本发明专利技术涉及一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机，包括机皿，所述机皿的左右两端壁均开设有清洗槽，且清洗槽的端壁安装有槽连口，所述机皿靠近槽连口的一侧内部安装有泵体。本发明专利技术的有益效果是：该晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机，通过存篮的内腔，可存放待清洗的晶圆花篮，而篮网的通透性，使存篮在浸入清洗槽的水液中后，水液可充分的与存篮接触，而通过超声频电源驱动的换能器运行时，对清洗槽内进行超声波冲洗，使花篮上顽固的污垢被打散，进而充分且彻底的对花篮进行清洗清理，同时连杆、存篮以及吊杆、连杆均相固定，使吊杆、连杆以及存篮构成一体，方便同步同时转动、移动。移动。移动。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机
[0001]本专利技术涉及晶圆加工
，具体为一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，在芯片制造中应用及其广泛，在晶圆加工时，会此采用晶圆花篮对晶圆进行存储，晶圆的转运花篮，使用时间长了以后，插槽内会有污垢，污垢粘到晶圆上会造成后续产品的质量问题，因此需要定期清洗花篮。
[0003]在晶圆转运花篮清洗机进行花篮清洗时，由于一些污垢是因为花篮长时间使用而产生的，会牢固的粘结在花篮端壁上，常规的水洗清洗无法将污垢打碎、彻底清理，同时在清洗后，无法直接将花篮转动至风干槽内，进行风干，导致清洗的花篮在清洗和风干区域之间无法便捷的切换，进而清洗时的效率就较为低下，而且在花篮上残留的锈迹、霉斑、色斑也十分顽固，常规的清洗结构，无法对清洗槽内便捷的添加化学无机或有机酸、除菌剂，并将其混匀注入清洗槽内，进而使花篮在清洗时不够彻底。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机，以解决上述
技术介绍
中提出的在晶圆转运花篮清洗机进行花篮清洗时，由于一些污垢是因为花篮长时间使用而产生的，会牢固的粘结在花篮端壁上，常规的水洗清洗无法将污垢打碎、彻底清理，同时在清洗后，无法直接将花篮转动至风干槽内，进行风干，导致清洗的花篮在清洗和风干区域之间无法便捷的切换，进而清洗时的效率就较为低下，而且在花篮上残留的锈迹、霉斑、色斑也十分顽固，常规的清洗结构，无法对清洗槽内便捷的添加化学无机或有机酸、除菌剂，并将其混匀注入清洗槽内，进而使花篮在清洗时不够彻底。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机，包括机皿，所述机皿的左右两端壁均开设有清洗槽，且清洗槽的端壁安装有槽连口，所述机皿靠近槽连口的一侧内部安装有泵体，且机皿靠近泵体的一侧端壁安置有外接口，所述机皿的前后两端壁均开设有风洗槽，且机皿靠近风洗槽的一侧内部开设有风机，所述机皿靠近风洗槽的端壁开设有导流口，且风洗槽的端壁开设有喷孔，所述风洗槽的底部安装有加热片，所述机皿的左右两端靠近清洗槽的内部安装有换能器，且机皿的中部底部安装有气缸，所述机皿的中部开设有滑槽，且滑槽的内侧安装有电机，所述电机的顶部安置有转轴，且转轴的顶部安装有转切机构，所述机皿靠近清洗槽和风洗槽之间开设有添口，且添口的端侧开设有添道，所述添口的顶部安置有密盖。
[0006]优选的，所述转切机构包括吊杆、连杆、存篮和篮网，所述吊杆的左右两端底部均安置有连杆，且连杆的底部安装有存篮，所述存篮的端壁开设有篮网。
[0007]优选的，所述吊杆、连杆之间相固定连接，且吊杆、连杆之间相垂直，同时存篮设置
有两个。
[0008]优选的，所述连杆设置有两个，且连杆关于吊杆的中心对称分布，而且连杆、存篮之间相固定连接。
[0009]优选的，所述转轴的顶部与吊杆相固定连接，且电机、转轴之间相传动。
[0010]优选的，所述电机、气缸之间相传动，同时转轴的竖直中轴线与机皿的竖直中轴线相重合。
[0011]优选的，所述清洗槽和风洗槽均设置有两个，且清洗槽和风洗槽均关于机皿的中心对称分布。
[0012]优选的，所述清洗槽与槽连口相连通，且槽连口与泵体以及添口均相连通，而且添口与密盖之间相螺纹连接。
[0013]优选的，所述导流口呈凹字形状，且导流口、喷孔之间相连通，而且风机、喷孔之间相连通，同时风洗槽的底端壁与加热片相固定。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：
[0015]1、本专利技术通过存篮的内腔，可存放待清洗的晶圆花篮，而篮网的通透性，使存篮在浸入清洗槽的水液中后，水液可充分的与存篮接触，而通过超声频电源驱动的换能器运行时，对清洗槽内进行超声波冲洗，使花篮上顽固的污垢被打散，进而充分且彻底的对花篮进行清洗清理，同时连杆、存篮以及吊杆、连杆均相固定，使吊杆、连杆以及存篮构成一体，方便同步同时转动、移动。
