一种金刚石-铜复合材料及其制备方法技术

技术编号:35575897 阅读:69 留言:0更新日期:2022-11-12 16:00
本发明专利技术提供了一种金刚石

【技术实现步骤摘要】
一种金刚石

铜复合材料及其制备方法


[0001]本专利技术涉及金属基复合材料
,具体涉及一种金刚石

铜复合材料及其制备方法。

技术介绍

[0002]随着微电子技术的高速发展,半导体集成电路封装密度越来越大,运行速度越来越快。高集成度和高运行速度,使器件产生的热量迅速增加,导致电路板的工作环境温度升高,影响器件的稳定性。此外,器件工作时的热循环常会产生较大的应力,若材料之间热膨胀系数(CTE)不匹配会引起微电子电路和器件的热疲劳失效,研究表明,当基板和芯片的热膨胀系数差超过1.2
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‑5/K时,承受约100个热循环便会出现分离情况。现有的电子封装材料,如W

Cu、Mo

Cu、SiCp

Al、SiCp

Cu以及BeO

Cu等复合材料,均难以满足未来高功率器件的散热需求。因此,研制热膨胀系数与半导体材料相匹配的超高热导材料具有重要意义。
[0003]金刚石是已知自然界本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金刚石

铜复合材料的制备方法,包括以下步骤:将铜粉、硼粉与金刚石粉混合,得到混合粉料;将所述混合粉料进行放电等离子烧结或热压烧结,得到金刚石

铜复合材料。2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述硼粉的质量不超过铜粉与硼粉总质量的1%。3.根据权利要求1或2所述的制备方法,其特征在于,所述金刚石粉与铜粉的体积比为(40~60):(40~60)。4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述将铜粉、硼粉与金刚石粉混合包括:将铜粉与硼粉进行第一混合,得到硼掺杂铜粉;将所述硼掺杂铜粉与金刚石粉进行第二混合。5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于,所述第一混合为球磨,所述球磨的转速为200~400rpm,时间为1~10h,球料比为(3~10):1。6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:ꢀ七四专利代理机构
申请(专利权)人:广东奔朗新材料股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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