废气缓冲装置及废气处理系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于废气处理技术领域，特别涉及废气缓冲装置及废气处理系统。本实用新型专利技术提供的废气缓冲装置，半导体废液经过处理后的精馏废气通过废气输入管道经过混合室混合后进入缓冲室，经过分子筛单元的作用，降低废气浓度瞬间波动峰值，使缓冲罐出口废气浓度趋于稳定，有利于后段废气回收处理装置稳定运行。本实用新型专利技术提供的具有上述废气缓冲装置的废气处理系统，废气处理运行稳定，最终排气筒排放废气稳定达标的效果。废气稳定达标的效果。废气稳定达标的效果。

【技术实现步骤摘要】
废气缓冲装置及废气处理系统


[0001]本技术属于废气处理
，特别涉及废气缓冲装置及废气处理系统。

技术介绍

[0002]半导体废液经过处理后会产生的精馏废气，精馏废气一般经过深冷回收设施、废气处理设施处置达标后排放。精馏产生的废气浓度值是波动的，废气浓度的不稳定会对废气处理系统稳定运行产生影响，可能导致排气筒排气瞬间超标。因而深冷回收设施前需要加缓冲装置，混合收集到的不同浓度、风量的多股废气。普通缓冲罐只能起到混合各股废气作用，对废气浓度值的波动缓冲效果较小。

技术实现思路

[0003]针对上述现有技术的不足，本技术提供了废气缓冲装置及废气处理系统，目的是为了解决现有精馏废气处理系统中，普通缓冲罐只能起到混合各股废气作用，对废气浓度值的波动缓冲效果较小的技术问题。
[0004]本技术提供的废气缓冲装置，具体技术方案如下：
[0005]废气缓冲装置，包括缓冲室，所述缓冲室的入口通过混合室连接有多个废气输入管道，所述缓冲室的出口连接有深度冷凝吸附器，所述缓冲室中填充有分子筛单元，所述分子筛单元包括多个呈阵列排布的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.废气缓冲装置，其特征在于，包括缓冲室，所述缓冲室的入口通过混合室连接有多个废气输入管道，所述缓冲室的出口连接有深度冷凝吸附器，所述缓冲室中填充有分子筛单元，所述分子筛单元包括多个呈阵列排布的分子筛块。2.根据权利要求1所述的废气缓冲装置，其特征在于，所述分子筛单元的前端设有第一挡板，所述第一挡板与所述缓冲室内壁底部形成第一通气口，所述分子筛单元的后端设有第二挡板，所述第二挡板与所述缓冲室内壁顶部形成第二通气口。3.根据权利要求1所述的废气缓冲装置，其特征在于，所述分子筛块为蜂窝状，所述分子筛的材料为改性无机二氧化硅。4.废气处理系统，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：浦泓，王毅，
申请(专利权)人：江苏三贵资源再生有限公司，
类型：新型
国别省市：