用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置及抛光垫制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置等，该用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置包括：原料混合部，用于制备包括预聚物和发泡剂的混合原料，过滤单元，与上述原料混合部连接，对上述混合原料进行过滤，以及垫组合物形成部，与上述过滤单元连接，以制备包含过滤后的混合原料和固化剂的可固化混合物；上述原料混合部包括具有彼此不同的转速的多个旋转工具。多个旋转工具。多个旋转工具。

【技术实现步骤摘要】
用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置及抛光垫制备方法


[0001]实施方式涉及用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置、抛光垫的制备方法等。

技术介绍

[0002]化学机械平坦化(Chemical Mechanical Polishing，CMP)工艺是以化学和机械方式使如晶圆表面等的抛光对象的凹凸部分平坦化的工艺。就晶圆(wafer)而言，在将抛光对象附着于抛光头并与形成在平台(platen)上的抛光垫的表面接触的状态下，通过供应浆料来使晶圆表面发生化学反应，以使平台和抛光头相对运动的方式进行平坦化的情况较多。
[0003]抛光垫所含的抛光层是在化学机械平坦化工艺中起重要作用的必不可少的原材料之一。
[0004]化学机械抛光工艺的抛光效率和抛光后的被抛光物体的质量，受化学机械抛光设备、浆料组合物的组成及抛光垫的形状和物理性能等的很大影响。
[0005]抛光垫通常由聚氨酯制成。例如，制备通过混合预聚物(prepolymer)、发泡剂、固化剂等，将混合物放入模具中并进行固化反应而形成的聚氨酯，对该聚氨酯进行加工，从而可以制成抛光垫。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1韩国授权专利第10
‑
0467765号(2005.01.13.)
[0009]专利文献2韩国授权专利第10
‑
1894071号(2018.08.31.)

