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本申请属于晶元测试技术领域，尤其涉及一种晶元蓝膜测试盘及晶元测试机，该晶元蓝膜测试盘包括基板、支撑板、子母环和铁环：所述基板开设有镂空孔；所述支撑板安装于所述基板上，并封盖住所述镂空孔；所述子母环安装于所述基板上，并环绕所述支撑板设置；所述...
该专利属于深圳市标谱半导体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市标谱半导体股份有限公司授权不得商用。

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