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本发明公开了一种竖直水平翻转晶圆搬运机构，包括底座，所述底座上表面前后两侧分别设置侧板一和侧板二，所述侧板一的一侧表面设置有竖直翻转传动机构，所述侧板二上与侧板一相对一侧表面设置有水平翻转传动机构，所述底座上部侧板一和侧板二之间设置有翻转驱...
该专利属于沈阳富创精密设备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳富创精密设备股份有限公司授权不得商用。

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