【技术实现步骤摘要】
一种碳纤维保温棉自动上卷装置
[0001]本专利技术涉及晶体生长炉保温筒
,尤其是一种碳纤维保温棉自动上卷装置。
技术介绍
[0002]晶体生长炉是一种重要的半导体工艺设备,炉内的热场稳定对硅晶体的品质有着较高的影响。在硅晶体生长的的高温环境中,晶体生长炉内的保温筒是保证炉内热场稳定、减少炉内热量损失的重要部件。保温桶外通常卷裹多层碳纤维保温棉制成的碳毡进行保温,因此碳纤维保温棉作为硅晶体生长炉的热场材料,其裹碳的品质与硅晶体的质量直接相关。晶体生长炉自动化程度较高,运行过程中仅需要少量人工干预,但是在烧晶准备工作过程中仍需要较多的人工,特别是其中碳毡上卷包裹作业,由于缺乏相关设备目前仍需人工操作。
[0003]晶体生长炉内的热场部件保温筒通常需要缠裹多层碳纤维保温棉碳毡且需要定期更换,特别随着大尺寸单晶硅的发展,对热场材料也要求较大尺寸,在单晶车间的拆清工作中,全工艺流程均为人工操作,生产过程中存在负重搬运现象,一般需要多人配合工作,费事费力,劳动强度大,难以进行质量控制,已逐渐不能满足需求。并且由于碳纤维保 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种碳纤维保温棉自动上卷装置,包括放毡转台(1),所述放毡转台(1)为碳纤维保温棉碳毡原料卷(1.1)的放置装置,其特征在于:所述碳毡原料卷(1.1)放置于放毡转台(1)上,中心轴(1.3)从上而下穿过碳毡原料卷(1.1)轴心,插入轴承(1.4)孔内。2.如权利要求1所述的一种碳纤维保温棉自动上卷装置,其特征在于:所述碳毡压紧与接头切割一体装置(2)为一个集碳毡压紧与接头切割为一体的多功能组合件;所述小号可调张紧手轮(2.3)用于调整固定辊(2.4)和活动压紧辊(2.5)之间的间隙,进而调整张紧力;所述中号可调节张紧手轮(2.2)驱动活动压紧板(2.7)向前移动将碳毡料压紧在固定压紧板(2.8)上;所述活动压紧板(2.7)与固定压紧板(2.8)上均开有固定角度的切刀槽。3.如权利要求1所述的一种碳纤维保温棉自动上卷装置,其特征在于:所述收卷旋转台(6)含有回转盘(7),所述回转盘(7)由驱动装置驱动,用于保温桶(10)的放置;所述收卷旋转台(6)内部中心设有支撑工装(5),所述支撑工装(5)共设有3台,均布于收卷旋转台(6)内。4.如权利要求3所述的一种碳纤维保温棉自动上卷装置,其特征在于:所述保温桶内支撑工装(5...
【专利技术属性】
技术研发人员:李勇,杜江龙,常博坤,李思华,王中华,
申请(专利权)人:宁夏晶创智能装备有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。