[0016]2、本专利技术通过转轴的顶部与吊杆的固定，使转轴的顶部与吊杆构成一体，在使用时，经过气缸运作，推动电机在滑槽内滑动上移，进而电机顶部的转轴也随之上移，与转轴固定构成一体的吊杆、连杆、存篮同步上移，使存篮从清洗槽内移动出来，反之，即可让存篮下移，移入清洗槽内，对存篮进行便捷的上下移动、调节，而电机运作，即可驱动转轴旋转，使转轴顶部固定构成一体的吊杆、连杆、存篮，同步旋转，吊杆、连杆、存篮绕转轴轴线转动，可以使从清洗槽内上移出来的存篮，转向至风洗槽上端，此时存篮下移，即可进入风洗槽内，进行风干清理，方便存篮在清洗槽和风洗槽内自由切换位置，方便调节存篮。
[0017]3、本专利技术通过清洗槽内灌满清洗液体，可对进入清洗槽中的存篮上存放的晶圆花篮进行水洗，而存篮移动至风洗槽内时，即可让存篮内存放的晶圆花篮进行风干吹洗，同时清洗槽和风洗槽均设置有两个，使用时，一个存篮和一个清洗槽、一个风洗槽配对使用，另一个存篮和另一个清洗槽、另一个风洗槽配对使用，使两个存篮分别在两个清洗槽和风洗槽之间成对的进行切换，进而让两个存篮可同步同时清洗，提高花篮清洗时的效率。
[0018]4、本专利技术通过清洗槽与槽连口的连通、槽连口与泵体的连通，使泵体在运行时，将外接口连接管路内的水液，输入添口、槽连口，水液在添口内混合后，也从槽连口喷入清洗槽中，方便对清洗槽内添加清洗用水液，反之，即可将清洗槽内清洗后的脏污水液，从外接口外排出来，在添加水液时，可事先向添口内添加化学无机或有机酸、除菌剂，水液在经过添口内混合时，即可将添加化学无机或有机酸、除菌剂充分混匀，之后再从槽连口喷入清洗槽，使放入清洗槽内的晶圆花篮进行除锈迹、霉斑、色斑清洗，进一步的彻底清洗花篮。
[0019]5、本专利技术通过导流口的凹形状，半包围在风洗槽的侧端，经风机运行时，将高压气流灌入导流口，再从喷孔喷向风洗槽内，喷孔设置于风洗槽的三个端面，进而对风洗槽内进行充分的喷气、风干，使风洗槽内的晶圆花篮被充分风干、清理，同时配合风洗槽底部的加
热片加热，使风洗槽内温度升高，让风洗槽内花篮被热风充分冲洗、烘干，达到对花篮彻底清理、干燥的目的。
附图说明
[0020]图1为本专利技术一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机的俯视结构示意图；
[0021]图2为本专利技术一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机的正视结构示意图；
[0022]图3为本专利技术一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机的转切机构立体结构示意图；
[0023]图4为本专利技术一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机的风洗槽立体结构示意图；
[0024]图5为本专利技术一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机的图2中A处放大结构示意图。
[0025]图中：1、机皿；2、清洗槽；3、槽连口；4、泵体；5、外接口；6、风洗槽；7、风机；8、导流口；9、喷孔；10、加热片；11、换能器；12、气缸；13本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机，包括机皿(1)，其特征在于：所述机皿(1)的左右两端壁均开设有清洗槽(2)，且清洗槽(2)的端壁安装有槽连口(3)，所述机皿(1)靠近槽连口(3)的一侧内部安装有泵体(4)，且机皿(1)靠近泵体(4)的一侧端壁安置有外接口(5)，所述机皿(1)的前后两端壁均开设有风洗槽(6)，且机皿(1)靠近风洗槽(6)的一侧内部开设有风机(7)，所述机皿(1)靠近风洗槽(6)的端壁开设有导流口(8)，且风洗槽(6)的端壁开设有喷孔(9)，所述风洗槽(6)的底部安装有加热片(10)，所述机皿(1)的左右两端靠近清洗槽(2)的内部安装有换能器(11)，且机皿(1)的中部底部安装有气缸(12)，所述机皿(1)的中部开设有滑槽(13)，且滑槽(13)的内侧安装有电机(14)，所述电机(14)的顶部安置有转轴(15)，且转轴(15)的顶部安装有转切机构(17)，所述机皿(1)靠近清洗槽(2)和风洗槽(6)之间开设有添口(16)，且添口(16)的端侧开设有添道(22)，所述添口(16)的顶部安置有密盖(23)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机，其特征在于：所述转切机构(17)包括吊杆(18)、连杆(19)、存篮(20)和篮网(21)，所述吊杆(18)的左右两端底部均安置有连杆(19)，且连杆(19)的底部安装有存篮(20)，所述存篮(20)的端壁开设有篮网(21)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用复合清理式转运花篮清洗机，...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙永胜，李松松，祁志明，李杰，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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