一种用于真空计的防尘装置及真空度检测设备制造方法及图纸

技术编号:35765253 阅读:15 留言:0更新日期:2022-12-01 14:01
本实用新型专利技术公开了一种用于真空计的防尘装置及真空度检测设备,包括:集尘机构和防尘机构;集尘机构包括旋转管道;防尘机构包括静电吸附腔室;旋转管道与静电吸附腔室可连通,防尘装置用于真空计检测时在待检测腔室和真空计之间形成防尘通路。通过采用上述的防尘装置,当待检测腔室的气流到达真空计进行测试前,经过静电吸附腔室使得气流中的灰尘在静电作用下可以贴着静电吸附腔室内壁运动,减少到达真空计的粉尘,气流经过旋转管道时,旋转的设计可以延长气流到达真空计的时间,使得粉尘可以尽可能多的沉降在旋转管道上,通过防尘机构以及集尘机构有效减少了粉尘对真空计的影响,延长了真空计的使用寿命。延长了真空计的使用寿命。延长了真空计的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空计的防尘装置及真空度检测设备


[0001]本申请涉及光伏
,尤其涉及一种用于真空计的防尘装置及真空度检测设备。

技术介绍

[0002]太阳能电池片是完成太阳能发电的主要部件,生产太阳能电池片时经常需要对生产空间的真空度进行检测,以保证生产空间的真空度可以符合太阳能电池片的生产需求,保证太阳能电池片的生产质量。
[0003]生产空间的真空度通常通过真空计测量,由于生产电池片的过程中会产生大量粉尘,粉尘进入真空计后会影响真空计的准确性,这就使得需要经常将真空计拆卸清洁后再次安装使用。
[0004]然而,频繁拆卸真空计容易导致真空计与生产空间连接处发生真空泄漏,且操作繁琐,影响电池片的生产效率。同时,粉尘颗粒进去真空计还会影响真空计的使用寿命。

技术实现思路

[0005]本技术实施例提供一种用于真空计的防尘装置及真空度检测设备,以解决现有技术中清洁真空计需要频繁拆卸导致的操作繁琐、影响电池片生产效率以及真空计使用寿命短的问题。
[0006]第一方面,本技术实施例提供一种用于真空计的防尘装置,包括:
[0007]集尘机构和防尘机构;
[0008]所述集尘机构包括旋转管道;
[0009]所述防尘机构包括静电吸附腔室;
[0010]所述旋转管道与所述静电吸附腔室可连通,所述防尘装置用于所述真空计检测时在待检测腔室和所述真空计之间形成防尘通路。
[0011]可选的,所述旋转管道的一端与所述真空计的进气口连通,所述旋转管道的另一端与所述静电吸附腔室的一端连通,所述静电吸附腔室的相对另一端与所述待检测腔室连通;
[0012]所述集尘机构还包括:设置在所述真空计的进气口一侧的第一阀门;
[0013]所述防尘机构还包括:设置在所述静电吸附腔室与所述待检测腔室之间的第二阀门,所述第一阀门和所述第二阀门用于所述真空计检测时开启所述待检测腔室至所述真空计的通路,所述第一阀门用于所述旋转管道或所述静电吸附腔室进行粉尘清扫时关闭所述旋转管道至所述真空计的通路。
[0014]可选的,所述集尘机构还包括:连通所述真空计的进气口与所述旋转管道的一端的第一管道;
[0015]所述防尘机构还包括:连通所述静电吸附腔室与所述待检测腔室的第二管道;
[0016]其中,所述第一阀门设置在所述第一管道上,所述第二阀门设置在所述第二管道
上。
[0017]可选的,所述集尘机构还包括:第三阀门和第三管道;
[0018]所述第三管道的一端与吹气装置连通,所述第三管道的另一端与所述旋转管道的一端连通;
[0019]所述第三阀门设置在所述第三管道上,所述第二阀门和第三阀门用于所述旋转管道进行粉尘清扫时开启所述吹气装置至所述待检测腔室的通路,所述第三阀门用于所述真空计检测时关闭所述吹气装置至所述旋转管道的通路。
[0020]可选的,所述第一管道与所述第三管道可连通;
[0021]在所述第一管道上,所述第一阀门位于所述第一管道与所述第三管道的连接位置和所述真空计的进气口之间。
[0022]可选的,所述防尘机构还包括:第四阀门和第四管道;
[0023]所述第四管道的一端与吹气装置连通,所述第四管道的另一端与所述静电吸附腔室连通;
[0024]所述第四阀门设置在所述第四管道上,所述第二阀门和第四阀门用于所述静电吸附腔室进行粉尘清扫时开启所述吹气装置至所述待检测腔室的通路,所述第四阀门用于所述真空计检测时关闭所述吹气装置至所述静电吸附腔室的通路。
[0025]可选的,所述旋转管道的另一端与所述静电吸附腔室的一端之间设置有第五管道;
[0026]所述第五管道伸入所述静电吸附腔室内。
[0027]可选的,所述第五管道的管径为所述静电吸附腔室的直径的三分之一。
[0028]可选的,所述第五管道伸入至所述静电吸附腔室的几何中心位置处。
[0029]第二方面,本技术实施例提供一种真空度检测设备,包括:防尘装置、真空计和待检测腔室;所述防尘装置设置于所述真空计和所述待检测腔室之间,且所述防尘装置分别与所述真空计和所述待检测腔室可连通。
[0030]本技术公开了一种用于真空计的防尘装置及真空度检测设备,包括:集尘机构和防尘机构;集尘机构包括旋转管道;防尘机构包括静电吸附腔室;旋转管道与静电吸附腔室可连通,防尘装置用于真空计检测时在待检测腔室和真空计之间形成防尘通路。通过采用上述的防尘装置,当待检测腔室的气流到达真空计进行测试前,经过静电吸附腔室使得气流中的灰尘在静电作用下可以贴着静电吸附腔室内壁运动,减少到达真空计的粉尘,气流经过旋转管道时,旋转的设计可以延长气流到达真空计的时间,使得粉尘可以尽可能多的沉降在旋转管道上,通过防尘机构以及集尘机构有效减少了粉尘对真空计的影响,延长了真空计的使用寿命。
[0031]上述说明仅是本技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本技术的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本技术的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举本技术的具体实施方式。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0033]图1为本技术实施例提供的一种用于真空计的防尘装置;
[0034]图2为本技术实施例提供的一种用于真空计的防尘装置与待检测腔室连接示意图;
[0035]图3为本技术实施例提供的一种用于真空计的防尘装置。
[0036]图4为本技术实施例提供的一种用于真空计的防尘装置真空度测量气流方向图;
[0037]图5为本技术实施例提供的一种用于真空计的防尘装置吹扫气流方向图;
[0038]图6为本技术实施例提供的一种用于真空计的防尘装置局部图。
[0039]附图标记:
[0040]10

