一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，包括本体，所述本体为法兰式凸台套管结构，所述本体顶部凸台内设有用于安装轴承的台阶式沉孔，所述本体设有轴向贯穿的通孔，所述本体底部法兰圆周上设有用于安装圆柱碳刷料、电刷螺钉及电刷弹簧的四个螺纹通孔，所述本体底部法兰上设有用于安装固定的四个通孔。本实用新型专利技术的优点是：能持续稳定地带有负电荷；接触面大，噪音小，工作性能稳定；占用空间小，利用率高，使用时间长，电荷输出更稳定，工作更安全可靠；同时操作简单，安装、拆卸方便，不会对真空腔体产生污染，基本解决了设备维护、换料周期过短的问题，极大地降低了生产成本，保证了镀膜质量。保证了镀膜质量。保证了镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置
[0001]
：
[0002]本技术涉及一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，属于机械领域。
[0003]
技术介绍
：
[0004]现有的真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置所采用的电刷结构，基本上都是安装在与转盘底部平面接触的位置上，噪音大、磨损大，电刷也容易损坏，更重要的是由于转盘的位置相对比较高位，电刷上面粉尘杂质会四处飘散，对真空腔体内部造成严重污染，最终落在镀膜工件上，从而极大地影响镀膜质量，同时还会不同程度影响到转盘的平稳运转，导致相关零件不同程度的磨损甚至掉落，造成所有镀膜产品产生不良而报废，严重影响镀膜工作的正常进行，另外，设备需要频繁停机检查及清理清洁，导致设备不能连续长时间地正常运转，严重影响工业生产。
[0005]
技术实现思路
：
[0006]本技术是为了解决上述不足，提供了一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置。
[0007]本技术的上述目的是通过以下的技术方案来实现：一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，其特征在于：包括本体，所述本体为法兰式凸台套管结构，所述本体顶部凸台内设有用于安装轴承的台阶式沉孔，所述本体设有轴向贯穿的通孔，所述本体底部法兰圆周上设有用于安装圆柱碳刷料、电刷螺钉及电刷弹簧的四个螺纹通孔，所述本体底部法兰上设有用于安装固定的四个通孔。
[0008]主轴转盘电刷装置主要负责为转盘输出负电荷，确保完成镀膜工作，即主轴与圆柱碳刷料接触而使主轴和转盘带负电荷状态，与阴极碳靶过滤电弧源输出的带正电荷碳素离子相作用，再施加一定的偏压，使碳原子沉积在工件上，并且牢固地粘贴在工件上，以保证真空腔体内的工件正常镀膜。
[0009]本技术的设计及工作原理：
[0010]主轴转盘电刷装置工作原理是：电刷本体为纯铜制作，其内部的圆柱碳刷料与带有偏压的阴极电极连通，圆柱碳刷料带负电荷，通过与主轴的外圆表面接触从而使转盘带负电荷，安装在转盘上的镀膜工件也就带负电荷，并与阴极碳靶过滤电弧源输出的带正电荷碳素离子相作用，再施加一定的偏压，使碳原子沉积在工件上，并且牢固地粘贴在工件上，以保证真空腔体内的工件正常镀膜。
[0011]本技术与现有技术相比的优点是：本技术真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，能持续稳定地带有负电荷；接触面大，噪音小，工作性能稳定；占用空间小，利用率高，使用时间长，电荷输出更稳定，工作更安全可靠；同时操作简单，安装、拆卸方便，不会对真空腔体产生污染，基本解决了设备维护、换料周期过短的问题，极大地降低了生产成本，保证了镀膜质量，同时，镀膜生产效率提高2~3倍。
[0012]附图说明：
[0013]图1是本技术的的外观示意图。
[0014]图2是本技术安装在真空镀膜设备的结构示意图。
[0015]图3是本技术安装在真空镀膜设备的外观示意图。
[0016]图4是本技术安装在真空镀膜设备中安装主轴转盘后的外观示意图。
[0017]具体实施方式：
[0018]下面结合附图对本技术进一步详述。
[0019]如图1、图2所示，一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，包括本体1，所述本体1为法兰式凸台套管结构，所述本体1顶部凸台内设有用于安装轴承6的台阶式沉孔2，所述本体1设有轴向贯穿的通孔3，所述本体1底部法兰圆周上设有用于安装圆柱碳刷料7、电刷螺钉8及电刷弹簧9四个螺纹通孔4，所述本体1底部法兰上设有用于安装固定的四个通孔5。
[0020]如图2、图3、图4所示，装配时，先分别将圆柱碳刷料7、电刷弹簧9穿入本体1内，然后用电刷螺钉8穿过圆柱碳刷料7的电缆线旋紧锁死，再将轴承6安装在本体1顶部凸台内，再将装配好的本体1用螺钉固定在大齿轮11上，再将主轴10穿过本体1顶部凸台轴承6的中心孔，最后用键连接方式将转盘12固定在主轴10上，并加上垫圈用螺钉紧固锁死。
[0021]本技术的设计及工作原理：
[0022]主轴转盘电刷装置工作原理是：电刷本体为纯铜制作，其内部的圆柱碳刷料与带有偏压的阴极电极连通，圆柱碳刷料带负电荷，通过与主轴的外圆表面接触从而使转盘带负电荷，安装在转盘上的镀膜工件也就带负电荷，并与阴极碳靶过滤电弧源输出的带正电荷碳素离子相作用，再施加一定的偏压，使碳原子沉积在工件上，并且牢固地粘贴在工件上，以保证真空腔体内的工件正常镀膜。
[0023]以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的
，均同理包括在本技术的专利保护范围内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备用主轴转盘电刷装置，其特征在于：包括本体，所述本体为法兰式凸 台套管结构，所述本体顶部凸台内设有用于安装轴承的台阶式沉孔，所述本体设有轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴宜生，
申请(专利权)人：广东腾通镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：