一种生产能力边界的确定方法和装置及设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种生产能力边界的确定方法和装置及设备，所述方法包括：获取生产设备分批次生产固定数量元件的相关数据，根据相关数据确定相邻批次的生产结束时间之间的时间间隔；对确定的时间间隔进行排序，得到时间间隔序列；分别解析当前时间间隔序列两边界的时间间隔的分布特征，确定是否满足数据剔除条件；当满足时，根据当前时间间隔序列的平均值，确定离群值，剔除离群值所在的抽取步长的时间间隔，并重新确定是否满足数据剔除条件；当不满足时，根据当前时间间隔序列的最小、最大时间间隔及固定数量，确定生产设备的生产能力边界。利用本发明专利技术提供的方法，可以根据筛选后的时间间隔，确定生产能力边界，提升产能规划的准确性及决策效率。准确性及决策效率。准确性及决策效率。

【技术实现步骤摘要】
一种生产能力边界的确定方法和装置及设备


[0001]本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种生产能力边界的确定方法和装置及设备。

技术介绍

[0002]目前在半导体制造领域中，在设备满载且稳定运行的情况下，面向某一确定的设备与确定的制造加工要求(recipe)，习惯用单位时间内产出的晶圆数量(Wafer Per Hour，WPH)衡量设备的生产能力，其中，WPH＝Run Size/Takt Time，Run Size表示每批次生产的晶圆数量，该值在设备满载且稳定运行的情况下是确定的，Takt Time表示相邻两批次生产的结束时间之间的时间间隔。因此，在设备满载且稳定运行的情况下，设备的生产能力由Takt Time决定。
[0003]在设备满载且稳定运行的情况下，上述Takt Time存在上下边界，因此设备的生产能力存在上下边界。又因为在半导体制造领域中产能规划的任务之一是根据产能扩充需求，规划生产设备的数量，并根据规划的生产设备数量，估计所需生产资源，进行生产准备，而上述生产设备的数量主要取决于设备的生产能力，因此，设备的生产能力可以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种生产能力边界的确定方法，其特征在于，包括：获取生产设备分批次生产固定数量元件的相关数据，根据所述相关数据确定相邻批次的生产结束时间之间的时间间隔；对确定的时间间隔按时长大小进行排序，得到时间间隔序列；分别解析当前时间间隔序列两边界的时间间隔的分布特征，确定是否满足数据剔除条件，其中，各边界的时间间隔为两个抽取步长的时间间隔；当满足数据剔除条件时，根据当前时间间隔序列的平均值，确定解析的时间间隔中的离群值，剔除所述离群值所在的抽取步长的时间间隔，并重新分别解析当前时间间隔序列两边界的时间间隔的分布特征，确定是否满足数据剔除条件；当不满足数据剔除条件时，根据当前时间间隔序列的最小时间间隔、最大时间间隔及所述固定数量，确定所述生产设备的生产能力边界。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，分别解析当前时间间隔序列两边界的时间间隔的分布特征，确定是否满足数据剔除条件，包括：确定各边界对应的两个抽取步长的时间间隔的分布特征，是否符合当前时间间隔序列的线性函数分布特征；当任一边界对应的两个抽取步长的时间间隔的分布特征，不符合当前时间间隔序列的线性函数分布特征时，确定满足数据剔除条件；当各边界对应的两个抽取步长的时间间隔的分布特征，符合当前时间间隔序列的线性函数分布特征时，确定不满足数据剔除条件。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，确定各边界对应的两个抽取步长的时间间隔的分布特征，是否符合当前时间间隔序列的线性函数分布特征，包括：对于时间间隔较小的第一边界，分别确定所述第一边界对应的两个抽取步长中各自的最小时间间隔Min1和Min2，所述Min1不大于所述Min2；对于时间间隔较大的第二边界，分别确定所述第二边界对应的两个抽取步长中各自的最大时间间隔MaxN
‑
1和MaxN，所述MaxN
‑
1不大于所述MaxN；当Min2
‑
Min1<C0*σ时，确定所述第一边界对应的两个抽取步长的时间间隔的分布特征，符合当前时间间隔序列的线性函数分布特征；当MaxN
‑
MaxN
‑
1<C0*σ时，确定所述第二边界对应的两个抽取步长的时间间隔的分布特征，符合当前时间间隔序列的线性函数分布特征；所述C0为预设容忍系数，所述σ为当前时间间隔序列的标准差。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，根据当前时间间隔序列的平均值，确定解析的时间间隔中的离群值，包括：确定max{|MaxN
‑
μ|，|Min1
‑
μ|}为解析的时间间隔中的离群值；其中，所述μ为当前时间间隔序列的平均值。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述抽取步长为当前时间间隔序列的时间间隔总数与预设分组数N的比值。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据当前时间间隔序列的最小时间间隔、最大时间间隔及所述固定数量，确定所述生产设备的生产能力边界，包括：确定所述生产设备的生产能力边界WPH∈[Run Size/(M2*MaxN)，Run Size/(M1*
Min1)]；其中，所述Run Size为所述固定数量，所述Min1为当前时间间隔序列的最小时间间隔，所述MaxN为当前时间间隔序列的最大时间间隔，所述M1为预设第一包容系数，所述M2为预设第二包容系数。7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获取生产设备分批次生产固定数量元件的相关数据之后，还包括：确定所述相关数据是否包括有效数据，所述有效数据为在所述生产设备满载且运行状态满足要求时获取的数据；若不包括所述有效数据，重新获取生产设备分批次生产固定数量元件的相关数据。8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述元件为半导体元件。9.一种生产能力边界的确定装置，其特征在于，包括：间隔确定单元，用于获取生产设备分批次生产固定数量元件的相关数据，根据所述相关数据确定相邻批次的生产结束时间之间的时间间隔；序列确定单元，用于对确定的时间间隔按时长大小进行排序，得到时间间隔序列；条件判断单元，用于分别解析当前时间...

【专利技术属性】
技术研发人员：王剑平，王晓，操津津，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：