晶元蓝膜测试盘及晶元测试机制造技术

本申请属于晶元测试技术领域，尤其涉及一种晶元蓝膜测试盘及晶元测试机，该晶元蓝膜测试盘包括基板、支撑板、子母环和铁环：所述基板开设有镂空孔；所述支撑板安装于所述基板上，并封盖住所述镂空孔；所述子母环安装于所述基板上，并环绕所述支撑板设置；所述铁环安装于所述基板上，并环绕所述子母环设置。该晶元蓝膜测试盘能够兼容铁环及子母环的测试固定方式，即能够兼容不同的晶元蓝膜固定方式；另外，在生产过程中，如需要更换不同的固定方式，也无需更换晶元蓝膜测试盘，选择对应固定方式的固定部件即可，从而大大提高了转产速度。从而大大提高了转产速度。从而大大提高了转产速度。

【技术实现步骤摘要】
晶元蓝膜测试盘及晶元测试机


[0001]本申请属于晶元测试
，尤其涉及一种晶元蓝膜测试盘及晶元测试机。

技术介绍

[0002]晶元蓝膜广泛地应用于芯片封装领域，晶元通常贴合在晶元蓝膜的表面进行储存，而在实际的芯片封装制作过中，需要对贴合在晶元蓝膜表面的晶元进行测试，目前通常是将晶元蓝膜固定在芯片测试设备内的测试盘上，然后，再利用芯片测试设备内的测试装置对晶元进行测试，但是现有的测试盘与晶元蓝膜的固定方式单一，不能满足晶元蓝膜多样的固定方式，从而导致在测试过程中存在换产不方便的问题。

技术实现思路

[0003]本申请的目的在于提供一种晶元蓝膜测试盘及晶元测试机，旨在解决现有技术中的测试盘与晶元蓝膜的固定方式单一，不能满足晶元蓝膜多样的固定方式，从而导致在测试过程中存在换产不方便的技术问题。
[0004]为实现上述目的，本申请采用的技术方案是：一种晶元蓝膜测试盘，包括：
[0005]基板，所述基板开设有镂空孔；
[0006]支撑板，所述支撑板安装于所述基板上，并封盖住所述镂空孔；
>[0007]子母环本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶元蓝膜测试盘，其特征在于，包括：基板，所述基板开设有镂空孔；支撑板，所述支撑板安装于所述基板上，并封盖住所述镂空孔；子母环，所述子母环安装于所述基板上，并环绕所述支撑板设置；以及铁环，所述铁环安装于所述基板上，并环绕所述子母环设置。2.根据权利要求1所述的晶元蓝膜测试盘，其特征在于：所述铁环与所述基板磁性吸附连接。3.根据权利要求2所述的晶元蓝膜测试盘，其特征在于：所述基板设置有多个磁铁，所述磁铁沿所述铁环的周向间隔分布，并与所述铁环磁性吸附连接。4.根据权利要求1所述的晶元蓝膜测试盘，其特征在于：所述基板设置有多个定位柱，所述定位柱沿所述铁环的周向分布，所述定位的外周壁与所述铁环的外周壁抵接。5.根据权利要求1～4任一项所述的晶元蓝膜测试盘，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：段雄斌，张利利，庞华贵，何选民，
申请(专利权)人：深圳市标谱半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：