一种特殊的离子源挡板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种特殊的离子源挡板，包括顶层板、底层板，所述顶层板位于底层板的顶部，所述底层板顶部的中间开设有通孔，所述顶层板的一侧固定连接有连接杆一，所述底层板的一侧固定连接有连接杆二，所述顶层板的底部开设有空腔，且顶层板的底部为圆锥状的设计。该特殊的离子源挡板，使用了两层挡板设计，底层板使用中空圆环状设计，由于接触离子源面积变小，受力降低，挡板将不容易变形；顶层板使用比通孔中心面积略大的小挡板，能有效的将中心处聚集的离子源粒子反射到挡板处，而不是全部反射到离子源本体上，从而提高离子源使用寿命及稳定性，加上挡板较小，受力小，顶层板也不容易发生形变。易发生形变。易发生形变。

【技术实现步骤摘要】
一种特殊的离子源挡板


[0001]本技术涉及离子源
，具体为一种特殊的离子源挡板。

技术介绍

[0002]目前主流的蒸发镀膜设备都配备有高功率的离子源用来辅助成膜，以提高膜层质量；离子源通过高能粒子轰击膜层表面的方式，能提高膜层的致密度，同时由于能量强具有比较强的刻蚀效果；镀膜需要的是在镀膜过程中离子源辅助提高膜层性能，而非镀膜时的蚀刻效果对镀膜来说是有害的，需要使用离子源挡板来遮挡，保护膜层；
[0003]目前主流使用的离子源挡板，一般都是单层的304钢材盖子加支杆构成：由于离子源能量较大，挡板用久后容易变形，离子轰击在挡板上返回离子源本体容易造成离子源使用寿命降低，正常使用时也存在不稳定性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种特殊的离子源挡板，以解决上述
技术介绍
中提出目前主流使用的离子源挡板，一般都是单层的304钢材盖子加支杆构成：由于离子源能量较大，挡板用久后容易变形，离子轰击在挡板上返回离子源本体容易造成离子源使用寿命降低，正常使用时也存在不稳定性的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种特殊的离子源挡板，包括顶层板、底层板，所述顶层板位于底层板的顶部，所述底层板顶部的中间开设有通孔，所述顶层板的一侧固定连接有连接杆一，所述底层板的一侧固定连接有连接杆二。
[0006]优选的，所述顶层板的底部开设有空腔，且顶层板的底部为圆锥状的设计。
[0007]优选的，所述底层板采用中空圆环状设计。
[0008]优选的，所述连接杆一和连接杆二之间的靠左端位置分别活动连接有卡合块一和卡合块二，且卡合块二上螺纹连接有两个限位螺栓。
[0009]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0010]该特殊的离子源挡板，使用了两层挡板设计，底层板使用中空圆环状设计，由于接触离子源面积变小，受力降低，挡板将不容易变形；顶层板使用比通孔中心面积略大的小挡板，能有效的将中心处聚集的离子源粒子反射到挡板处，而不是全部反射到离子源本体上，从而提高离子源使用寿命及稳定性，加上挡板较小，受力小，顶层板也不容易发生形变。
附图说明
[0011]图1为本技术示意图；
[0012]图2为本技术顶层板和底层板的剖视示意图。
[0013]图中：1、顶层板；2、底层板；3、通孔；4、连接杆一；5、连接杆二；6、卡合块一；7、合块二。
具体实施方式
[0014]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0015]请参阅图1
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2，本技术提供如下技术方案：一种特殊的离子源挡板，包括顶层板1、底层板2，顶层板1位于底层板2的顶部，底层板2采用中空圆环状设计，顶层板1的底部开设有空腔，且顶层板1的底部为圆锥状的设计，底层板2顶部的中间开设有通孔3，顶层板1的一侧固定连接有连接杆一4，底层板2的一侧固定连接有连接杆二5，连接杆一4和连接杆二5之间的靠左端位置分别活动连接有卡合块一6和卡合块二7，卡合块一6和卡合块二7用于保障连接杆一4和连接杆二5在使用时的稳定性，且卡合块二7上螺纹连接有两个限位螺栓，可通过限位螺栓与设备或墙面进行固定。
[0016]工作原理：挡板分成两块，能使受力分成两份，将有效提高离子源的耐受性，减少变形；离子源粒子能量很大，轰击在挡板后反射粒子是不规则的，如果只有一层，由于反射面都是正对离子源本体的，大部分反射粒子都会返回本体，而使用双层设计，上层无序的反射粒子有很大一部分将能反射到下层挡板上，而离子源能量一般都集中在中心处，因此双层结构能有效减少粒子反射回本体。
[0017]综上所述：该特殊的离子源挡板，使用了两层挡板设计，底层板2使用中空圆环状设计，由于接触离子源面积变小，受力降低，挡板将不容易变形；顶层板1使用比通孔3中心面积略大的小挡板，能有效的将中心处聚集的离子源粒子反射到挡板处，而不是全部反射到离子源本体上，从而提高离子源使用寿命及稳定性，加上挡板较小，受力小，顶层板也不容易发生形变。
[0018]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种特殊的离子源挡板，包括顶层板(1)、底层板(2)，其特征在于：所述顶层板(1)位于底层板(2)的顶部，所述底层板(2)顶部的中间开设有通孔(3)，所述顶层板(1)的一侧固定连接有连接杆一(4)，所述底层板(2)的一侧固定连接有连接杆二(5)，所述底层板(2)采用中空圆环状设计。2.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：周志辉，殷海明，
申请(专利权)人：东莞市长益光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：