一种定位装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及晶圆定位技术领域，具体涉及一种定位装置及方法。该定位装置包括：旋转载台、图像定位组件、反射发光件和检测定位件。其中，旋转载台用于放置待测物，并可调整待测物的方位，且旋转载台的外缘位于待测物外缘的内侧；图像定位组件用于从待测物放置后远离旋转载台的一侧获取待测物的图像并进行定位检测；反射发光件设在待测物伸出旋转载台部分的另一侧，用于为待测物提供照明，并反射待测物至设定方位；检测定位件设于反射发光件的反射光路，用于通过反射发光件获取待测物的图像并进行定位检测。本方案能够解决现有技术中的定位装置适配性低，当背面不透光的待测物背面朝向定位装置时，难以定位的问题。难以定位的问题。难以定位的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种定位装置及方法


[0001]本专利技术涉及晶圆定位
，具体涉及一种定位装置及方法。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展，半导体加工过程涉及多种工艺，每种工艺需要用到不同的设备，很多工艺都需要预先获得晶圆准确的位置状态，现有技术中，作为半导体设备的关键部位之一的晶圆对准装置。
[0003]现有技术中通常采用激光定位或者图像定位配合转台旋转的方法来获得晶圆的位置信息，实现晶圆对准。
[0004]但是，现有技术中激光定位系统结构虽然简单，但是成本高。精度低，定位成功率较低，已经逐渐不能满足实际工业需求。采用图像定位的方式，适应适配晶圆类型少，例如有背面不透光的待测物，在背面朝向定位装置时，定位装置就无法对待测物进行定位。若增设定位装置，也存在没有安装空间的问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中存在的缺陷，本专利技术的目的在于提供一种定位装置及方法，能够解决现有技术中的定位装置适配性低，当背面不透光的待测物背面朝向定位装置时，难以定位的问题。
[0006]为达到以上目的，本专利技术采取的技术方案是：
[0007]一方面，本专利技术提供一种定位装置，包括：
[0008]旋转载台，其用于放置待测物，并可调整待测物的方位，且所述旋转载台的外缘位于所述待测物外缘的内侧；
[0009]图像定位组件，其用于从所述待测物放置后远离所述旋转载台的一侧获取所述待测物的图像，并根据所述待测物对应在所述图像中标记点的坐标，确定所述待测物的方位；
[0010]反射发光件，其设在所述待测物伸出所述旋转载台部分的另一侧，用于为所述待测物提供照明，并反射所述待测物至设定方位；
[0011]检测定位件，其设于所述反射发光件的反射光路，用于通过所述反射发光件获取所述待测物的图像，根据所述待测物对应在所述图像中标记点的坐标，确定所述待测物的方位。
[0012]在一些可选的方案中，所述图像定位组件包括第一图像定位机构和第二图像定位机构中的至少一种，所述第一图像定位机构位于所述待测物的中部，用于获取所述待测物的全局图像并进行定位检测，所述第二图像定位机构位于所述待测物伸出所述旋转载台的部分，用于获取所述待测物的局部图像并进行定位检测。
[0013]在一些可选的方案中，所述第一图像定位机构包括：
[0014]第一光源，其设于所述待测物放置后远离所述旋转载台的一侧，用于为所述待测物提供照明；
[0015]第一图像定位件，其设于所述待测物放置后远离所述旋转载台的一侧，用于获取所述待测物的全局图像并进行定位检测。
[0016]在一些可选的方案中，所述第一光源包括两个分别位于所述第一图像定位件获取图像光路两侧的线光源。
[0017]在一些可选的方案中，所述第一图像定位机构还包括开孔光源，其套设在所述旋转载台外侧。
[0018]在一些可选的方案中，所述第二图像定位机构包括：
[0019]第二光源，其设于所述待测物放置后远离所述旋转载台的一侧，用于为所述待测物提供照明；
[0020]第二图像定位件，其设于所述待测物放置后远离所述旋转载台的一侧，用于获取所述待测物的局部图像并进行定位检测。
[0021]在一些可选的方案中，所述第一图像定位件、第二图像定位件和检测定位件均包括相机和定位检测模块，所述相机用于获取所述待测物的图像，所述定位检测模块用于获取所述待测物对应在图像中标记点的坐标，并根据所述图像中标记点的位置，确定所述待测物的方位。
[0022]在一些可选的方案中，所述第二光源为外同轴光源。
[0023]在一些可选的方案中，所述反射发光件为转角同轴光源，反射角度为度。
[0024]另一方面，本专利技术还提供一种定位方法，利用上述的定位装置实现，包括以下步骤：
[0025]当背面不透光的待测物背面朝向旋转载台时，采用图像定位组件获取待测物的图像，并根据所述待测物对应在所述图像中标记点的坐标，确定所述待测物的方位；
