本实用新型专利技术公开了一种用于束流检测的四扇装置包括：法兰件，安装于束流管道内；检测件，安装于法兰件内，用于承受束流冲击并改变束流通过姿态；检测件由若干检测铜块组成；若干检测铜块设有相互适配的契角，使若干检测铜块围成唯一出口，且互不接触，当束流穿过检测件时，束流受若干检测铜块阻挡，仅从唯一出口通过。本实用新型专利技术通过由若干检测铜块组成的检测件连通检测器完成对束流的检测工作，通过在若干检测铜块上设有相互适配的契角，使若干检测铜块围成唯一出口，且互不接触，当束流穿过检测件时，束流受若干检测铜块阻挡，仅从唯一出口通过，不仅满足了检测需要，且在检测过程中使束流仅从唯一出口通过，使得晶圆辐照时，更为均匀。更为均匀。更为均匀。
【技术实现步骤摘要】
一种用于束流检测的四扇装置
[0001]本技术涉束流检测领域，具体是一种用于束流检测的四扇装置。
技术介绍
[0002]各式各样的束流被广泛地应用于粒子加速器、医疗、芯片辐照改性、核物理研究、电子显微镜、受控核聚变和核燃料处理等领域，在诸多方面发挥着越来越重要的作用。
[0003]以专利号CN 204666822 U为例，其公开了及一种改进型偏转束流测量系统，通过设计中心区偏转板，并在中心区偏转板的四周均匀设有磁铁及D型盒，磁铁上连接有剥离靶，中心区偏转板的中心设有测量设备，该测量设备引出一测量线到剥离靶上，该剥离靶经转换盒与PLC控制器连接的方式来达到检测效果，然而在检测时，束流容易经过磁铁和D型盒间隙处辐照晶圆，使得晶圆辐照不够均匀。
[0004]因此，提供一种在检测束流量及偏转角方向的同时，还可以完成对晶圆均匀辐照的检测装置，是目前需要解决的一个问题。
技术实现思路
[0005]技术目的：提供一种用于束流检测的四扇装置，以解决现有技术存在的上述问题。
[0006]技术方案：一种用于束流检测的四扇装置，包括：
[0007]法兰件，安装于束流管道内；
[0008]检测件，安装于法兰件内，用于承受束流冲击并改变束流通过姿态；
[0009]所述检测件由若干检测铜块组成；
[0010]所述若干检测铜块设有相互适配的契角，使若干检测铜块围成唯一出口，且互不接触，当束流穿过检测件时，束流受若干检测铜块阻挡，仅从唯一出口通过。
[0011]本技术通过由若干检测铜块组成的检测件连通检测器完成对束流的检测工作，通过在若干检测铜块上设有相互适配的契角，使若干检测铜块围成唯一出口，且互不接触，当束流穿过检测件时，束流受若干检测铜块阻挡，仅从唯一出口通过，不仅满足了检测需要，且在检测过程中使束流仅从唯一出口通过，使得晶圆辐照时，更为均匀。
[0012]由于检测需求，当若干铜块相互接触时，铜块之间相互导通，此时束流打在铜块上，各个铜块相互导通时，则影响检测效果；
[0013]因此本申请涉及契角，使得若干检测铜块结构紧凑，可以安装在法兰件内，并使得法兰件可安装在束流管道内；同时避免了若干检测铜块之间的相互接触，避免若干检测铜块之间相互导通，进而避免影响束流的检测效果。
[0014]同时契角的设计，也为了使得若干检测铜块在使用时，围成唯一出口，让束流穿过，并辐照于晶圆，使得晶圆辐照更加均匀；
[0015]检测件在使用时，由于契角的关系，即使各个检测铜块之间留有缝隙，使得各个检测铜块互不接触，但是由于契角的设计，使得检测件在使用时，束流仅可以从唯一出口通
过，其余部分收到各个检测铜块的阻挡。
[0016]在进一步实施例中，所述法兰件侧部连通有检测柱，所述检测柱的端部设有检测接头。
[0017]在进一步实施例中，所述若干检测铜块上分别连接有检测线缆，所述检测线缆穿过检测柱与检测接头连接。
[0018]在进一步实施例中，所述若干检测铜块与法兰件之间垫有陶瓷垫层；
[0019]若干检测铜块与法兰件通过陶瓷螺栓连接。
[0020]在进一步实施例中，所述检测接头外接检测器。
[0021]所述检测器可在现有技术中选择，主要用于检测出若干检测铜块上束流量。
[0022]有益效果：本技术公开了一种用于束流检测的四扇装置，本技术通过由若干检测铜块组成的检测件连通检测器完成对束流的检测工作，通过在若干检测铜块上设有相互适配的契角，使若干检测铜块围成唯一出口，且互不接触，当束流穿过检测件时，束流受若干检测铜块阻挡，仅从唯一出口通过，不仅满足了检测需要，且在检测过程中使束流仅从唯一出口通过，使得晶圆辐照时，更为均匀。
