加热装置及真空镀膜机制造方法及图纸

技术编号:35554277 阅读:20 留言:0更新日期:2022-11-12 15:35
本实用新型专利技术公开了一种加热装置及真空镀膜机,其包括:真空仓、加热机构和电连接器;加热机构包括设置于真空仓内的固定座和电发热件,固定座连接于真空仓的内壁,电发热件安装于固定座;电连接器设置于真空仓的外壁,电连接器与真空室连通,电连接器与电发热件电连接,电连接器和真空仓的外壁之间设置有密封结构。电发热件整体均安装于真空仓内,并利用设置于真空仓外壁的电连接器实现与外部的电连接。由于电发热器完全设置于真空仓内,并且电连接器与真空仓之间通过密封结构进行密封,因此无需对电发热器的端部进行密封处理,进而得以使得对电发热件的固定和连接处理变得更加顺利、简便。简便。简便。

【技术实现步骤摘要】
加热装置及真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜领域,特别涉及一种加热装置及真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空卷绕镀膜是柔性卷材镀膜的关键技术,按照镀膜工艺一般分为蒸发镀膜和磁控溅射镀膜。由于镀膜工艺的要求,有时柔性基材需要加热。传统的加热方式通过电加热管或加热盘管进行加热,并需要对加热管进入真空的轴端进行密封,从而保证基材加热时处于真空室内。然而,对加热管的端部的密封过程不仅作业复杂的缺点,并且还有着接电困难的问题。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此,本技术提出一种加热装置,能够简单地对发热部件进行固定及电连接。
[0004]本技术还提出一种具有上述加热装置的真空镀膜机。
[0005]根据本技术的第一方面实施例的加热装置,真空仓、加热机构和电连接器;加热机构包括设置于所述真空仓内的固定座和电发热件,所述固定座连接于所述真空仓的内壁,所述电发热件安装于所述固定座;电连接器设置于所述真空仓的外壁,所述电连接器的部分伸入于所述真空仓内部,所述电连接器与所述电发热件电连接,所述电连接器和所述真空仓的外壁之间设置有密封结构。
[0006]根据本技术实施例的加热装置,至少具有如下有益效果:电发热件通过固定座即可简单、直接地安装于真空仓内。并且,电发热件整体均安装于真空仓内,并利用设置于真空仓外壁的电连接器实现与外部的电连接。由于电发热器完全设置于真空仓内,并且电连接器与真空仓之间通过密封结构进行密封,因此无需对电发热器的端部进行密封处理,进而得以使得对电发热件的固定和连接处理变得更加顺利、简便,并且还有着接线简单方便的优点。
[0007]根据本技术的一些实施例,所述密封结构包括设置于所述电连接器和所述真空仓的外壁之间的密封圈,所述密封圈封闭所述电连接器和所述真空仓的外壁之间的间隙。
[0008]根据本技术的一些实施例,所述电连接器和所述真空仓的外壁之间设置有连接法兰,所述连接法兰固定于所述真空仓的外壁;所述电连接器安装于所述连接法兰,所述密封圈对所述连接法兰与所述电连接器之间和/或所述连接法兰与所述真空仓的外壁之间进行密封。
[0009]根据本技术的一些实施例,所述真空仓的外壁上设置有过道,所述密封圈对所述连接法兰和所述过道之间进行密封,所述电连接器的部分伸入于所述过道内。
[0010]根据本技术的一些实施例,所述固定座通过螺栓连接有托盘,所述电发热件连接于所述托盘上。
[0011]根据本技术的一些实施例,所述托盘上设置有卡箍,所述卡箍紧压所述托盘和所述电发热件并对二者进行夹紧固定。
[0012]根据本技术的一些实施例,所述电发热件包括发热管,所述卡箍为多个且分别夹紧安装于所述发热管的两端。
[0013]根据本技术的一些实施例,所述固定座上设置有条形孔,所述螺栓穿过所述条形孔并与所述托盘连接。
[0014]根据本技术的一些实施例,所述加热机构为多个,所述真空仓内设置有导辊,所述导辊位于至少两个所述加热机构之间。
[0015]根据本技术第二方面实施例的真空镀膜机,包括根据本技术上述第一方面实施例的加热装置。
[0016]根据本技术实施例的真空镀膜机,至少具有如下有益效果:电发热件通过固定座即可简单、直接地安装于真空仓内。并且,电发热件整体均安装于真空仓内,并利用设置于真空仓外壁的电连接器实现与外部的电连接。由于电发热器完全设置于真空仓内,并且电连接器与真空仓之间通过密封结构进行密封,因此无需对电发热器的端部进行密封处理,进而得以使得对电发热件的固定和连接处理变得更加顺利、简便。
