本发明专利技术属于晶圆切割设备上料装置的技术领域，具体为一种晶圆自动贴膜机的上下料装置及其方法，机架上固定连接有钢环上下料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件左侧的晶圆上料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件下侧的钢环搬运机械手组件，所述的机架上固定连接有位于晶圆上料组件下侧的晶圆取片机械手组件，所述的机架上固定连接有位于晶圆取片机械手组件左侧的晶圆寻边组件，所述的机架上固定连接有位于钢环搬运机械手组件与晶圆取片机械手组件之间的钢环规整组件；所述的机架上固定连接有位于钢环规整组件与晶圆取片机械手组件之间的晶圆搬运机械手，所述的机架上固定连接有与晶圆搬运机械手配合的钢环取片机械手。械手配合的钢环取片机械手。械手配合的钢环取片机械手。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动贴膜机的上下料装置及其方法
[0001]本专利技术属于晶圆切割设备上料装置的
，具体为一种晶圆自动贴膜机的上下料装置及其方法。
技术介绍
[0002]在芯片划切工艺之前，需要用薄膜将晶圆贴在钢环上。现有的晶圆贴膜机多为半自动贴膜，需要人工进行晶圆的上料和钢环的上下料，导致贴膜机的贴膜效率低，人工劳动成本大。
技术实现思路
[0003]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的是提供了一种晶圆自动贴膜机的上下料装置及其方法，解决现有的晶圆贴膜机多为半自动贴膜，需要人工进行晶圆的上料和钢环的上下料，导致贴膜机的贴膜效率低，人工劳动成本大的技术问题。
[0004]本专利技术采取的方案为：一种晶圆自动贴膜机的上下料装置及其方法，包括：第一步：晶圆上料组件将晶圆料盒中的晶圆料盒移动到待取位置；第二步：晶圆取片机械手移动至晶圆上料组件的晶圆料盒中夹取晶圆后从晶圆料盒中退出并定位夹取晶圆的圆心；第三步：晶圆机械手再将晶圆转运至晶圆寻边组件上，晶圆寻边组件可寻找到晶圆上的缺口或平边，并将缺口或平边对准指定方向。晶圆搬运机械手移动至晶圆寻边组件的上方，吸附晶圆并将晶圆移动至指定位置；第四步：钢环上下料组件将钢环料框移动到待取位置，刚环取片机械手移动至取片位置夹住钢环，并使刚环随运动，运动过程中钢环在规整组件的滑槽上滑动，待钢环滑至指定位置，钢环取片机械手松开钢环并移动至初始位置；第五步：钢环留在规整组件的滑槽上。钢环规整组件规整钢环至中间，钢环搬运机械手移动至规整后的钢环上方，并吸附钢环将钢环搬运至指定位置；第六步：钢环和晶圆贴膜完成后，钢环搬运机械手吸附钢环，并将贴有晶圆的钢环移动至规整组件的滑槽上，此时钢环上下料组件将钢环料框移动至下料位置，钢环取片机械手将贴有钢环的晶圆推至钢环料框中，钢环存放在贴晶圆前的原始位置。
[0005]优选的，一种晶圆自动贴膜机的上下料装置，包括机架，其特征在于，所述的机架上固定连接有钢环上下料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件左侧的晶圆上料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件下侧的钢环搬运机械手组件，所述的机架上固定连接有位于晶圆上料组件下侧的晶圆取片机械手组件，所述的机架上固定连接有位于晶圆取片机械手组件左侧的晶圆寻边组件，所述的机架上固定连接有位于钢环搬运机械手组件与晶圆取片机械手组件之间的钢环规整组件；所述的机架上固定连接有位于钢环规整组件与晶圆取片机械手组件之间的晶圆搬运机械手，所述的机架上固定连接有与晶圆搬运机械手配合的钢环取片机械手。
