传感器装置制造方法及图纸

根据一实施方式，传感器装置具备：绝缘基材，具有蛇行的带状部和与上述带状部连接的岛状部；第1无机绝缘膜，配置在上述岛状部之上；第1布线层，配置在上述第1无机绝缘膜之上；第2无机绝缘膜，配置在上述第1布线层之上；第2布线层，配置在上述第2无机绝缘膜之上；有机绝缘膜，配置在上述第2布线层之上；阻挡膜，由无机绝缘材料形成，将上述有机绝缘膜覆盖；传感器元件，配置在上述阻挡膜之上；以及密封膜，由无机绝缘材料形成，将上述传感器元件覆，上述传感器元件是有机光电二极管，上述阻挡膜将上述有机绝缘膜的侧面覆盖，上述密封膜在上述传感器元件的外侧与上述阻挡膜及上述第2无机绝缘膜相接。膜相接。膜相接。

【技术实现步骤摘要】
传感器装置
[0001]相关申请的相互参照
[0002]本申请基于2021年5月10日提出的日本专利申请第2021－079733号主张优先权，这里引用该日本申请中记载的全部记载内容。


[0003]本专利技术的实施方式涉及传感器装置。

技术介绍

[0004]近年来，在各种领域中研究了具有挠性及伸缩性的柔性基板的使用。如果举一例，则可以考虑将以矩阵状排列有电气元件的柔性基板粘贴到电子设备的壳体或人体等的曲面上的使用形态。作为电气元件，可以应用例如接触传感器或温度传感器等的各种传感器或显示元件。
[0005]在柔性基板中，需要采取对策以使得在因弯曲或伸缩带来的应力下布线不损伤。作为这样的对策，例如提出了使布线蛇行的形状(蜿蜒形状)。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的是提供一种能够抑制可靠性的下降的传感器装置。
[0007]根据一技术方案，传感器装置具备：绝缘基材，具有蛇行的带状部和与上述带状部连接的岛状部；第1无机绝缘膜，配置在上述岛状部之上；第1布线层，配置在上述第1无机绝缘膜之上；第2无机绝缘膜，配置在上述第1布线层之上；第2布线层，配置在上述第2无机绝缘膜之上；有机绝缘膜，配置在上述第2布线层之上；阻挡膜，由无机绝缘材料形成，将上述有机绝缘膜覆盖；传感器元件，配置在上述阻挡膜之上；以及密封膜，由无机绝缘材料形成，将上述传感器元件覆盖，上述传感器元件是有机光电二极管，上述阻挡膜将上述有机绝缘膜的侧面覆盖，上述密封膜在上述传感器元件的外侧与上述阻挡膜及上述第2无机绝缘膜相接。
[0008]根据技术方案，能够提供能够抑制可靠性的下降的传感器装置。
附图说明
[0009]图1是有关实施方式的传感器装置1的概略性的俯视图。
[0010]图2是表示柔性基板2的一例的俯视图。
[0011]图3是表示包括岛状部I的柔性基板2的一例的剖视图。
[0012]图4是表示包括带状部BX的柔性基板2的一例的剖视图。
[0013]图5是将绝缘基材10及密封膜15的一部分放大的俯视图。
[0014]图6是用来说明柔性基板2的制造方法的图。
[0015]图7是用来说明柔性基板2的制造方法的图。
[0016]图8是用来说明柔性基板2的制造方法的图。
[0017]图9是用来说明柔性基板2的制造方法的图。
具体实施方式
[0018]以下，一边参照附图一边对本实施方式进行说明。另外，公开只不过是一例，关于由本领域技术人员就保持着专利技术的主旨的适当变更能够容易地想到的形态，当然包含在本专利技术的范围中。此外，附图为了使说明更明确，有与实际的形态相比关于各部的宽度、厚度、形状等示意地表示的情况，但只不过是一例，并不限定本专利技术的解释。此外，在本说明书和各图中有对于与关于已出现的图已在前面叙述者发挥相同或类似的功能的构成要素赋予相同的标号而将重复的详细的说明适当省略的情况。
[0019]图1是有关本实施方式的传感器装置1的概略性的俯视图。在本实施方式中，如图示那样定义第1方向X、第2方向Y及第3方向Z。第1方向X、第2方向Y及第3方向Z相互正交，但也可以以90度以外的角度相互交叉。第1方向X及第2方向Y例如相当于与传感器装置1的主面平面的方向，此外，第3方向Z相当于传感器装置1的厚度方向。
[0020]传感器装置1具备柔性基板2、电路基板3和控制器4。电路基板3例如是柔性印刷电路基板，在柔性基板2的端子区域TA中与各端子电连接。控制器4安装在电路基板3上，但也可以安装在柔性基板2上。
[0021]柔性基板2构成为，在整体上具有挠性及伸缩性。柔性基板2具备第1驱动器DR1、第2驱动器DR2、X布线WX、Y布线WY、传感器元件SD等。
