一种竖直水平翻转晶圆搬运机构制造技术

本发明专利技术公开了一种竖直水平翻转晶圆搬运机构，包括底座，所述底座上表面前后两侧分别设置侧板一和侧板二，所述侧板一的一侧表面设置有竖直翻转传动机构，所述侧板二上与侧板一相对一侧表面设置有水平翻转传动机构，所述底座上部侧板一和侧板二之间设置有翻转驱动机构，所述侧板一和侧板二之间驱动机构的一侧设置有齿轮轴，所述底座的左侧设置有连接机构，所述连接机构的一侧设置有搬运机构，所述翻转驱动机构通过水平翻转传动机构和竖直翻转传动机构的传动来带动连接机构运动，通过所述连接机构带动搬运机构水平翻转和竖直翻转。本发明专利技术的手指可以在水平、竖直两个方向的翻转，进行角度的调节。行角度的调节。行角度的调节。

【技术实现步骤摘要】
一种竖直水平翻转晶圆搬运机构


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，具体为一种竖直水平翻转晶圆搬运机构。

技术介绍

[0002]目前在半导体制造工序中，通常需要在不同制成设备间进行晶圆盒的转换。不同的工艺设备对晶圆的加工面有上下区分，需要搬运机器人在更换晶圆盒时将晶圆运送至专用翻转结构进行翻转后再放入新的晶元盒。
[0003]传统的翻转机构只能提供一个自由度的翻转，在一些小空间的设备中无法使用，在执行翻转过程中会发生很多干涉问题。传统的翻转机构动力马达一般都安装在底座增加翻转机构的重量，这类的翻转机构体积和重量都比较大，减小机器人手臂的末端负载能力。当手臂高速运动是由于翻转机构重量大会引起较大的振动和动载荷不利于手臂的定位精度。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种竖直水平翻转晶圆搬运机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种竖直水平翻转晶圆搬运机构，包括底座，所述底座上表面前后两侧分别设置侧板一和侧板二，所述侧板一的一侧表面设置有竖直翻转传动机构，所述侧板二上与侧板一相对一侧表面设置有水平翻转传动机构，所述底座上部侧板一和侧板二之间设置有翻转驱动机构，所述侧板一和侧板二之间驱动机构的一侧设置有齿轮轴，所述底座的左侧设置有连接机构，所述连接机构的一侧设置有搬运机构，所述翻转驱动机构通过水平翻转传动机构和竖直翻转传动机构的传动来带动连接机构运动，通过所述连接机构带动搬运机构水平翻转和竖直翻转。
[0006]优选的，所述翻转驱动机构包括水平翻转驱动轴、竖直翻转驱动轴、水平翻转锥齿轮、竖直翻转锥齿轮，所述水平翻转锥齿轮和竖直翻转锥齿轮上下排列设置在底座上表面，所述水平翻转驱动轴贯穿底座与水平翻转锥齿轮连接，所述竖直翻转驱动轴套设置在水平翻转驱动轴的外侧，且其上端贯穿底座与竖直翻转锥齿轮连接。
[0007]优选的，所述水平翻转传动机构包括水平翻转从动齿轮、水平翻转轴、水平翻转主动齿轮、水平翻转传动齿轮、水平翻转传动齿轮二、水平翻转传动锥齿轮和水平翻转轴二，所述水平翻转轴与侧板二连接，所述水平翻转从动出齿轮与水平翻转主动齿轮套设在水平翻转轴的两端，所述水平翻转从动齿轮与水平翻转锥槽齿轮啮合，所述齿轮轴的两端分别与侧板一和侧板二连接，所述水平翻转传动齿轮套设在齿轮轴上靠近侧板二的一端，所述水平翻转轴二与侧板二连接，所述水平翻转传动齿轮二和水平翻转传动锥齿轮套设在水平翻转轴二的两端，所述水平翻转传动齿轮分别与水平翻转传动齿轮二和水平翻转主动齿轮啮合。
[0008]优选的，所述竖直翻转传动机构包括竖直翻转传动锥齿轮、竖直翻转传动轴、竖直
翻转驱动齿轮、竖直翻转传动齿轮、竖直翻转传动齿轮二和竖直翻转连座，所述竖直翻转传动轴与侧板一连接，所述竖直翻转传动锥齿轮和竖直翻转驱动齿轮套设在竖直翻转传动轴的两端，所述竖直翻转传动锥齿轮与竖直翻转锥齿轮啮合，所述竖直翻转传动齿轮套设在齿轮轴上靠近侧板二的一端，所述竖直翻转传动齿轮二上设置有连接轴，所述连接轴的两端分别与竖直翻转连接座和侧板一连接，所述竖直翻转连接座上远离竖直翻转传动齿轮的一端与水平翻转轴二连接。
[0009]优选的，所述连接机构包括竖直翻转基座、水平翻转基座、竖板一、竖板二、水平翻转齿轮、水平翻转驱动齿轮、驱动轴、水平翻转锥齿轮二和连接转轴，所述竖板一和竖板二的底部与竖直翻转基座连接，所述竖直翻转基座的一端与竖直翻转连接座连接，所述驱动轴贯竖板一且其两端分别与竖板一和水平翻转锥齿轮二连接，所述连接转轴贯穿竖板二，且其两端分别与水平翻转基座和水平翻转齿轮连接，所述水平翻转齿轮和水平翻转驱动齿轮啮合，所述水平翻转锥齿轮与水平翻转传动锥齿轮啮合。
[0010]优选的，所述搬运机构包括手指和真空吸盘，所述手指的移动与水平翻转基座连接，所述真空吸盘设置在手指的上表面。
