一种防离心力固定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种防离心力固定装置，涉及半导体设备技术领域。所述防离心力固定装置，包括：滑动装置、底座、顶轴装置以及驱动装置；所述滑动装置设于所述底座上，且与所述底座可滑动连接；所述滑动装置的侧面上设置有顶轴孔；所述驱动装置与所述顶轴装置连接，其中，在驱动装置的驱动下，所述顶轴装置可嵌入所述顶轴孔中。通过驱动装置驱动顶轴装置嵌入到滑动装置侧面上的顶轴孔中来固定住滑动装置，防止转盘在转动时产生的径向离心力而影响到送料的成功率。料的成功率。料的成功率。

【技术实现步骤摘要】
一种防离心力固定装置


[0001]本技术涉及半导体设备
，尤其涉及一种防离心力固定装置。

技术介绍

[0002]在现有的半导体自动化设备中，转盘在转动的时候会产生相对于转盘的径向离心力，由于产生的径向离心力会导致在运输送料的过程中不稳定，导致送料的成功率低等问题。

技术实现思路

[0003]本技术提供了一种防离心力固定装置，以解决半导体自动化设备在运输送料过程中成功率低的问题。
[0004]为了解决上述方案，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种防离心力固定装置，包括：滑动装置、底座、顶轴装置以及驱动装置；所述滑动装置设于所述底座上，且与所述底座可滑动连接；所述滑动装置的侧面上设置有顶轴孔；所述驱动装置与所述顶轴装置连接，其中，在驱动装置的驱动下，所述顶轴装置可嵌入所述顶轴孔中。
[0006]其进一步的技术方案为，所述顶轴装置包括顶轴以及固定轴承；所述固定轴承固定在所述底座上；所述顶轴穿过所述固定轴承与所述驱动装置连接；所述顶轴的一端可嵌入所述顶轴孔以固定所述滑动装置。
[0007]其进一步的技术方案为，所述顶轴装置还包括弹簧以及滑动件；所述弹簧套设在所述顶轴上，且分别与所述滑动件以及所述驱动装置连接。
[0008]其进一步的技术方案为，还包括滑轨；所述滑轨设于所述底座上，所述滑动装置设于所述滑轨上。
[0009]其进一步的技术方案为，还包括固定座；所述固定座设于所述底座的上侧面，且与所述固定轴承连接。
[0010]其进一步的技术方案为，驱动装置还包括电磁阀以及信号接收器；所述电磁阀分别与所述信号接收器、所述弹簧以及所述顶轴连接。
[0011]其进一步的技术方案为，所述滑动装置包括第一电机；所述第一电机设于所述滑轨上。
[0012]其进一步的技术方案为，所述滑动装置还包括连接轴、锁紧件以及吸嘴；所述连接轴设于所述第一电机的下侧面，且与所述锁紧件连接；所述吸嘴设于所述锁紧件的下侧面。
[0013]其进一步的技术方案为，还包括连接块以及真空接口，所述连接块分别与所述真空接口以及所述第一电机连接。
[0014]其进一步的技术方案为，所述滑动装置还包括第二电机；所述第二电机设于所述底座上，且与所述滑轨连接。
[0015]本技术的有益效果：
[0016]一种防离心力固定装置，包括：滑动装置、底座、顶轴装置以及驱动装置；所述滑动装置设于所述底座上，且与所述底座可滑动连接；所述滑动装置的侧面上设置有顶轴孔；所述驱动装置与所述顶轴装置连接，其中，在驱动装置的驱动下，所述顶轴装置可嵌入所述顶轴孔中。通过驱动装置驱动顶轴装置嵌入到滑动装置侧面上的顶轴孔中来固定住滑动装置，防止转盘在转动时产生的径向离心力而影响到送料的成功率。
附图说明
[0017]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本技术的实施例，并与说明书一起用于解释本技术的原理。
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为本技术实施例提供的一种防离心力固定装置的结构图；
[0020]图2为本技术实施例提供的一种转盘的结构图；
[0021]图3为本技术实施例提供的一种防离心力固定装置的结构图；
[0022]图4为本技术实施例提供的一种防离心力固定装置的顶轴装置的结构图。
[0023]附图标记
