显示装置的制造方法制造方法及图纸

技术编号:41699233 阅读:22 留言:0更新日期:2024-06-19 12:33
本发明专利技术涉及显示装置的制造方法。一实施方式涉及的制造方法包括:形成下电极;形成肋部;和在肋部之上形成隔壁,所述隔壁包含导电性的底部、绝缘性的轴部、和比轴部的侧面突出的顶部。隔壁的形成包括:形成包含由导电性的第1材料形成的层的第1层;形成包含由绝缘性的第2材料形成的层的第2层;形成包含由第3材料形成的层的第3层;利用第1蚀刻工序将第3层图案化而形成顶部;利用第2蚀刻工序将第2层图案化而形成轴部;和利用第3蚀刻工序将第1层图案化而形成底部。第2蚀刻工序中的第3材料的蚀刻速率低于第2蚀刻工序中的第2材料的蚀刻速率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施方式涉及显示装置的制造方法


技术介绍

1、近年来,作为显示元件应用了有机发光二极管(oled)的显示装置正在实用化。该显示元件具备下电极、覆盖下电极的有机层、和覆盖有机层的上电极。

2、在配置有多个显示元件的显示区域,形成有用于向上电极供电的布线等各种布线。由这些布线带来的电阻需要调整至适当的值,在显示元件及其周围的结构方面,也有这样的调整未必容易的情况。


技术实现思路

1、总的说来,根据实施方式,显示装置的制造方法包括:形成下电极;形成覆盖前述下电极的至少一部分的肋部;和在前述肋部之上形成隔壁,所述隔壁包含导电性的底部、位于前述底部之上的绝缘性的轴部、和位于前述轴部之上且比前述轴部的侧面突出的顶部。

2、根据实施方式的一个观点,前述隔壁的形成包括:形成包含由导电性的第1材料形成的层的第1层;在前述第1层之上形成包含由绝缘性的第2材料形成的层的第2层;在前述第2层之上形成包含由第3材料形成的层的第3层;利用第1蚀刻工序将前述第3层图案化而形成前述顶部;利用第2蚀刻工序本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.显示装置的制造方法,其包括:

2.显示装置的制造方法,其包括:

3.显示装置的制造方法,其包括:

4.如权利要求1至3中任一项所述的显示装置的制造方法,其中,所述第1层包含:由所述第1材料形成的第1底层;和由与所述第1材料不同的导电性的材料形成且叠置于所述第1底层上的第2底层。

5.如权利要求4所述的显示装置的制造方法,其中,所述第2底层比所述第1底层厚。

6.如权利要求1或2所述的显示装置的制造方法,其中,所述第3层包含:由所述第3材料形成的第1顶层;和由与所述第3材料不同的材料形成且叠置于所述第1顶层上的第2顶层。...

【技术特征摘要】

1.显示装置的制造方法,其包括:

2.显示装置的制造方法,其包括:

3.显示装置的制造方法,其包括:

4.如权利要求1至3中任一项所述的显示装置的制造方法,其中,所述第1层包含:由所述第1材料形成的第1底层;和由与所述第1材料不同的导电性的材料形成且叠置于所述第1底层上的第2底层。

5.如权利要求4所述的显示装置的制造方法,其中,所述第2底层比所述第1底层厚。

6.如权利要求1或2所述的显示装置的制造方法,其中,所述第3层包含:由所述第3材料形成的第1顶层;和由与所述第3材料不同的材料形成且...

【专利技术属性】
技术研发人员:河村真一
申请(专利权)人:株式会社日本显示器
类型:发明
国别省市:

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