一种液体流量控制系统的保护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种液体流量控制系统的保护装置，包括气液混合蒸发器，所述气液混合蒸发器设置有进气口、进液口、以及出气口，所述出气口连接带有控制阀门的出气管，所述控制阀门与出气口之间的出气管上连通有旁路管道，所述旁路管道串联连通有旁路阀门、以及排废阀门，所述旁路管道一侧设置有用于控制阀门、旁路阀门、以及排废阀门打开和关闭的控制盒；本实用新型专利技术具有异常气体排出的优点。实用新型专利技术具有异常气体排出的优点。实用新型专利技术具有异常气体排出的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种液体流量控制系统的保护装置


[0001]本技术属于半导体制造
，具体涉及一种液体流量控制系统的保护装置。

技术介绍

[0002]半导体芯片生产过程中均需要使用到CVD工艺，目前部分机台使用了Horiba生产的气液流体系统，用与控制工艺进行时需要使用的特殊气体，该系统由控制系统、一个液体流量计和一个气液混合蒸发器组成，使用时由控制系统将液体设定值给到液体流量计，再由液体流量计发出控制信号给到气液混合蒸发器，由气液混合蒸发器连接的控制阀进行流量控制。
[0003]实际使用中，如图2所示的气液混合蒸发器长时间使用后，易发生流量不足的现象，如在生产过程中控制阀到达最大开度时，流量达不到生产所需要的参数时，产品会出现异常，会造成比较大的损失，为了能够在流量出现异常前提前进行预防，现有技术中采用监控装置实现对流量的监控，并通过控制阀实现出气管的闭合，但是位于出气口与控制阀之间的出气管内的异常工艺气体仍然存在，当重新打开后，异常工艺气体会进入反应腔室内，从而使得生产的产品还是会出现异常的情况。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是克服现有技术的不足而提供一种具有异常气体排出的液体流量控制系统的保护装置。
[0005]本技术的技术方案如下：
[0006]一种液体流量控制系统的保护装置，包括气液混合蒸发器，所述气液混合蒸发器设置有进气口、进液口、以及出气口，所述出气口连接带有控制阀门的出气管，所述控制阀门与出气口之间的出气管上连通有旁路管道，所述旁路管道串联连通有旁路阀门、以及排废阀门，所述旁路管道一侧设置有用于控制阀门、旁路阀门、以及排废阀门打开和关闭的控制盒。
[0007]进一步，所述出气管设置有与旁路管道连通的三通接头；通过三通接头实现旁路管道与出气管的连接，方便排气。
[0008]进一步，所述旁路阀门、以及排废阀门均为常闭阀门，且所述旁路阀门位于排废阀门与三通接头之间的旁路管道上；采用为常闭阀门的旁路阀门、以及排废阀门避免气体的排出，方便使用。
[0009]进一步，所述控制阀门为常开阀门；采用为常开阀门的控制阀门实现进气管的打开，方便工艺气体进入反应腔室内。
[0010]进一步，所述控制阀门、旁路阀门、以及排废阀门均为电磁阀门或者气动隔膜阀；采用电磁阀门或气动隔膜阀实现出气管和旁路管道的通断控制，保证排气控制。
[0011]进一步，所述控制盒采用PLC控制器。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]1、本技术采用旁路管道实现异常工艺气体的排出，并通旁路阀门实现旁路管道的打开和闭合，从而方便异常工艺气体的排出，达到避免产品生产出现异常的情况；
[0014]2、本技术采用排废阀门实现旁路管道的二次封闭，避免排出的气体回流到旁路管道内；
[0015]总之，本技术具有异常气体排出的优点。
附图说明
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]图2为本技术的现有技术结构示意图。
[0018]图中，1、气液混合蒸发器，2、进液口，3、进气口，4、三通接头，5、控制阀门，6、出气管，7、控制盒，8、旁路管道，9、排废阀门，10、旁路阀门，11、出气口。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如图1所示，一种液体流量控制系统的保护装置，包括气液混合蒸发器1，所述气液混合蒸发器1设置有进气口3、进液口2、以及出气口11，所述出气口11通过VCR接头连接带有控制阀门5的出气管6，所述控制阀门5为常开阀门，所述控制阀门5通过VCR接头连接在出气管6上，所述控制阀门5与出气口11之间的出气管6上连通有旁路管道8，所述旁路管道8和出气管6均采用316L洁净PE管，所述旁路管道8通过VCR接头串联连通有旁路阀门10、以及排废阀门9，所述旁路阀门10、以及排废阀门9均为常闭阀门，且所述旁路阀门10位于排废阀门9与三通接头4之间的旁路管道8上，所述旁路管道8一侧设置有用于控制阀门5、旁路阀门10、以及排废阀门9打开和关闭的控制盒7，其中所述控制阀门5、旁路阀门10、以及排废阀门9均为电磁阀门或者气动隔膜阀，优选为气动隔膜阀，所述电磁阀门型号为：JG20A2，所述控制盒7采用PLC控制器，所述PLC控制器连接电磁阀门或者启动隔膜阀，所述plc控制器型号：XBC
‑
DN32H；
[0021]当使用时，出气管6连接在反应腔室上，然后将旁路管道8连接在排放系统，进液口2和进气口3分别连接进液管道和进气管道，打开气液混合蒸发器1，因为控制阀门5为常开阀门，所述旁路阀门10、以及排废阀门9均为常闭阀门，所以气体和液体经过气液混合蒸发器1的混合产生工艺气体并从出气口11排出，工艺气体经过出气管6进入反应腔室内，而当出气口11的工艺气体流量达不到生产所需要的参数时此时的工艺气体为异常工艺气体，控制盒7控制控制阀门5关闭，并打开旁路阀门10和排废阀门9，异常工艺气体从旁路管道8排入排放系统内，当工艺气体流量参数达到生产所需要的参数时，排废阀门9关闭，然后旁路阀门10关闭，避免异常工艺气体回流，并打开控制阀门5，此时工艺气体通过出气管6进入反应腔室内；
[0022]当采用气动隔膜阀时，将气动隔膜阀与驱动气管连接，在驱动气管上设置有与PLC
控制器连接的电磁控制阀，电磁控制阀可根据实际需要选用二位二通电磁阀或二位三通电磁阀，电磁控制阀控制驱动气管的压力气体进入气动隔膜阀，当需要控制气动隔膜阀闭合时，电磁控制阀控制驱动气管的气体进入气动隔膜阀内，从而实现气动隔膜阀的打开和关闭的控制，其中气动隔膜阀相较于电磁阀，其结构更为简单、密封和防腐性能更好，且流体阻力小，更便于使用。
[0023]在本实施例中，所述出气管6通过VCR接头连接有与旁路管道8连通的三通接头4，所述旁路管道8通过VCR接头连通三通接头4；在使用时，通过三通接头4实现出气管6和旁路管道8的连通，方便异常工艺气体的排出。
[0024]尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液体流量控制系统的保护装置，包括气液混合蒸发器，所述气液混合蒸发器设置有进气口、进液口、以及出气口，所述出气口连接带有控制阀门的出气管，其特征在于：所述控制阀门与出气口之间的出气管上连通有旁路管道，所述旁路管道串联连通有旁路阀门、以及排废阀门，所述旁路管道一侧设置有用于控制阀门、旁路阀门、以及排废阀门打开和关闭的控制盒。2.根据权利要求1所述的液体流量控制系统的保护装置，其特征在于：所述出气管设置有与旁路管道连通的三通接头。3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：何旭，杨强，
申请(专利权)人：无锡木人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：