[0011]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0012]1、本专利技术的手指在水平、竖直两个方向的翻转，通过外部动力装置控制翻转驱动机构转动，可以对手指翻转角度实现精准的角度控制，实行多角度的调节，达到以多种角度间转移晶圆的效果，增加了晶圆传输的准确性和稳定性，提高了半导体制造生产过程中晶圆的传输效率；
[0013]2、本专利技术同时设置有真空吸盘，在晶圆传输过程中可以保证晶圆稳定的吸附在手指上，有效地解决了晶圆在高速搬运过程中产生的位置偏移问题提高晶圆传输的位置精度。
附图说明
[0014]图1为本专利技术手指处于水平位置时主视结构示意图；
[0015]图2为本专利技术手指处于水平位置时主视结构剖视图；
[0016]图3为本专利技术手指处于水平位置时俯视结构示意图；
[0017]图4为本专利技术手指处于竖直位置时主视结构剖视图；
[0018]图5为本专利技术手指水平翻转后的主视结构剖视图。
[0019]图中：底座100、侧板一101、侧板二102、竖直翻转传动机构103、水平翻转传动机构104、翻转驱动机构105、齿轮轴106、连接机构107、搬运机构108、水平翻转驱动轴1051、竖直翻转驱动轴1052、水平翻转锥齿轮1053、竖直翻转锥齿轮1054、水平翻转从动齿轮1041、水平翻转轴1042、水平翻转主动齿轮1043、水平翻转传动齿轮1044、水平翻转传动齿轮二1045、水平翻转传动锥齿轮1046、水平翻转轴二1047、竖直翻转传动锥齿轮1031、竖直翻转传动轴1032、竖直翻转驱动齿轮1033、竖直翻转传动齿轮1034、竖直翻转传动齿轮二1035、竖直翻转连接座1036、竖直翻转基座1071、水平翻转基座1072、竖板一1073、竖板二1074、水平翻转齿轮1075、水平翻转驱动齿轮1076、驱动轴1077、水平翻转锥齿轮二1078、连接转轴1079、手指1081、真空吸盘1082。
具体实施方式
[0020]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0021]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0022]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种竖直水平翻转晶圆搬运机构，包括底座(100)，其特征在于：所述底座(100)上表面前后两侧分别设置侧板一(101)和侧板二(102)，所述侧板一(101)的一侧表面设置有竖直翻转传动机构(103)，所述侧板二(102)上与侧板一(101)相对一侧表面设置有水平翻转传动机构(104)，所述底座(100)上部侧板一(101)和侧板二(102)之间设置有翻转驱动机构(105)，所述侧板一(101)和侧板二(102)之间驱动机构的一侧设置有齿轮轴(106)，所述底座(100)的左侧设置有连接机构(107)，所述连接机构(107)的一侧设置有搬运机构(108)，所述翻转驱动机构(105)通过水平翻转传动机构(104)和竖直翻转传动机构(103)的传动来带动连接机构(107)运动，通过所述连接机构(107)带动搬运机构(108)水平翻转和竖直翻转。2.根据权利要求1所述的一种竖直水平翻转晶圆搬运机构，其特征在于：所述翻转驱动机构(105)包括水平翻转驱动轴(1051)、竖直翻转驱动轴(1052)、水平翻转锥齿轮(1053)、竖直翻转锥齿轮(1054)，所述水平翻转锥齿轮(1053)和竖直翻转锥齿轮(1054)上下排列设置在底座(100)上表面，所述水平翻转驱动轴(1051)贯穿底座(100)与水平翻转锥齿轮(1053)连接，所述竖直翻转驱动轴(1052)套设置在水平翻转驱动轴(1051)的外侧，且其上端贯穿底座(100)与竖直翻转锥齿轮(1054)连接。3.根据权利要求1所述的一种竖直水平翻转晶圆搬运机构，其特征在于：所述水平翻转传动机构(104)包括水平翻转从动齿轮(1041)、水平翻转轴(1042)、水平翻转主动齿轮(1043)、水平翻转传动齿轮(1044)、水平翻转传动齿轮二(1045)、水平翻转传动锥齿轮(1046)和水平翻转轴二(1047)，所述水平翻转轴(1042)与侧板二(102)连接，所述水平翻转从动齿轮(1044)与水平翻转主动齿轮(1043)套设在水平翻转轴(1042)的两端，所述水平翻转从动齿轮(1041)与水平翻转锥槽齿轮啮合，所述齿轮轴(106)的两端分别与侧板一(101)和侧板二(102)连接，所述水平翻转传动齿轮(1044)套设在齿轮轴(106)上靠近侧板二(102)的一端，所述水平翻转轴二(1047)与侧板二(102)连接，所述水平翻转传动齿轮二(1045)和水平翻转传动锥齿轮(1046...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩晓光，丁妍，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：