[0026]当背面不透光的待测物背面背向旋转载台时，通过反射发光件为所述待测物朝向所述旋转载台的一侧提供照明，利用设置在所述反射发光件反射光路检测定位件获取待测物的图像，并根据所述待测物对应在所述图像中标记点的坐标，确定所述待测物的方位。
[0027]与现有技术相比，本专利技术的优点在于：当背面不透光的待测物背面朝向旋转载台时，采用图像定位组件获取待测物的图像，并根据待测物对应在图像中标记点的坐标，确定待测物的方位；当背面不透光的待测物背面背向旋转载台时，通过反射发光件为待测物提供照明，利用设置在反射发光件反射光路上的检测定位件获取待测物的图像，并根据待测物对应在图像中标记点的坐标，确定待测物的方位。对于背面透光的待测物，既可通过图像定位组件获取待测物的图像对其进行定位检测，还采用反射发光件和检测定位件的配合获取待测物的图像，对其进行定位检测。当检测到待测物中标记点的坐标对应的方位不满足设定方位要求时，可通过旋转载台调整待测物的方位，以使待测物中标记点的坐标满足要求。
[0028]本方案利用反射发光件，可使检测定位件改变设置位置，减少与其他零部件发生安装冲突干扰的可能性，提高空间的利用率。并解决了背面不透光待测物因空间不够无法拍摄的问题，给空间较小的检测方案提供了解决思路。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使
用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1为本专利技术实施例中定位装置的结构示意图。
[0031]图中：1、旋转载台；2、待测物；3、图像定位组件；31、第一图像定位机构；311、第一光源；312、第一图像定位件；313、开孔光源；32、第二图像定位机构；321、第二光源；322、第二图像定位件；4、反射发光件；5、检测定位件；6、驱动机构。
具体实施方式
[0032]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0033]以下结合附图对本专利技术的实施例作进一步详细说明。
[0034]如图1所示，本专利技术提供一种定位装置，包括：旋转载台1、图像定位组件3、反射发光件4和检测定位件5。
[0035]其中，旋转载台1用于放置待测物2，并可调整待测物2的方位，且旋转载台1的外缘位于待测物2外缘的内侧；图像定位组件3用于从待测物2放置后远离旋转载台1的一侧获取待测物2的图像，并根据待测物2对应在图像中标记点的坐标，确定待测物2的方位；反射发光件4设在待测物2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种定位装置，其特征在于，包括：旋转载台(1)，其用于放置待测物(2)，并可调整待测物(2)的方位，且所述旋转载台(1)的外缘位于所述待测物(2)外缘的内侧；图像定位组件(3)，其用于从所述待测物(2)放置后远离所述旋转载台(1)的一侧获取所述待测物(2)的图像，并根据所述待测物(2)对应在所述图像中标记点的坐标，确定所述待测物(2)的方位；反射发光件(4)，其设在所述待测物(2)伸出所述旋转载台(1)部分的另一侧，用于为所述待测物(2)提供照明，并反射所述待测物(2)至设定方位；检测定位件(5)，其设于所述反射发光件(4)的反射光路，用于通过所述反射发光件(4)获取所述待测物(2)的图像，根据所述待测物(2)对应在所述图像中标记点的坐标，确定所述待测物(2)的方位。2.如权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述图像定位组件(3)包括第一图像定位机构(31)和第二图像定位机构(32)中的至少一种，所述第一图像定位机构(31)位于所述待测物(2)的中部，用于获取所述待测物(2)的全局图像并进行定位检测，所述第二图像定位机构(32)位于所述待测物(2)伸出所述旋转载台(1)的部分，用于获取所述待测物(2)的局部图像并进行定位检测。3.如权利要求2所述的定位装置，其特征在于，所述第一图像定位机构(31)包括：第一光源(311)，其设于所述待测物(2)放置后远离所述旋转载台(1)的一侧，用于为所述待测物(2)提供照明；第一图像定位件(312)，其设于所述待测物(2)放置后远离所述旋转载台(1)的一侧，用于获取所述待测物(2)的全局图像并进行定位检测。4.如权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述第一光源(311)包括两个分别位于所述第一图像定位件(312)获取图像光路两侧的线光源。5...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦晨，张虎，王进文，邓俊涛，欧昌东，
申请(专利权)人：武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：