[0006]优选的，所述的晶圆上料组件包括机架上固定连接的晶圆上料模组，所述的晶圆上料模组移动块上固定连接有晶圆料盒支撑平台，所述的晶圆上料模组上固定连接有晶圆上料电机，所述的晶圆料盒支撑平台上可拆卸连接有晶圆料盒本体，所述的晶圆料盒本体内放置有晶圆本体。
[0007]优选的，所述的晶圆转运机械手包括机架上固定连接的晶圆运转电机，所述的机架上固定连接有带座轴承，所述的带座轴承内设有晶圆转运丝杠，所述的晶圆转运丝杠与晶圆运转电机转动轴端经晶圆转运皮带连接，所述的机架上滑动连接有与晶圆转运丝杠螺纹连接的晶圆吸盘连接板，所述的机架上固定连接有与晶圆吸盘连接板配合的晶圆转运直线导轨，所述的晶圆吸盘连接板上固定连接有晶圆转运气缸，所述的晶圆转运气缸输出端固定连接有与寻边组件配合的晶圆吸盘支撑板，所述的晶圆吸盘支撑板底部设有晶圆吸盘，所述的晶圆吸盘支撑板与晶圆吸盘设有弹簧。
[0008]优选的，所述的钢环上下料包括机架上设置的钢环上下料直线模组，所述的机架上固定连接有与钢环上下料直线模组配合的钢环上下料电机，所述的钢环上下料电机移动端固定连接有钢环料框支撑平台，所述的钢环料框支撑平台可拆卸连接有钢环料框。
[0009]优选的，所述的钢环取片规整组件包括机架上间隔固定连接的两组钢环规整导轨，两组所述的钢环规整导轨上均滑动连接有齿条连接板，所述的齿条连接板上固定连接有规整滑槽连接板，所述的规整滑槽连接板开设有钢环本体配合的滑槽，所述的机架上固定连接有规整电机，所述的规整电机转动轴端固定连接有齿轮，所述的齿条连接板上固定连接有与齿轮啮合的齿条，所述的机架设有取钢环模组，所述的机架上固定连接有与取钢环模组配合的取钢环电机，所述的取钢环模组移动端固定连接有钢环夹片下连接板，所述的钢环夹片下连接板固定连接有钢环夹片上连接板，所述的钢环夹片上连接板固定连接有钢环夹取气缸，所述的钢环夹片下连接板固定连接有钢环下夹片，所述的钢环夹取气缸固定连接有与钢环下夹片配合的钢环上夹片。
[0010]优选的，所述的钢环搬运机械手包括机架上固定连接的钢环搬运模组，所述的钢环搬运模组移动端固定连接有钢环搬运气缸连接板，所述的钢环搬运气缸连接板上固定连接有钢环搬运气缸，所述的钢环搬运气缸输出端固定连接有与钢环本体配合的钢环搬运机械手连接板，所述的机架上固定连接有与钢环搬运模组配合的钢环搬运电机。
[0011]本专利技术的有益效果：一种晶圆和钢环的上下料装置可实现晶圆和钢环的全自动上下料过程，操作过程中只需将装由晶圆和料框的晶圆放置在指定位置，该装置便能完成晶圆贴膜机的自动上下料过程，操作简单，大大提高了晶圆贴膜的效率，解决了现有的晶圆贴膜机多为半自动贴膜，需要人工进行晶圆的上料和钢环的上下料，导致贴膜机的贴膜效率低，人工劳动成本大的技术问题。
附图说明
[0012]图1是本专利技术的总结构图。
[0013]图2是本专利技术的晶圆上料组件剖视图。
[0014]图3是本专利技术的晶圆料盒本体的立体视图。
[0015]图4是本专利技术的晶圆转运机械手俯视图。
[0016]图5是本专利技术的晶圆转运机械手正视图。
[0017]图6是本专利技术的钢环上下料装置剖视图。
[0018]图7是本专利技术的钢环取片规整正视图。
[0019]图8是本专利技术的钢环取片规整俯视图。
[0020]图9是本专利技术的钢环搬运机械手剖视图。