技术实现思路

[0010]技术问题
[0011]实施方式提供一种能够有效地混合用于制备抛光垫的原料，并且能够在原料混合过程中去除原料中所含的金属异物的技术。
[0012]解决问题的方案
[0013]根据一实施方式的用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置包括：原料混合部，用于制备包括预聚物和发泡剂的混合原料；过滤单元，与上述原料混合部连接，对上述混合原料进行过滤；及垫组合物形成部，与上述过滤单元连接，以制备包含过滤后的混合原料和固化剂的可固化混合物。
[0014]上述原料混合部可以包括具有彼此不同的转速的多个旋转工具。
[0015]上述过滤单元可以包括用于从上述混合原料中分离金属物质的第二过滤器部。
[0016]上述过滤单元可以包括：第一过滤器部，用于根据尺寸过滤上述混合原料；以及第二过滤器部，用于从上述混合原料中分离金属物质。
[0017]上述第一过滤器部可以包括：过滤器外壳，供上述混合原料移动；及过滤器构件，设置在上述过滤器外壳中，供上述混合原料通过。
[0018]上述过滤器构件供预定尺寸以下的上述混合原料通过。
[0019]上述第二过滤器部可以包括：过滤器外壳，供上述混合原料通过；及支架，设置在上述过滤器外壳中，与通过的上述混合原料接触；及磁体，设置在上述支架内部并产生磁力。
[0020]上述金属物质通过上述磁力附着到上述支架的外周，从上述混合原料中被去除。
[0021]在上述过滤器外壳的内部设置有上述支架所在的过滤器空间。
[0022]在上述过滤器外壳的下侧的外周，设有供上述混合原料流入到上述过滤器空间的入口，其可以沿着上述外周的接线方向设置。
[0023]在上述过滤器外壳的上侧的外周，设有用于排出上述混合原料的出口，上述混合原料为经由上述过滤器空间且分离上述金属物质的混合原料。
[0024]上述出口可以以平行于上述接线方向设置。
[0025]上述入口和上述出口可以隔着上述支架在对角线上彼此相对。
[0026]上述第二过滤器部还可包括盖，其可拆卸地结合到上述过滤器外壳并连接到上述支架。
[0027]上述原料混合部可以包括：原料混合容器，设置有原料混合空间；及原料混合工具，设置在上述原料混合空间中，借助上述多个旋转工具移动。
[0028]上述原料混合工具，用于混合容纳在上述原料混合空间中的上述预聚物和上述发泡剂，并将上述发泡剂分散在上述混合原料中。
[0029]上述多个旋转工具可以包括第一驱动构件和至少一个第二驱动构件。
[0030]上述原料混合工具可以包括：旋转主体，通过与上述第一驱动构件连接来能够旋转，设置有上述至少一个第二驱动构件；及至少一个原料混合构件，通过与上述至少一个第二驱动构件连接来能够旋转。
[0031]上述至少一个原料混合构件可以通过上述至少一个第二驱动构件旋转。
[0032]上述原料混合构件可以包括：轴，与上述第二驱动构件的驱动轴连接；搅拌叶片，与上述轴连接，容纳在上述原料混合空间内。
[0033]上述搅拌叶片可以包括螺旋型搅拌叶片。
[0034]上述垫组合物形成部可以包括：组合物混合容器，设置有组合物混合空间；及组合物混合构件，设置在上述组合物混合容器中。
[0035]上述组合物混合构件，通过混合上述混合原料和上述固化剂来制备可固化混合物。上述混合原料可以是在通过过滤单元的同时进行过滤的混合原料。
[0036]上述组合物混合构件可以包括：电机；轴，连接到上述电机的驱动轴；及搅拌叶片，与上述轴连接，将容纳在上述组合物混合空间中的上述混合原料和上述固化剂混合。
[0037]上述用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置还可以包括均质化部，该均质化部用于提高从上述原料混合部排出的上述混合原料的分散程度。
[0038]上述均质化部可以包括：均质化外壳，具有流入口和排出口；转子，可旋转地设置在上述均质化外壳内部；及电机，连接到上述均质化外壳，使上述转子旋转。
[0039]上述均质化部可以包括：均质化外壳，具有流入口和排出口；轴，可旋转地设置在上述均质化外壳的内部；及均质化板，沿着上述轴的长度方向排列，形成有流动孔。
[0040]相邻的上述均质化板的流动孔可以错开。
[0041]根据另一实施方式的用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置包括：原料混合部，
用于制备包括预聚物和发泡剂的混合原料；过滤单元，与上述原料混合部连接，对上述混合原料进行过滤；及垫组合物形成部，与上述过滤单元连接，以制备包含过滤后的混合原料和固化剂的可固化混合物。
[0042]上述原料混合部可以包括：原料混合容器，形成有原料混合空间；轴，与驱动部的驱动轴连接，位于上述原料混合空间内；搅拌叶片，与上述轴连接旋转。
[0043]上述搅拌叶片，可以在旋转的同时混合供应到上述原料混合空间中的上述预聚物和上述发泡剂，并将发泡剂分散在上述混合原料中。
[0044]上述过滤单元可以包括用于分离金属物质的第二过滤器部。
[0045]上述过滤单元可以包括：第一过滤器部，用于根据尺寸过滤上述混合原料；及第二过滤器部，用于从上述混合原料中分离金属物质。
[0046]根据另一实施方式的抛光垫的制备方法包括如下步骤：过滤步骤，对包含预聚物和发泡剂的混合原料进行过滤，以制备过滤后的混合原料，可固化混合步骤，制备包含上述过滤后的混合原料和固化剂的可固化混合物，以及成型步骤，将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置，其特征在于，包括：原料混合部，用于制备包括预聚物和发泡剂的混合原料，过滤单元，与上述原料混合部连接，对上述混合原料进行过滤，以及垫组合物形成部，与上述过滤单元连接，以制备包含过滤后的混合原料和固化剂的可固化混合物；上述原料混合部包括具有彼此不同的转速的多个旋转工具。2.根据权利要求1所述的用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置，其特征在于，上述过滤单元，包括：第二过滤器部，用于从上述混合原料中分离金属物质；或包括：第一过滤器部，用于根据尺寸过滤上述混合原料，以及第二过滤器部，用于从上述混合原料中分离金属物质。3.根据权利要求2所述的用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置，其特征在于，上述第一过滤器部包括：过滤器外壳，供上述混合原料移动，以及过滤器构件，设置在上述过滤器外壳中，供上述混合原料通过；上述过滤器构件供预定尺寸以下的上述混合原料通过。4.根据权利要求2所述的用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置，其特征在于，上述第二过滤器部包括：过滤器外壳，供上述混合原料通过，支架，设置在上述过滤器外壳中，与通过的上述混合原料接触，以及磁体，设置在上述支架内部并产生磁力；上述金属物质通过上述磁力附着到上述支架的外周。5.根据权利要求4所述的用于制备抛光垫的树脂组合物混合装置，其特征在于，在上述过滤器外壳的内部设置有上述支架所在的过滤器空间，上述过滤器外壳的下侧的外周，设有供上述混合原料流入到上述过滤器空间的入口，其沿着上述外周的接线方向设置，在上述过滤器外壳的上侧的外周，设置有用于排出上述混合原料的出口，上述混合原料为通过...

【专利技术属性】
技术研发人员：李正男，尹晟勋，徐章源，权泰庆，
申请(专利权)人：SKC索密思株式会社，
类型：发明
国别省市：