真空轨道调节装置及真空系统制造方法及图纸

本公开提供了一种真空轨道调节装置及真空系统，真空轨道调节装置包括：连接件，用于与真空腔密封连接；可形变组件，与连接件连接；以及轨道承载件，与可形变组件连接，用于承载真空轨道，以在可形变组件的带动下对真空轨道进行调节。行调节。行调节。

【技术实现步骤摘要】
真空轨道调节装置及真空系统


[0001]本公开涉及真空传样
，特别涉及一种真空轨道调节装置及真空系统。

技术介绍

[0002]真空技术已经普遍应用于半导体领域。为了保证样品从生长到测试的整个过程都在真空环境下完成，通常会在生长测试等不同功能的真空系统之间搭建真空互联系统，实现样品在任意腔室之间的互联互通。为了留出足够的操作空间，各真空系统之间的腔室距离比较远，大多数情况下都在一米以上。目前的技术中普遍采取在各腔室之间设置真空轨道，载样车通过轨道完成样品转运。
[0003]由于各真空系统之间的腔室距离比较远，为了维持整个真空环境的真空度，中间需设置闸板阀，这导致轨道之间不能连接在一起，只能依靠载样车自身的长度通过轨道。这就要求两段轨道之间必须完全对准，否则有可能造成载样车无法通过，甚至发生侧翻。现有技术中将轨道固定在腔体上，在大气下调试无误后，再将整个系统抽成真空环境。但随着使用时间增长，轨道之间会出现偏离误差，使得传样中发生载样车卡顿或倾覆的现象，为了解决这种情况，必须破真空重新对轨道进行调节，待调节完成后再抽真空，步骤繁琐，且需花费大量时间，继而造成实验或生产效率低下。

