一种紧凑型螺旋抽头式滤波器制造技术

本发明专利技术公开了一种紧凑型螺旋抽头式滤波器，包括：第一连接端口和第二连接端口，所述第一连接端口和第二连接端口之间设有组合式电感，形成LC滤波电路，所述组合式电感包括弹簧状螺旋紧密排布的多个电感，并在所需信号节点处进行抽头连接信号；其中，所述组合式电感包括:衬底，所述衬底上间隔地开设有多个通孔；底部厚铜，设置在所述衬底的底部；次顶部厚铜，设置在所述衬底的上表面，且所述次顶部厚铜的位置与所述通孔的位置相对应；金属化衬底通孔，设置在所述衬底内，所述衬底通孔的上下两端分别与所述次顶部厚铜与底部厚铜相连接，形成并排的第一电感和第二电感；电容，设置在所述次顶部厚铜和顶部金属之间。发明专利技术具有高性能、小尺寸等优点。尺寸等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种紧凑型螺旋抽头式滤波器


[0001]本专利技术涉及集成无源滤波器
，尤其涉及一种紧凑型螺旋抽头式滤波器。

技术介绍

[0002]现有的集成无源器件(IPD)工艺，是采用半导体后道工艺制作电感、电容、电阻，从而实现滤波器、功分器等无源器件。目前，射频前端器件的滤波器一般具有大型化、低性能等缺陷。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种紧凑型螺旋抽头式滤波器。
[0004]一种紧凑型螺旋抽头式滤波器，包括：第一连接端口和第二连接端口，所述第一连接端口和第二连接端口之间设有组合式电感，形成LC滤波电路，所述组合式电感包括弹簧状螺旋紧密排布的多个电感，并在所需信号节点处进行抽头连接信号；
[0005]其中，所述组合式电感包括:
[0006]衬底，所述衬底上间隔地开设有多个通孔；
[0007]底部厚铜，设置在所述衬底的底部；
[0008]次顶部厚铜，设置在所述衬底的上表面，且所述次顶部厚铜的位置与所述通孔的位置相对应；
[0009]金属化衬底通孔，设置在所述衬底内，所述衬底通孔的上下两端分别与所述次顶部厚铜与底部厚铜相连接，形成并排的第一电感和第二电感；
[0010]电容，设置在所述次顶部厚铜和顶部金属之间。
[0011]在其中一个实施例中，所述衬底的底部设有第一介质层，所述第一介质层包覆在所述底部厚铜上。
[0012]在其中一个实施例中，所述衬底的顶部自下而上依次设置第二介质层和第三介质层，所述第二介质层包覆在所述次顶部厚铜上，所述第一金属化通孔设置在所述第二介质层内，所述第三介质层包覆在所述顶部金属上。
[0013]在其中一个实施例中，所述顶部金属或者底部厚铜上设有开窗，在所述开窗内进行打线或者植球。
[0014]在其中一个实施例中，还包括拓扑结构的第一级和第二级：
[0015]所述第一级包括相互并联的第一串联电容和所述第一电感，所述第一串联电容和所述第一电感的一端与所述第一连接端口相连接，所述第一串联电容和所述第一电感的另一端与第一并联电容相连接；
[0016]所述第二级包括相互并联的第三并联电容和所述第二电感，所述第三并联电容和所述第二电感的一端经第二并联电容连接在相互串联的第二串联电容和第三串联电容之间，所述第二串联电容与所述第一并联电容相连接，所述第三串联电容与所述第二连接端口相连接。
[0017]在其中一个实施例中，所述衬底的材质为硅、玻璃、砷化鎵或陶瓷。
[0018]上述紧凑型螺旋抽头式滤波器，通过合理的利用拓扑及工艺特点，形成紧密排布连接的第一电感和第二电感，并且，在类似于弹簧绕线的情况下，进行抽头连接第一并联电容下地等操作，使本专利技术的滤波器具有高性能、小尺寸等优点。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1是本专利技术的紧凑型螺旋抽头式滤波器的版图；
[0021]图2是本专利技术的紧凑型螺旋抽头式滤波器的原理图；
[0022]图3是本专利技术的紧凑型螺旋抽头式滤波器的性能示意图；
[0023]图4是本专利技术的组合式电感的结构示意图。
具体实施方式
[0024]为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳的实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。
