一种探针检测台制造技术

本实用新型专利技术涉及检测技术领域，尤其涉及一种探针检测台。其包括承载台、安装台，探针座，其中承载台设置有能够沿所述承载台长度方向滑动的调节板；安装台设置于所述承载台上并用于安装被检测件，安装台至少一侧设置有调节板；探针座用于安装探针，探针座设置于安装台的侧边，探针座设置于调节板上，且探针座能够沿调节板的长度方向移动。探针座能够相对于承载台滑动，这样在承载台上放置好被检测件后，探针座可根据实际需要移动，以使探针检测被检测件的不同位置，避免了现有技术中根据被检测件检测位置不同而频繁，相比于现有技术而言，本实用新型专利技术中的探针检测台能够减少检测时间，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种探针检测台


[0001]本技术涉及检测
，尤其涉及一种探针检测台。

技术介绍

[0002]在电子装置(诸如半导体)的制造过程中以及制造过程完成以后，需要对其进行相关检测以确定其性能。例如电性能测试，信号测试等，还可为芯片提供热分布测试和失效定位。但是上述两个及以上测量实现检测的手段多是通过探针与测量相机结合，这样可以通过一次检测获得多个方面的测量结果，无需打线和焊接(可能会引入外部干扰，破坏原有失效现象)。而现有技术中检测装置灵活性差，稳定性不足，造成检测效率低。
[0003]因此，亟需一种探针检测台，以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提出一种探针检测台，能够提高探针检测台的灵活性，实现一个探针能够检测同一检测件的不同位置。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种探针检测台，包括：
[0007]承载台，设置有能够沿所述承载台长度方向滑动的调节板；
[0008]安装台，设置于所述承载台上并用于安装被检测件，所述安装台至少一侧设置有所述调节板；
[0009]探针座，用于安装探针，所述探针座设置于所述调节板上，且所述探针座能够沿所述调节板的长度方向移动。
[0010]作为上述探针检测台的一种优选技术方案，所述调节板沿长度方向设置有呈长条形的第一调节孔，所述探针座上设置有与所述第一调节孔相配合的第一调节螺栓，所述第一调节螺栓用于将所述探针座位置固定。
[0011]作为上述探针检测台的一种优选技术方案，所述探针座上设置有呈长条形的第二调节孔，所述第一调节孔的长度方向与所述第二调节孔的长度方向呈夹角设置，所述第一调节螺栓依次穿过所述第二调节孔和所述第一调节孔。
[0012]作为上述探针检测台的一种优选技术方案，所述探针座包括：
[0013]探针安装座，用于安装探针；
[0014]移动座，与所述探针安装座连接，所述移动座上设置有所述第二调节孔，所述移动座能够滑动的设置于所述调节板上。
[0015]作为上述探针检测台的一种优选技术方案，所述探针安装座包括：
[0016]固定座，与所述移动座连接；
[0017]转动座，与所述固定座转动连接，所述转动座上设置有所述探针。
[0018]作为上述探针检测台的一种优选技术方案，所述转动座包括：
[0019]竖直调节座，与所述固定座枢轴连接；
[0020]转向调节座，所述竖直调节座的一端与所述转向调节座通过转动螺栓转动连接，所述转向调节座与所述探针连接。
[0021]作为上述探针检测台的一种优选技术方案，所述转向调节座上设置有导向板和导向螺栓，所述导向板与所述导向螺栓相互配合能够为所述转动座提供导向并紧固所述转动座；
[0022]所述导向板一端与所述转向调节座固定连接，所述导向板另一端与所述竖直调节座转动连接，所述导向板上设置有呈弧形的导向孔，所述导向螺栓穿过所述导向孔并与所述固定座螺纹连接，所述转动螺栓穿过所述导向板、所述竖直调节座和所述转向调节座以将所述竖直调节座和所述转向调节座转动连接。
[0023]作为上述探针检测台的一种优选技术方案，所述安装台包括：
[0024]抽拉架，固定于所述承载台上；
[0025]抽拉座，通过限位结构设置于所述抽拉架上；
[0026]夹持臂，能够滑动的设置于所述抽拉座上；
[0027]紧固结构，能够将所述夹持臂限位与所述承载台上。
[0028]作为上述探针检测台的一种优选技术方案，所述承载台包括机架和承载板，所述安装台和所述探针座均设置于所述承载板上，所述承载板两端能够转动的设置于所述机架上。
[0029]作为上述探针检测台的一种优选技术方案，所述探针检测台还包括驱动结构，所述驱动结构包括：
[0030]转动电机；
[0031]蜗杆，与所述转动电机的输出端连接；