真空计;20

集尘机构;30

防尘机构;40

待检测腔室;21

第一阀门; 22

第一管道;23

第三阀门;24

第三管道;25

旋转管道;31

第二阀门;32
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第二管道;33

第四阀门;34

第四管道;35

静电吸附腔室;36

第五管道。
具体实施方式
[0041]下面将参照附图更详细地描述本技术的示例性实施例。虽然附图中显示了本技术的示例性实施例,然而应当理解的是,还可以以各种形式实现本技术而不应被这里阐述的实施例所限制。相反,提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本技术,并且能够将本技术的范围完整本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空计的防尘装置,其特征在于,包括:集尘机构和防尘机构;所述集尘机构包括旋转管道;所述防尘机构包括静电吸附腔室;所述旋转管道与所述静电吸附腔室可连通,所述防尘装置用于所述真空计检测时在待检测腔室和所述真空计之间形成防尘通路。2.根据权利要求1所述的用于真空计的防尘装置,其特征在于,所述旋转管道的一端与所述真空计的进气口连通,所述旋转管道的另一端与所述静电吸附腔室的一端连通,所述静电吸附腔室的相对另一端与所述待检测腔室连通;所述集尘机构还包括:设置在所述真空计的进气口一侧的第一阀门;所述防尘机构还包括:设置在所述静电吸附腔室与所述待检测腔室之间的第二阀门,所述第一阀门和所述第二阀门用于所述真空计检测时开启所述待检测腔室至所述真空计的通路,所述第一阀门用于所述旋转管道或所述静电吸附腔室进行粉尘清扫时关闭所述旋转管道至所述真空计的通路。3.根据权利要求2所述的用于真空计的防尘装置,其特征在于,所述集尘机构还包括:连通所述真空计的进气口与所述旋转管道的一端的第一管道;所述防尘机构还包括:连通所述静电吸附腔室与所述待检测腔室的第二管道;其中,所述第一阀门设置在所述第一管道上,所述第二阀门设置在所述第二管道上。4.根据权利要求3所述的用于真空计的防尘装置,其特征在于,所述集尘机构还包括:第三阀门和第三管道;所述第三管道的一端与吹气装置连通,所述第三管道的另一端与所述旋转管道的一端连通;所述第三阀门设置在所述第三管道上,所述第二阀门和所述第三阀门用于所述旋转管道进行粉尘清扫时开启所述吹气装...

【专利技术属性】
技术研发人员:袁东飞刘一川王东赵朋飞余志丁可庄周从伟
申请(专利权)人:陕西隆基乐叶光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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