[0025]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
[0026]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。
[0027]参阅图1
‑
4所示，本专利技术一实施例提供一种紧凑型螺旋抽头式滤波器，包括：第一连接端口1和第二连接端口2，所述第一连接端口1和第二连接端口2之间设有组合式电感，形成LC滤波电路，所述组合式电感包括弹簧状螺旋紧密排布的多个电感，并在所需信号节点处进行抽头连接信号；
[0028]其中，所述组合式电感包括：
[0029]衬底3，所述衬底3上间隔地开设有多个通孔4；可选地，所述衬底3的材质可以为硅、玻璃、砷化鎵或陶瓷等。
[0030]底部厚铜5，设置在所述衬底3的底部；
[0031]次顶部厚铜6，设置在所述衬底3的上表面，且所述次顶部厚铜6的位置与所述通孔4的位置相对应；
[0032]金属化衬底通孔4，设置在所述衬底3内，所述金属化衬底通孔4的上下两端分别与所述次顶部厚铜6与底部厚铜5相连接，形成并排的第一电感L1和第二电感L2；
[0033]电容，设置在所述次顶部厚铜6和顶部金属8之间。
[0034]本实施例中，电容可以为MIM电容，MIM电容由于其极薄的介质层，且介质损耗较低，加上其较好的绝缘性等优势，通常电容的Q值能达到200左右。
[0035]上述紧凑型螺旋抽头式滤波器，通过合理的利用拓扑及工艺特点，形成紧密排布连接的第一电感L1和第二电感L2，并且，在类似于弹簧绕线的情况下，进行抽头连接第一并联电容Cp1下地等操作，使本专利技术的滤波器具有高性能、小尺寸等优点。
[0036]在本专利技术一实施例中，所述衬底3的底部设有第一介质层10，所述第一介质层10包覆在所述底部厚铜5上。如此，可以对底部厚铜5进行有效保护。
[0037]在本专利技术一实施例中，所述衬底3的顶部自下而上依次设置第二介质层11和第三介质层12，所述第一金属化通孔9设置在所述第二介质层11内，所述第二介质层11包覆在所述次顶部厚铜6上，所述第三介质层包覆在所述顶部金属8上。如此，可以对次顶部厚铜6和顶部金属8进行保护。
[0038]在本专利技术一实施例中，所述顶部金属8或者底部厚铜5上设有开窗，在所述开窗内进行打线或者植球。如此，以便于引出信号。
[0039]在本专利技术一实施例中，还包括拓扑结构的第一级和第二级；
[0040]所述第一级包括相互并联的第一串联电容Cs1和所述第一电感L1，所述第一串联电容Cs1和所述第一电感L1的一端与所述第一连接端口1相连接，所述第一串联电容Cs1和所述第一电感L1的另一端与第一并联电容Cp1相连接；
[0041]所述第二级包括相互并联的第三并联电容Cp3和所述第二电感L2，所述第三并联电容Cp3和所述第二电感L2的一端经第二并联电容Cp2连接在相互串联的第二串联电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紧凑型螺旋抽头式滤波器，其特征在于，包括：第一连接端口和第二连接端口，所述第一连接端口和第二连接端口之间设有组合式电感，形成LC滤波电路，所述组合式电感包括弹簧状螺旋紧密排布的多个电感，并在所需信号节点处进行抽头连接信号；其中，所述组合式电感包括:衬底，所述衬底上间隔地开设有多个通孔；底部厚铜，设置在所述衬底的底部；次顶部厚铜，设置在所述衬底的上表面，且所述次顶部厚铜的位置与所述通孔的位置相对应；金属化衬底通孔，设置在所述衬底内，所述衬底通孔的上下两端分别与所述次顶部厚铜与底部厚铜相连接，形成并排的第一电感和第二电感；电容，设置在所述次顶部厚铜和顶部金属之间。2.如权利要求1所述的紧凑型螺旋抽头式滤波器，其特征在于，所述衬底的底部设有第一介质层，所述第一介质层包覆在所述底部厚铜上。3.如权利要求2所述的紧凑型螺旋抽头式滤波器，其特征在于，所述衬底的顶部自下而上依次设置第二介质层和第三介质层，所述第二介质层包覆在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈立均，代文亮，吴梁成，李苏萍，吴浩昱，
申请(专利权)人：上海芯波电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：