一种薄膜沉积设备腔体清洁装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，属于产品腔体清洁技术领域，解决了现有的产品腔体清洁存在需手动清洁和清洁效果差的问题，其技术要点是：工作台的一侧开设有配合槽，配合槽上设置有吹风机构和抽风机构，配合槽的外侧设置有夹持机构，第一支撑柱与第二支撑柱的连接处设置有升降驱动机构，第二支撑柱的底部设置有万向轮，吹风机构便于将待清洁产品内的颗粒杂质吹起，抽风组便于将吹起的颗粒杂质抽取至收集组内收集，夹持机构便于对待清洁产品进行夹持固定，升降驱动机构便于驱动工作台根据待清洁产品的高度下降调节至合适的位置进行相应的配合连接，保证了抽吸操作的稳定进行，具有无需手动清洁和清洁效果好的优点。好的优点。好的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜沉积设备腔体清洁装置


[0001]本技术涉及产品腔体清洁领域，具体是涉及一种薄膜沉积设备腔体清洁装置。

技术介绍

[0002]物理气相沉积技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。PVD(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类：真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。物理气相沉积的主要方法有：真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜和分子束外延等。相应的真空镀膜设备包括真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。随着沉积方法和技术的提升，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等
[0003]现有设备清理腔体颗粒都是使用无尘布手动清洁，由于腔体内部结构复杂，会有很多狭小的空间无法清洁到，而颗粒对产品有着致命的威胁，严重的影响了产品良率，那改善腔体的洁净度就是重中之重，无法满足实际使用所需。
[0004]由上可见，现有的产品腔体清洁存在需手动清洁和清洁效果差的缺点，难以得到推广应用。
[0005]因此，需要提供一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，旨在解决上述问题。