附图说明
[0023]图1是本技术的结构示意图。
[0024]图2是技术的法兰件示意图。
[0025]图3是技术的检测件示意图。
[0026]图4是技术的检测件工作状态示意图。
[0027]图5是技术的检测铜块结构示意图。
[0028]附图标记为：
[0029]1、法兰件；2、检测件；21、陶瓷螺栓；22、陶瓷垫层；23、第一检测铜块；24、第二检测铜块；25、第三检测铜块；26、第四检测铜块；3、检测柱；4、检测接头。
具体实施方式
[0030]本申请涉及一种用于束流检测的四扇装置，下面通过具体实施方式进行详细解释。
[0031]一种用于束流检测的四扇装置，包括：
[0032]法兰件1，安装于束流管道内；
[0033]检测件2，安装于法兰件1内，用于承受束流冲击并改变束流通过姿态；
[0034]所述检测件2由若干检测铜块组成；
[0035]所述若干检测铜块设有相互适配的契角，使若干检测铜块围成唯一出口，且互不接触，当束流穿过检测件2时，束流受若干检测铜块阻挡，仅从唯一出口通过。
[0036]由于检测需求，当若干铜块相互接触时，铜块之间相互导通，此时束流打在铜块上，各个铜块相互导通时，则影响检测效果；
[0037]因此本申请涉及契角，使得若干检测铜块结构紧凑，可以安装在法兰件1内，并使得法兰件1可安装在束流管道内；同时避免了若干检测铜块之间的相互接触，避免若干检测铜块之间相互导通，进而避免影响束流的检测效果。
[0038]同时契角的设计，也为了使得若干检测铜块在使用时，围成唯一出口，让束流穿过，并辐照于晶圆，使得晶圆辐照更加均匀；
[0039]检测件2在使用时，为了使检测效果精确，各个检测铜块之间需要留有缝隙，使得各个检测铜块互不接触，然而此时束流除规定出口外，部分还会经过缝隙辐照晶圆，因此使得晶圆辐照不够均匀，影响成品；
[0040]但是由于契角的设计，形成坡面，使得检测件2在使用时(即正视于检测件2时)，检测件2仅预留唯一出口，由于视角关系无法看出缝隙，束流此时仅可以从唯一出口通过，其余部分收到各个检测铜块的阻挡。
[0041]所述法兰件1侧部连通有检测柱3，所述检测柱3的端部设有检测接头4。
[0042]所述若干检测铜块上分别连接有检测线缆，所述检测线缆穿过检测柱3与检测接头4连接。
[0043]所述若干检测铜块与法兰件1之间垫有陶瓷垫层22；
[0044]设计陶瓷垫层22，主要为了避免若干检测铜块与法兰件1之间形成导通关系，避免导通关系的形成，影响检测效果；
[0045]若干检测铜块与法兰件1通过陶瓷螺栓21连接；通过设计陶瓷螺栓21一方面为了避免若干检测铜块与法兰件1形成导通关系，另外一面为了承受高温；
[0046]束流打在螺栓上，形成高温，在不考虑铁等金属具有导电性的螺栓材质时，传统塑料等非导电螺栓，在束流打击时容易融化，此时则需要陶瓷来承受束流打在螺栓上的产生的高温，避免发生形变。
[0047]所述检测接头4外接检测器。
[0048]所本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于束流检测的四扇装置，包括：法兰件(1)，安装于束流管道内；检测件(2)，安装于法兰件(1)内，用于承受束流冲击并改变束流通过姿态；其特征在于，所述检测件(2)由若干检测铜块组成；所述若干检测铜块设有相互适配的契角，使若干检测铜块围成唯一出口，且互不接触，当束流穿过检测件(2)时，束流受若干检测铜块阻挡，仅从唯一出口通过。2.根据权利要求1所述的一种用于束流检测的四扇装置，其特征是：所述法兰件(1)侧部连通有检测柱(3)，所述检测柱(3)...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭如勇，王泊锡，张政，朱晓桦，李笑，姜桂林，于天华，王孝宇，沈轩羽，王明康，
申请(专利权)人：无锡市核力创芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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