【技术实现步骤摘要】
一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法
[0001]本专利技术属于传感器
,具体的说是一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法。
技术介绍
[0002]常规热导传感器可以使用温度敏感的电阻式传感器检测装置,传感器直接与待测介质接触,在受到杂质污染之后,驱动电路及敏感的传感器本身容易因为过载,受潮等各种原因而损坏。鉴于此,本专利技术提出了一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法,解决了上述技术问题。
技术实现思路
[0003]为了解决现有技术的不足,本专利技术提出的一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法;降低故障率,提高产品寿命与可靠性。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法,包括在同一微机电系统半导体基片上的N套传感器系统,N≥2,以及接收N套传感器系统工作信号的控制器,工作时,其中任意一套传感器系统为检测传感器,通电工作,余下的传感器系统为备份传感器,不通电,且不受到短路影响;当检测传感器因短路故障损坏无法继续使用时,手动或者自动切换使用备用传感器中任意一个,使得传感器继续正常运行,以此类推,直至硅片上的N套传感器系统全部故障。
[0005]优选的,所述传感器系统包括热导传感器和参比传感器。
[0006]优选的,N套传感器系统信号调理部分独立,或者公用,保证在未使用的传感器系统不会因为故障受到影响或者损坏。
[0007]优选的,当检测传感器损坏故障时,控制器接收到故障信号,并输出一个信号,提示传感器损坏信息,使传感器系 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种提高热导传感器寿命与可靠性的方法,包括在同一微机电系统半导体基片上的N套传感器系统,N≥2,以及接收N套传感器系统工作信号的控制器,其特征在于:工作时,其中任意一套传感器系统为检测传感器,通电工作,余下的传感器系统为备份传感器,不通电,且不受到短路影响;当检测传感器因短路故障损坏无法继续使用时,手动或者自动切换使用备用传感器中任意一个,使得传感器继续正常运行,以此类推,直至硅片上的N套传感器系统全部故障。2.根据权利要求1所述的一种提高热导...
【专利技术属性】
技术研发人员:王洋,冯树环,
申请(专利权)人:安徽安分光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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