[0024]滑动装置10、第一电机11、连接轴12、锁紧件13、吸嘴14、第二电机15、底座20、顶轴装置 30、顶轴31、固定轴承32、弹簧33、滑动件34、驱动装置40、电磁阀41、信号接收器42、顶轴孔50、转盘60、滑轨70、固定座80、连接块90、真空接口100。
具体实施方式
[0025]为了更充分理解本技术的
技术实现思路
，下面结合具体实施例对本技术的技术方案进一步介绍和说明，但不局限于此。
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]应当理解，当在本说明书和所附权利要求书中使用时，术语“包括”和“包含”指示所描述特征、整体、步骤、操作、元素和/或组件的存在，但并不排除一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元素、组件和/或其集合的存在或添加。
[0028]还应当理解，在本技术说明书和所附权利要求书中使用的术语“和/或”是指相关联列出的项中的一个或多个的任何组合以及所有可能组合，并且包括这些组合。
[0029]实施例
[0030]参见图1
‑
图4，本技术实施例提供了一种防离心力固定装置，包括：滑动装置10、底座20、顶轴装置30以及驱动装置40；所述滑动装置10设于所述底座20上，且与所述底座20可滑动连接；所述滑动装置10的侧面上设置有顶轴孔50；所述驱动装置40与所述顶轴装置30连接，其中，在驱动装置40的驱动下，所述顶轴装置30可嵌入所述顶轴孔50中。
[0031]具体而言，如
技术介绍
所提到的转盘60在转动的时候会产生相对于转盘60的径向
离心力，由于产生的径向离心力会导致在运输送料的过程中不稳定，导致送料的成功率低等问题。在本技术实施例中，通过驱动装置40驱动顶轴装置30嵌入到滑动装置10侧面上的顶轴孔50中来固定住滑动装置10，防止转盘60在转动时产生的径向离心力而影响到送料的成功率。需要说明的是，图1中隐藏掉的固定座80是套设在固定轴承32上的，在图1中隐藏掉是为了更好地看清楚顶轴装置30的结构以及便于理解顶轴装置30的运动原理。
[0032]进一步的，所述顶轴装置30包括顶轴31以及固定轴承32；所述固定轴承32固定在所述底座上20；所述顶轴31穿过所述固定轴承32与所述驱动装置40连接；所述顶轴31 的一端可嵌入所述顶轴孔50以固定所述滑动装置10。
[0033]具体而言，通过固定轴承32固定在所述底座上20；所述顶轴31穿过所述固定轴承 32与所述驱动装置40连接；所述顶轴31的一端可嵌入所述顶轴孔50以固定所述滑动装置10，防止转盘60在转动时产生的径向离心力而影响到送料的成功率，进一步提高在送料过程中的稳定性。
[0034]进一步的，所述顶轴装置30还包括弹簧33以及滑动件34；所述弹簧33套设在所述顶轴31上，且分别与所述滑动件34以及所述驱动装置40连接。
[0035]具体而言，如图4所示，通过顶轴装置30中的弹簧33套设在顶轴31上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防离心力固定装置，其特征在于，包括：滑动装置、底座、顶轴装置以及驱动装置；所述滑动装置设于所述底座上，且与所述底座可滑动连接；所述滑动装置的侧面上设置有顶轴孔；所述驱动装置与所述顶轴装置连接，其中，在驱动装置的驱动下，所述顶轴装置可嵌入所述顶轴孔中。2.根据权利要求1所述的防离心力固定装置，其特征在于，所述顶轴装置包括顶轴以及固定轴承；所述固定轴承固定在所述底座上；所述顶轴穿过所述固定轴承与所述驱动装置连接；所述顶轴的一端可嵌入所述顶轴孔以固定所述滑动装置。3.根据权利要求2所述的防离心力固定装置，其特征在于，所述顶轴装置还包括弹簧以及滑动件；所述弹簧套设在所述顶轴上，且分别与所述滑动件以及所述驱动装置连接。4.根据权利要求1所述的防离心力固定装置，其特征在于，还包括滑轨；所述滑轨设于所述底座上，所述滑动装置设于所述滑轨上。5.根据权利要求2所述的防离心力固定装置，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：张维伦，曾逸，
申请(专利权)人：深圳市卓兴半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：