技术实现思路

[0004]本公开提供了一种真空轨道调节装置，包括：连接件，用于与真空腔密封连接；可形变组件，与连接件连接；以及轨道承载件，与可形变组件连接，用于承载真空轨道，以在可形变组件的带动下对真空轨道进行调节。
[0005]在一些实施例中，可形变组件包括：波纹管，一端与连接件密封连接；以及密封件，与波纹管的另一端密封连接，用于对真空腔进行密封，轨道承载件穿过波纹管与密封件固定连接。
[0006]在一些实施例中，密封件包括：第一法兰，与波纹管密封连接；第二法兰，包括盲法兰，与第一法兰可拆卸密封连接，轨道承载件穿过波纹管与第二法兰固定连接。
[0007]在一些实施例中，可形变组件还包括：至少一个调节螺杆组件，穿设连接件和密封件或第一法兰上，用于调节波纹管的形变以带动轨道承载件对真空轨道进行调节。
[0008]在一些实施例中，调节螺杆组件还包括：调节螺栓，与连接件转动连接且与密封件或第一法兰螺纹连接，用于调节密封件或第一法兰与连接件之间的角度和/或距离。
[0009]在一些实施例中，调节螺杆组件包括：螺杆，穿设在连接件和密封件上，或穿设在连接件和第一法兰上；以及调节螺母，套设在螺杆上且位于密封件或第一法兰外侧，用于调节密封件或第一法兰与连接件之间的角度和/或距离。
[0010]在一些实施例中，调节螺杆组件还包括：至少一个固定螺母，套设在螺杆上且位于连接件外侧或者密封件或第一法兰内侧。
[0011]在一些实施例中，轨道承载件包括：至少一个连接杆，一端安装在密封件或第二法
兰上；承载托，安装在至少一个连接杆的另一端，用于承载真空轨道。
[0012]在一些实施例中，承载托的横截面呈L型，并且承载托包括设置在L型的底板上的一个或多个安装孔和安装凸起。
[0013]在一些实施例中，密封件或第二法兰包括位于内侧的安装座，至少一个连接杆的一端安装在安装座上。
[0014]本公开提供了一种真空系统，包括：真空腔，包括真空窗口；至少一个真空轨道，位于真空腔内；至少一个根据本公开中任一项实施例的真空轨道调节装置，真空调节装置的连接件与真空窗口密封连接，轨道承载件与真空轨道连接，可形变组件对真空轨道进行调节。
[0015]在一些实施例中，至少一个真空轨道包括：第一真空轨道；第二真空轨道，与第一真空轨道对接，至少一个调节装置包括：至少一个第一调节装置，与第一真空轨道连接；至少一个第二调节装置，与第二真空轨道连接，其中，至少一个第一调节装置或至少一个第二调节装置中的一个或多个用于将第一真空轨道和第二真空轨道对准。
[0016]根据本公开一些实施例的真空轨道调节装置能够带来有益的技术效果。例如，根据本公开一些实施例的真空轨道调节装置能够解决常规技术中轨道调节需破真空、调节步骤繁琐、安装拆卸不便等问题，能够实现真空外调节轨道、调节步骤简单方便、无需破真空的技术效果。
[0017]根据本公开一些实施例的真空系统能够带来有益的技术效果。例如，根据本公开一些实施例的真空系统能够解决常规技术中调节轨道需破真空、耗费时间长、实验或生产效率低下等问题，能够实现真空外调节轨道、无需破真空、耗费时间短、提高实验或生产效率的技术效果。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1示出根据本公开一些实施例的真空轨道调节装置的结构示意图；
[0020]图2示出根据本公开一些实施例的轨道承载件的结构示意图；
[0021]图3示出根据本公开一些实施例的真空系统的结构示意图；以及
[0022]图4示出根据本公开一些实施例的真空系统的部分结构示意图。
[0023]在上述附图中，各附图标记分别表示：
[0024]100真空轨道调节装置
[0025]100a、100b第一真空轨道调节装置
[0026]100c、100d第二真空轨道调节装置
[0027]10连接件
[0028]20可形变组件
[0029]21波纹管
[0030]22密封件
[0031]221第一法兰
[0032]222第二法兰
[0033]2221安装座
[0034]23、23a、23b、23c调节螺杆组件
[0035]231a螺杆
[0036]232a调节螺母
[0037]233a、233a
‑
1、233a
‑
2固定螺母
[0038]30轨道承载件
[0039]31、31a、31b、31c连接杆
[0040]32承载托
[0041]321a、321b支撑块
[0042]322a、322b安装孔
[0043]323安装凸起
[0044]200真空腔
[0045]300真空轨道
[0046]300a第一真空轨道
[0047]300b第二真空轨道
具体实施方式
[0048]下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
[0049]在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空轨道调节装置，其特征在于，包括：连接件，用于与真空腔密封连接；可形变组件，与所述连接件连接；以及轨道承载件，与所述可形变组件连接，用于承载真空轨道，以在所述可形变组件的带动下对所述真空轨道进行调节。2.根据权利要求1所述的真空轨道调节装置，其特征在于，所述可形变组件包括：波纹管，一端与所述连接件密封连接；以及密封件，与所述波纹管的另一端密封连接，用于对所述真空腔进行密封，所述轨道承载件穿过所述波纹管与所述密封件固定连接。3.根据权利要求2所述的真空轨道调节装置，其特征在于，所述密封件包括：第一法兰，与所述波纹管密封连接；第二法兰，包括盲法兰，与所述第一法兰可拆卸密封连接，所述轨道承载件穿过所述波纹管与所述第二法兰固定连接。4.根据权利要求3所述的真空轨道调节装置，其特征在于，所述可形变组件还包括：至少一个调节螺杆组件，穿设所述连接件和所述密封件或所述第一法兰上，用于调节所述波纹管的形变以带动所述轨道承载件对所述真空轨道进行调节。5.根据权利要求4所述的真空轨道调节装置，其特征在于，所述调节螺杆组件包括：调节螺栓，与所述连接件转动连接且与所述密封件或所述第一法兰螺纹连接，用于调节所述密封件或所述第一法兰与所述连接件之间的角度和/或距离。6.根据权利要求4所述的真空轨道调节装置，其特征在于，所述调节螺杆组件包括：螺杆，穿设在所述连接件和所述密封件上，或穿设在所述连接件和所述第一法兰上；以及调节螺母，套设在所述螺杆上且位于所述密封件或所述第一法兰外侧，用于调节所述密封件或所述第一法兰与所述连接件之间的角度和/或距离...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈飞，高筱，周文灿，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：