[0032]齿轮，设置于所述机架的外部，所述承载板设置有连接轴，所述连接轴一端穿过所述机架并套设有所述齿轮，所述齿轮与所述蜗杆啮合，所述承载板能够随所述齿轮转动。
[0033]本技术有益效果：
[0034]探针座能够相对于承载台滑动，这样在承载台上放置好被检测件后，探针座可根据实际需要移动，以使探针检测被检测件的不同位置，提高了探针的灵活性，避免了现有技术中根据被检测件检测位置不同而频繁更换探针或者承载台，相比于现有技术而言，本技术中的探针检测台能够减少检测时间，提高工作效率。
附图说明
[0035]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。
[0036]图1是本技术实施例提供的检测装置的正视图；
[0037]图2是本技术实施例提供的探针检测台的第一视角的结构示意图；
[0038]图3是本技术实施例提供的探针检测台的第二视角的结构示意图；
[0039]图4是本技术实施例提供的承载台和安装台连接后的第一视角的结构示意图；
[0040]图5是本技术实施例提供的承载台和安装台连接后的第二视角的结构示意图；
[0041]图6是本技术实施例提供的安装台的结构示意图；
[0042]图7是本技术实施例提供的探针座的第一视角的结构示意图；
[0043]图8是本技术实施例提供的探针座的第二视角的结构示意图；
[0044]图9是本技术实施例提供的移动座的第二视角的结构示意图；
[0045]图10是本技术实施例提供的检测装置的轴测视图；
[0046]图11是本技术实施例提供的镜头架的结构示意图；
[0047]图12是本技术实施例提供的移动单元的结构示意图；
[0048]图13是图10中A处的局部放大图。
[0049]图中：
[0050]1、承载台；11、机架；12、承载板；13、调节板；131、第一调节孔；14、定位螺栓；
[0051]2、安装台；21、抽拉架；22、抽拉座；221、第一限位孔；23、夹持臂；24、固定板；25、紧固板；26、紧固螺栓；
[0052]3、探针安装座；31、固定座；32、竖直调节座；33、第二调节螺栓；34、转向调节座；341、导向板；3411、导向孔；342、导向螺栓；35、探针安装管；
[0053]4、移动座；41、X轴调节部；411、X轴微调丝杠；412、X轴移动体；413、连接座；4131、第二调节孔；42、Y轴调节部；421、Y轴微调丝杠；422、Y轴移动体；43、Z轴调节部；431、Z轴微调丝杠；432、Z轴移动体；44、第一调节本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针检测台，其特征在于，包括：承载台(1)，设置有能够沿所述承载台(1)长度方向滑动的调节板(13)；安装台(2)，设置于所述承载台(1)上并用于安装被检测件，所述安装台(2)至少一侧设置有所述调节板(13)；探针座，用于安装探针，所述探针座设置于所述调节板(13)上，且所述探针座能够沿所述调节板(13)的长度方向移动。2.根据权利要求1所述的探针检测台，其特征在于，所述调节板(13)沿长度方向设置有呈长条形的第一调节孔(131)，所述探针座上设置有与所述第一调节孔(131)相配合的第一调节螺栓(44)，所述第一调节螺栓(44)用于将所述探针座位置固定。3.根据权利要求2所述的探针检测台，其特征在于，所述探针座上设置有呈长条形的第二调节孔(4131)，所述第一调节孔(131)的长度方向与所述第二调节孔(4131)的长度方向呈夹角设置，所述第一调节螺栓(44)依次穿过所述第二调节孔(4131)和所述第一调节孔(131)。4.根据权利要求3所述的探针检测台，其特征在于，所述探针座包括：探针安装座(3)，用于安装探针；移动座(4)，与所述探针安装座(3)连接，所述移动座(4)上设置有所述第二调节孔(4131)，所述移动座(4)能够滑动的设置于所述调节板(13)上。5.根据权利要求4所述的探针检测台，其特征在于，所述探针安装座(3)包括：固定座(31)，与所述移动座(4)连接；转动座，与所述固定座(31)转动连接，所述转动座上设置有所述探针。6.根据权利要求5所述的探针检测台，其特征在于，所述转动座包括：竖直调节座(32)，与所述固定座(31)枢轴连接；转向调节座(34)，所述竖直调节座(32)的一端与所述转向调节座(34)通过转动螺栓转动连接，所述转向调节座(34)与所述探针连接。7.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚慧兰，冯建安，秦丹，张金金，张逸凡，
申请(专利权)人：上海晟衡检测技术有限公司，
类型：新型
国别省市：