[0017]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0018]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
[0019]图1为本技术实施例的加热装置的示意图;
[0020]图2为图1示出的加热装置的内部的示意图。
[0021]附图标记:1为导辊,2为基材,3为托盘,4为卡箍,5为电发热件,6为电连接器,7为连接法兰,8为密封圈,9为过道,10为固定座,11为连接导线,12为螺栓,15为真空仓。
具体实施方式
[0022]下面详细描述本技术的实施例,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,仅用于解释本技术,而不能理解为对本技术的限制。
[0023]在本技术的描述中,需要理解的是,涉及到方位描述,例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0024]在本技术的描述中,若干的含义是一个或者多个,多个的含义是两个以上,大于、小于、超过等理解为不包括本数,以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0025]本技术的描述中,除非另有明确的限定,设置、安装、连接等词语应做广义理解,所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0026]参照图1,一种加热装置,包括:真空仓15、加热机构和电连接器6;加热机构包括设置于真空仓15内的固定座10和电发热件5,固定座10连接于真空仓15的内壁,电发热件5安装于固定座10;电连接器6设置于真空仓15的外壁,电连接器6的部分伸入于真空仓15内部,电连接器6与电发热件5电连接,电连接器6和真空仓 15的外壁之间设置有密封结构。电发热件5通过固定座10即可简单、直接地安装于真空仓15内。并且,电发热件5整体均安装于真空仓 15内,并利用设置于真空仓15外壁的电连接器6实现与外部的电连接。由于电发热器完全设置于真空仓15内,并且电连接器6与真空仓15之间通过密封结构进行密封,因此无需对电发热器的端部进行密封处理,进而得以使得对电发热件5的固定和连接处理变得更加顺利、简便。
[0027]可以预想的是,真空仓15既可以为卧式结构,也可以为立式结构。电发热件5通过连接导线11等部件与电连接器6连接,电连接器6则直接与外部的供电连接,因此也有着接线简单方便的优点。
[0028]在某些实施例中,参照图2,密封结构包括设置于电连接器6和真空仓15的外壁之间的密封圈8,密封圈8封闭电连接器6和真空仓15的外壁之间的间隙。密封圈8可以直接、有效地对电连接器6 和真空仓15的外壁之间进本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加热装置,其特征在于,包括:真空仓(15);加热机构,包括设置于所述真空仓(15)内的固定座(10)和电发热件(5),所述固定座(10)连接于所述真空仓(15)的内壁,所述电发热件(5)安装于所述固定座(10);电连接器(6),设置于所述真空仓(15)的外壁,所述电连接器(6)的部分伸入于所述真空仓(15)内部,所述电连接器(6)与所述电发热件(5)电连接,所述电连接器(6)和所述真空仓(15)的外壁之间设置有密封结构。2.如权利要求1所述的加热装置,其特征在于:所述密封结构包括设置于所述电连接器(6)和所述真空仓(15)的外壁之间的密封圈(8),所述密封圈(8)封闭所述电连接器(6)和所述真空仓(15)的外壁之间的间隙。3.如权利要求2所述的加热装置,其特征在于:所述电连接器(6)和所述真空仓(15)的外壁之间设置有连接法兰(7),所述连接法兰(7)固定于所述真空仓(15)的外壁;所述电连接器(6)安装于所述连接法兰(7),所述密封圈(8)对所述连接法兰(7)与所述电连接器(6)之间和/或所述连接法兰(7)与所述真空仓(15)的外壁之间进行密封。4.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员:张健宁夏健全吴洽
申请(专利权)人:中山凯旋真空科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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