[0021]附图标记：1、刚环上下料组件；2、晶圆上料组件；3、钢环搬运机械手组件；4、机架；5、晶圆取片机械手组件；6、钢环规整组件；7、晶圆寻边组件；8、晶圆搬运机械手；9、钢环取片机械手；11、钢环料框；12、钢环料框支撑平台；13、钢环上下料直线模组；14、钢环上下料电机；21、晶圆料盒本体；22晶圆料盒支撑平台；23、晶圆上料模组；24、晶圆上料电机；211、晶圆本体；31、钢环吸盘；32、钢环吸盘连接板；33、钢环搬运机械手连接板；34、钢环搬运气缸；35、钢环搬运气缸连接板；36、钢环搬运模组；37、钢环搬运电机；4、机架；61、滑槽；62、齿条连接板；63、齿条；64、齿轮；65、规整电机；66、规整滑槽连接板67、钢环规整导轨；68、规整电机固定板；81、带座轴承；82、晶圆转运丝杠；83、晶圆吸盘连接板；84、晶圆转运电机；85、晶圆转运带轮；86、晶圆转运皮带；87、晶圆吸盘支撑板；88、晶圆转运气缸；89、晶圆转运直线导轨；90、晶圆吸盘；80、弹簧；本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动贴膜机的上下料装置及其方法，包括：第一步：晶圆上料组件将晶圆料盒中的晶圆料盒移动到待取位置；第二步：晶圆取片机械手移动至晶圆上料组件的晶圆料盒中夹取晶圆后从晶圆料盒中退出并定位夹取晶圆的圆心；第三步：晶圆机械手再将晶圆转运至晶圆寻边组件上，晶圆寻边组件可寻找到晶圆上的缺口或平边，并将缺口或平边对准指定方向。2.晶圆搬运机械手移动至晶圆寻边组件的上方，吸附晶圆并将晶圆移动至指定位置；第四步：钢环上下料组件将钢环料框移动到待取位置，刚环取片机械手移动至取片位置夹住钢环，并使刚环随运动，运动过程中钢环在规整组件的滑槽上滑动，待钢环滑至指定位置，钢环取片机械手松开钢环并移动至初始位置；第五步：钢环留在规整组件的滑槽上。3.钢环规整组件规整钢环至中间，钢环搬运机械手移动至规整后的钢环上方，并吸附钢环将钢环搬运至指定位置；第六步：钢环和晶圆贴膜完成后，钢环搬运机械手吸附钢环，并将贴有晶圆的钢环移动至规整组件的滑槽上，此时钢环上下料组件将钢环料框移动至下料位置，钢环取片机械手将贴有钢环的晶圆推至钢环料框中，钢环存放在贴晶圆前的原始位置。4.一种晶圆自动贴膜机的上下料装置，包括机架，其特征在于，所述的机架上固定连接有钢环上下料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件左侧的晶圆上料组件，所述的机架上固定连接有位于钢环上下料组件下侧的钢环搬运机械手组件，所述的机架上固定连接有位于晶圆上料组件下侧的晶圆取片机械手组件，所述的机架上固定连接有位于晶圆取片机械手组件左侧的晶圆寻边组件，所述的机架上固定连接有位于钢环搬运机械手组件与晶圆取片机械手组件之间的钢环规整组件；所述的机架上固定连接有位于钢环规整组件与晶圆取片机械手组件之间的晶圆搬运机械手，所述的机架上固定连接有与晶圆搬运机械手配合的钢环取片机械手。5.根据权利要求2所述的一种晶圆自动贴膜机的上下料装置，其特征在于，所述的晶圆上料组件包括机架上固定连接的晶圆上料模组，所述的晶圆上料模组移动块上固定连接有晶圆料盒支撑平台，所述的晶圆上料模组上固定连接有晶圆上料电机，所述的晶圆料盒支撑平台上可拆卸连接有晶圆料盒本体，所述的晶圆料盒本体内放置有晶圆本体。6.根据权利要求3所述的一种晶圆自动贴膜机的上下料装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：葛彦杰，田耕，兑志魁，郑自菲，徐新玉，
申请(专利权)人：郑州轨道交通信息技术研究院，
类型：发明
国别省市：
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