校准设备和校准方法技术

本申请的校准设备用于校准待校准件，校准设备包括承载件和多个定位件。待校准件承载在承载件上；定位件可在预定行程内移动，预定行程包括目标位置，当多个定位件均位于对应的目标位置时，多个定位件围成预定的定位空间，待校准件位于定位空间并与多个定位件均抵触。本申请的校准设备和校准方法通过承载件承载待校准件，通过多个可在预定行程内移动的定位件移动到对应的目标位置，从而使得待校准件被准确地定位到预定的定位空间内，快速完成待校准件的位置校准，使得待校准件在被机械手抓取时位置始终保持不变，从而使得机械手抓取待校准件移动到检测设备上时，待校准件始终位于检测设备上同一预定位置，从而保证了待校准件的检测效果和检测效率。测效果和检测效率。测效果和检测效率。

【技术实现步骤摘要】
校准设备和校准方法


[0001]本申请涉及检测
，特别涉及一种校准设备和校准方法。

技术介绍

[0002]在半导体检测领域，需要将待测件放置到承载装置的预定位置上，然而由于不同待测件初始放置位置可能存在差异，导致机械手抓取待测件以移动到检测设备上时，待测件并不能准确的位于预定位置。而且有时为了满足精准检测的需要，在检测之前，还需要反复地对待测件进行定位，从而影响检测效率。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本申请的实施方式提供了一种校准设备和校准方法。
[0004]本申请实施方式的校准设备用于校准待校准件，所述校准设备包括承载件和多个定位件。所述待校准件承载在所述承载件上；所述定位件可在预定行程内移动，所述预定行程包括目标位置，当多个所述定位件均位于对应的所述目标位置时，多个所述定位件围成预定的定位空间，所述待校准件位于所述定位空间并与多个所述定位件均抵触。
[0005]本申请实施方式的校准方法用于校准待校准件。所述校准方法包括通过机械手将所述待校准件移动到承载件，以使得所述承载件承载所述待校准件；及控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种校准设备，其特征在于，用于校准待校准件，所述校准设备包括：承载件，所述待校准件承载在所述承载件上；多个定位件，所述定位件可在预定行程内移动，所述预定行程包括目标位置，当多个所述定位件均位于对应的所述目标位置时，多个所述定位件围成预定的定位空间，所述待校准件位于所述定位空间并与多个所述定位件均抵触。2.根据权利要求1所述的校准设备，其特征在于，所述承载件包括承载板和多个设置在所述承载板的支撑柱，所述支撑柱包括支撑面，多个所述支撑柱的所述支撑面位于同一平面。3.根据权利要求2所述的校准设备，其特征在于，所述承载板包括第一承载部和第二承载部，所述第一承载部包围所述第二承载部，所述支撑柱包括第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱设置在所述第一承载部上，所述第二支撑柱设置在所述第二承载部上，所述第一支撑柱的所述支撑面高于所述第二支撑柱的所述支撑面。4.根据权利要求2所述的校准设备，其特征在于，所述支撑柱还包括侧面和连接面，所述连接面倾斜连接所述侧面和所述支撑面。5.根据权利要求1所述的校准设备，其特征在于，所述校准设备还包括基座，所述基座包括基板和侧板，所述侧板设置在所述基板上，所述承载件设置在所述基板，所述定位件设置在所述侧板。6.根据权利要求1所述的校准设备，其特征在于，所述定位件包括第一定位件、第二定位件和第三定位件，所述第一定位件、所述第二定位件和所述第三定位件围成锐角三角形。7.根据权利要求1所述的校准设备，其特征在于，所述预定行程的延伸方向垂直于所述待校准件与所述定位件抵触的部分的切线方向。8.根据权利要求1
‑
7任一项所述的校准设备，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，金建高，张鹏斌，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：