述通孔(15)内部设有光缆(2)，所述光缆(2)远离感温探头(1)的一端设有光纤连接器(3)。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆蚀刻机荧光式温度传感器，其特征在于：所述光缆(2)包括设在感温探头(1)与光纤连接器(3)之间的保护套(21)，保护套(21)内部设有光纤(22)。3.根据权利要求1或2所述的一种用于晶圆蚀刻机荧光式温度传感器，其特征在于：所述光纤(22)远离光纤连接器(3)的一端穿过通孔...

【专利技术属性】
技术研发人员：李泽平，董永成，张闯，何丽，
申请(专利权)人：深圳阿珂法先进科技有限公司，
类型：新型
国别省市：