技术实现思路

[0006]针对现有技术存在的不足，本技术实施例的目的在于提供一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，以解决上述
技术介绍
中的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
>[0008]一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，位于待清洁产品的外侧，包括工作台，所述工作台的一侧开设有便于配合连接待清洁产品的配合槽，所述配合槽上设置有吹风机构和抽风机构，所述抽风机构机构包括抽风组和收集组，所述配合槽的外侧设置有便于夹持固定待清洁产品的夹持机构，所述夹持机构包括夹持块、滑杆、固定板、弹簧和拉板，所述夹持块通过滑杆滑动连接于固定板上，所述固定板固定连接于工作台上，所述夹持块与固定板的连接处设置有弹簧，所述滑杆的一端固定连接有拉板，所述夹持块的内侧设置有便于防护的弹性密封垫，所述工作台的底部设置有若干便于支撑的第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱与第二支撑柱的连接处设置有升降驱动机构，所述第二支撑柱的底部设置有便于移动的万向轮。
[0009]作为本技术进一步的方案，所述吹风机构包括吹风罩、储气罐和气压泵，所述吹风罩朝向待清洁产品的内部设置，所述吹风罩通过第三管道连通有储气罐，所述储气罐固定安装于工作台上，所述储气罐通过第四管道连通有气压泵，所述气压泵固定安装于工
作台上。
[0010]作为本技术进一步的方案，所述抽风组包括吸风罩和抽风机，所述吸风罩固定安装于配合槽上，所述吸风罩朝向待清洁产品的内部设置，所述吸风罩通过第一管道固定连接有抽风机，所述抽风机固定安装于工作台上。
[0011]作为本技术进一步的方案，所述收集组包括收集箱、第一防尘网、第二防尘网和收纳盒，所述抽风机通过第二管道连通有收集箱，所述收集箱固定安装于工作台上，所述第一防尘网固定安装于收集箱的内部，所述收集箱的一侧开设有第二防尘网，所述收集箱的内部滑动连接有收纳盒，所述工作台的外侧铰接有便于隔音的隔音罩。
[0012]作为本技术进一步的方案，所述升降驱动机构包括连接箱、丝杆、锥齿轮副和双轴电机，所述第一支撑柱固定连接于工作台上，所述第一支撑柱通过滑块滑动连接于第二支撑柱上，所述丝杆转动连接于第二支撑柱的内部，所述第一支撑柱螺纹连接于丝杆上，所述丝杆通过锥齿轮副转动连接有双轴电机的输出轴，所述双轴电机固定安装于连接箱的内部，所述连接箱固定安装于第二支撑柱的连接处。
[0013]作为本技术进一步的方案，所述工作台的外侧设置有若干个扶手，所述万向轮上设置有刹车件。
[0014]综上所述，本技术实施例与现有技术相比具有以下有益效果：
[0015]本技术通过工作台的一侧开设有便于配合连接待清洁产品的配合槽，配合槽上设置有吹风机构和抽风机构，抽风机构机构包括抽风组和收集组，通过设置有吹风机构便于将待清洁产品内的颗粒杂质吹起，解决了传统清洁死角的无法处理，且通过设置有抽风组便于将吹起的颗粒杂质抽取至收集组内进行收集，实现了对待清洁产品腔体内颗粒杂质的良好处理；
[0016]配合槽的外侧设置有便于夹持固定待清洁产品的夹持机构，通过设置有夹持机构便于对待清洁产品的外侧进行防护性的夹持固定，实现了后续抽吸的良好操作；
[0017]工作台的底部设置有若干便于支撑的第一支撑柱和第二支撑柱，第一支撑柱与第二支撑柱的连接处设置有升降驱动机构，第二支撑柱的底部设置有便于移动的万向轮，通过设置有万向轮便于推动工作台进行移动，通过设置有升降驱动机构便于驱动工作台根据待清洁产品的高度下降调节至合适的位置进行相应的配合连接，保证了抽吸操作的稳定进行。
[0018]为更清楚地阐述本技术的结构特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对本技术进行详细说明。
附图说明
[0019]图1为技术实施例的结构示意图。
[0020]图2为技术实施例中工作台底部的连接结构示意图。
[0021]图3为技术实施例中工作台上部的连接结构示意图。
[0022]图4为技术实施例中收集箱内部的连接结构示意图。
[0023]图5为技术实施例的侧面部分剖视结构示意图。
[0024]附图标记：1、待清洁产品；2、工作台；3、隔音罩；4、吸风罩；5、吹风罩；6、配合槽；7、第一管道；8、抽风机；9、第二管道；10、收集箱； 11、第一防尘网；12、第二防尘网；13、收纳
盒；14、第三管道；15、储气罐；16、第四管道；17、气压泵；18、夹持块；19、弹性密封垫；20、滑杆； 21、固定板；22、弹簧；23、拉板；24、第一支撑柱；25、第二支撑柱；26、万向轮；27、连接箱；28、丝杆；29、锥齿轮副；30、双轴电机；31、扶手； 32、刹车件。
具体实施方式
[0025]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0026]以下结合具体实施例对本技术的具体实现进行详细描述。
[0027]实施例1
[0028]参见图1、图2和图5，一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，位于待清洁产品1的外侧，包括工作台2，所述工作台2的一侧开设有便于配合连接待清洁产品1的配合槽6，所述配合槽6的外侧设置有便于夹持固定待清洁产品1的夹持机构，所述夹持机构包括夹持块18、滑杆20、固定板21、弹簧22和拉板23，所述夹持块18通过滑杆20滑动连接于固定板21上，所述固定板21 固定连接于工作台2上，所述夹持块18与固定板21的连接处设置有弹簧22，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，位于待清洁产品(1)的外侧，其特征在于，包括工作台(2)，所述工作台(2)的一侧开设有便于配合连接待清洁产品(1)的配合槽(6)，所述配合槽(6)上设置有吹风机构和抽风机构，所述抽风机构机构包括抽风组和收集组，所述配合槽(6)的外侧设置有便于夹持固定待清洁产品(1)的夹持机构，所述夹持机构包括夹持块(18)、滑杆(20)、固定板(21)、弹簧(22)和拉板(23)，所述夹持块(18)通过滑杆(20)滑动连接于固定板(21)上，所述固定板(21)固定连接于工作台(2)上，所述夹持块(18)与固定板(21)的连接处设置有弹簧(22)，所述滑杆(20)的一端固定连接有拉板(23)，所述夹持块(18)的内侧设置有便于防护的弹性密封垫(19)，所述工作台(2)的底部设置有若干便于支撑的第一支撑柱(24)和第二支撑柱(25)，所述第一支撑柱(24)与第二支撑柱(25)的连接处设置有升降驱动机构，所述第二支撑柱(25)的底部设置有便于移动的万向轮(26)。2.根据权利要求1所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置，其特征在于，所述吹风机构包括吹风罩(5)、储气罐(15)和气压泵(17)，所述吹风罩(5)朝向待清洁产品(1)的内部设置，所述吹风罩(5)通过第三管道(14)连通有储气罐(15)，所述储气罐(15)固定安装于工作台(2)上，所述储气罐(15)通过第四管道(16)连通有气压泵(17)，所述气压泵(17)固定安装于工作台(2)上。3.根据权利要求2所述的薄膜沉积设备腔体清洁装置，其特征在于，所述抽风组包括吸风罩(4)和抽...

【专利技术属性】
技术研发人员：童洲，黄中山，
申请(专利权)人：盛吉盛半导体技术上海有限公司，
类型：新型
国别省市：