CVD炉加热系统技术方案

本实用新型专利技术涉及加热系统领域，尤其是CVD炉加热系统。该加热系统包括电极转接头、上加热体、中加热体、下加热体、连接件，所述上加热体、中加热体、下加热体依次固定连接在一起，上加热体端头固定连接在电极转接头上，中加热体两端分别设有L形凹面，上加热体端头和下加热体端头均固定连接在中加热体两端的L形凹面上。该实用新型专利技术不仅可以延长石墨加热体的使用寿命，而且缩短维护、安装设备周期，使加热体间、加热体与转接头间以面接触连接，使电路畅通。通。通。

【技术实现步骤摘要】
CVD炉加热系统


[0001]本技术涉及加热系统领域，尤其是CVD炉加热系统。

技术介绍

[0002]CVD炉加热装置包括：铜电极、石墨加热体组、石墨L型连接装置。石墨加热体组作为核心加热装置，在导电发热工作时需具有导电性好、使用周期长、维修成本低的特性。
[0003]随着光伏产业发展，大型单晶炉在广泛使用，与之配套使用的碳碳复合材料热场部件也在大力生产，这就对化学气相沉积炉的质量提出了更高的要求。随着频繁的使用，原有的加热组件极容易出现损坏。目前多用侧壁悬挂式圆柱型加热体，加热体间采用螺纹连接，依靠螺纹接触面导电，产生并传导热量。
[0004]但是圆柱型加热体与电极转接头嵌套处螺纹连接，传导电流。其中嵌套部位为线接触，存在大量间隙，不利于接触面间的电流传递，产生能源浪费。在频繁使用后，接触位置会电流打火，加热体受热膨胀后，会造成应力集中，加热体螺纹衔接处容易断裂，导致断路。且石墨加热体维修成本高、周期长，影响生产。

技术实现思路

[0005]为了克服现有的加热系统容易损坏的不足，本技术提供了CVD炉加热系统。
[0006]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种CVD炉加热系统，包括电极转接头、上加热体、中加热体、下加热体、连接件，所述上加热体、中加热体、下加热体依次固定连接在一起，上加热体端头贴合并连接在电极转接头上，中加热体两端分别设有L形凹面，上加热体端头和下加热体端头均固定连接在中加热体两端的L形凹面上。
[0007]根据本技术的另一个实施例，进一步包括所述上加热体尾端和下加热体顶端上均设有穿孔，中加热体两端的L形凹面上均设有穿孔，中加热体两端穿孔分别穿设有两个螺杆一，两个螺杆一分别穿过上加热体尾端和下加热体顶端的穿孔，两个螺杆一两端分别螺纹连接有螺母一。
[0008]根据本技术的另一个实施例，进一步包括所述上加热体顶端上设有穿孔，电极转接头上设有穿孔，上加热体顶端的穿孔和电极转接头上的穿孔内穿设有螺杆二，螺杆二两端分别螺纹连接有螺母二。
[0009]根据本技术的另一个实施例，进一步包括所述下加热体尾端设有穿孔，连接件上设有穿孔，下加热体尾端穿孔及连接件上的穿孔内穿设有螺杆三，螺杆三两端分别螺纹连接有螺母三。
[0010]本技术的有益效果是，该技术不仅可以延长石墨加热体的使用寿命，而且缩短维护、安装设备周期，使加热体间、加热体与转接头间以面接触连接，使电路畅通。
附图说明
[0011]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0012]图1是本技术的主视图；
[0013]图2是本技术的右视图；
[0014]图中1. 电极转接头，2. 上加热体，3. 中加热体，4. 下加热体，5. 连接件，6. 螺杆一，7. 螺母一，8. 螺杆二，9 螺母二，10. 螺杆三，11. 螺母三。
具体实施方式
[0015]图1是本技术的主视图；图2是本技术的右视图。
[0016]结合附图1、附图2所示，一种CVD炉加热系统，其特征是，包括电极转接头1、上加热体2、中加热体3、下加热体4、连接件5，所述上加热体2、中加热体3、下加热体4依次固定连接在一起，上加热体2端头贴合并连接在电极转接头1上，中加热体3两端分别设有L形凹面，上加热体2端头和下加热体4端头均固定连接在中加热体3两端的L形凹面上。
[0017]上加热体2尾端和下加热体4顶端上均设有穿孔，中加热体3两端的L形凹面上均设有穿孔，中加热体3两端穿孔分别穿设有两个螺杆一6，两个螺杆一6分别穿过上加热体2尾端和下加热体4顶端的穿孔，两个螺杆一6两端分别螺纹连接有螺母一7。
[0018]上方的螺杆一6上左右两个螺母一7将上加热体2和中加热体3锁定在一起，下方的螺杆一6上左右两个螺母一7将下加热体4和中加热体3锁定在一起。
[0019]上加热体2顶端上设有穿孔，电极转接头1上设有穿孔，上加热体2顶端的穿孔和电极转接头1上的穿孔内穿设有螺杆二8，螺杆二8两端分别螺纹连接有螺母二9。螺杆二8左右两端的螺母二9会将上加热体2和电极转接头1锁定在一起。通过将上加热体2端头贴合在电极转接头1上，并通过螺杆二8和螺母二9锁定在一起，就可以避免产生断裂松动或产生间隙。
[0020]下加热体4尾端设有穿孔，连接件5上设有穿孔，下加热体4尾端穿孔及连接件5上的穿孔内穿设有螺杆三10，螺杆三10两端分别螺纹连接有螺母三11。
[0021]螺杆三10左右两端的螺母三11会将下加热体4和连接件5锁定在一起。
[0022]上加热体2、中加热体3、下加热体4受热膨胀后产生长度差会引起轻微摆动，上加热体2端头就会沿着螺杆二8进行转动，这样就会避免。上加热体2、中加热体3、下加热体4断裂。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD炉加热系统，其特征是，包括电极转接头（1）、上加热体（2）、中加热体（3）、下加热体（4）、连接件（5），所述上加热体（2）、中加热体（3）、下加热体（4）依次固定连接在一起，上加热体（2）端头贴合并连接在电极转接头（1）上，中加热体（3）两端分别设有L形凹面，上加热体（2）端头和下加热体（4）端头均固定连接在中加热体（3）两端的L形凹面上。2.根据权利要求1所述的CVD炉加热系统，其特征是，所述上加热体（2）尾端和下加热体（4）顶端上均设有穿孔，中加热体（3）两端的L形凹面上均设有穿孔，中加热体（3）两端穿孔分别穿设有两个螺杆一（6），两个螺杆一（6...

【专利技术属性】
技术研发人员：楼建军，
申请(专利权)人：常州翊翔炭材科技有限公司，
类型：新型
国别省市：