[0022]第1驱动器DR1及第2驱动器DR2例如配置在柔性基板2上，但也可以配置在电路基板3、控制器4或其他基板上。X布线WX是大致沿着第1方向X延伸的布线的总称，至少一部分的X布线WX与第1驱动器DR1电连接。多个X布线WX在第2方向Y上排列。Y布线WY是大致沿着第2方向Y延伸的布线的总称，至少一部分的Y布线WY与第2驱动器DR2电连接。多个Y布线WY在第1方向X上排列。作为这些X布线WX及Y布线WY，包括扫描线、信号线、电源线、各种控制线等多个种类的布线。
[0023]多个传感器元件SD在有效区域AA中在第1方向X及第2方向Y上以矩阵状排列，与X布线WX及Y布线WY电连接。
[0024]柔性基板2具备后述的绝缘基材10。在一例中，第1驱动器DR1、第2驱动器DR2、X布线WX、Y布线WY及传感器元件SD都配置在绝缘基材10之上。
[0025]图2是表示柔性基板2的一例的俯视图。
[0026]绝缘基材10能够伸缩。这里的能够伸缩，是指能够伸长及收缩的性质，即能够从作为常态的非伸长状态伸长、当从该伸长状态释放时能够复原的性质。非伸长状态是没有被施加拉伸应力时的状态。
[0027]绝缘基材10例如形成为网状。即，绝缘基材10具有大致沿着第1方向X形成的多个带状部BX、大致沿着第2方向Y形成的多个带状部BY和多个岛状部I。多个带状部BX在第2方向Y上排列，多个带状部BY在第1方向X上排列。带状部BX及BY分别能够伸缩。在一例中，带状部BX及BY蛇行。岛状部I相当于带状部BX与带状部BY的交叉部。
[0028]多个岛状部I在第1方向X及第2方向Y上以矩阵状排列。在第1方向X上邻接的岛状部I被带状部BX连接，在第2方向Y上邻接的岛状部I被带状部BY连接。岛状部I既可以是正方形、长方形、菱形等的四边形，也可以是其他的多边形，也可以是圆形或椭圆形等其他形状。
带状部BX及BY既可以与岛状部I的角部连接，也可以与岛状部I的边连接。
[0029]换言之，绝缘基材10具有多个第1开口(贯通孔)OP1。多个第1开口OP1在第1方向X及第2方向Y上以矩阵状排列。1个第1开口OP1在俯视下被绝缘基材10的外缘10E包围。或者，1个第1开口OP1被在第2方向Y上邻接的两条带状部BX和在第1方向X上邻接的两条带状部BY包围。
[0030]带状部BY位于在第1方向X上邻接的两个第1开口OP1之间。带状部BX位于在第2方向Y上邻接的两个第1开口OP1之间。第1开口OP1各自的形状实质上相同。
[0031]带状部BX及BY具有1个以上的弯曲部C。有将这样的形状称作蜿蜒图案的情况。但是，带状部BX及BY的形状并不限于图2的例子。带状部BX及BY的形状既可以相互相同，也可以相互不同。
[0032]这样的绝缘基材10例如由聚酰亚胺形成。另外，绝缘基材10的材料并不限于聚酰亚胺，也可以使用其他的树脂材料。
[0033]X布线WX配置在带状部BX之上，与带状部BX同样地蛇行。Y布线WY配置在带状部BY之上，与带状部BY同样地蛇行。
[0034]传感器元件SD配置在岛状部I之上，与X布线WX及Y布线WY电连接。例如，在1个岛状部I配本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传感器装置，其中，具备：绝缘基材，具有蛇行的带状部和与上述带状部连接的岛状部；第1无机绝缘膜，配置在上述岛状部之上；第1布线层，配置在上述第1无机绝缘膜之上；第2无机绝缘膜，配置在上述第1布线层之上；第2布线层，配置在上述第2无机绝缘膜之上；有机绝缘膜，配置在上述第2布线层之上；阻挡膜，由无机绝缘材料形成，将上述有机绝缘膜覆盖；传感器元件，配置在上述阻挡膜之上；以及密封膜，由无机绝缘材料形成，将上述传感器元件覆盖，上述传感器元件是有机光电二极管，上述阻挡膜将上述有机绝缘膜的侧面覆盖，上述密封膜在上述传感器元件的外侧与上述阻挡膜及上述第2无机绝缘膜相接。2.如权利要求1所述的传感器装置，其中，上述传感器元件具备：下部电极，配置在上述阻挡膜之上；有机光电变换层，配置在上述下部电极之上，在上述下部电极的外侧与上述阻挡膜相接；以及上部电极，配置在上述有机光电变换层之上，上述密封膜将上述上部...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃村功，佐野匠，
申请(专利权)人：株式会社日本显示器，
类型：发明
国别省市：