本发明专利技术设计一种具有改进的紧固力的互锁紧固上电极组件，在该组件中插入硅电极中的衬套在硅电极上方突出，并且突出部分插入阳极氧化板中并与之联接以抑制衬套旋转，该组件包括：内外攻丝复合螺母，该内外攻丝复合螺母与硅电极的组装槽和阳极氧化板联接以防止旋转；内外攻丝螺母，该内外攻丝螺母组装在所述硅电极的所述组装槽中，并装配到所述内外攻丝复合螺母周围；以及组装模块，该组装模块穿过所述阳极氧化板的贯通部的内部联接，并与所述内外攻丝复合螺母组装，以固定设置在所述硅电极上方的所述阳极氧化板。方的所述阳极氧化板。方的所述阳极氧化板。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有改进的紧固力的互锁紧固上电极组件及包括其的等离子体装置
[0001]本公开涉及一种具有改进的紧固力的互锁紧固上电极组件。更具体而言，本公开涉及一种具有改进的紧固力的互锁紧固上电极组件和包括该互锁紧固上电极组件的等离子体装置，该组件配置成约束衬套的旋转，该衬套插入硅电极中并在硅电极上方突出，以便衬套的突出部插入阳极氧化板中并与之联接。
技术介绍
[0002]一般而言，用于半导体晶圆蚀刻工艺的等离子体装置包括阴极，该阴极平行于定位在等离子体室内部的阳极的晶圆安装，接收经由其上形成的多个孔注入的反应气体，通过施加高频电压产生用于蚀刻半导体晶圆的等离子体。
[0003]传统的阴极借助螺栓联接在等离子体室内部的板上，在螺栓紧固中，室中的阴极和板中的每一者中均形成其中具有螺纹的多个螺栓插入孔，并且各螺栓插入孔竖向匹配，然后螺栓插入孔中以将阴极联接到板。
[0004]在螺栓紧固结构中，螺栓紧固工具由于高压等离子体环境下产生的螺栓移动而损坏螺纹，造成昂贵的阴极的消耗问题，另外，阴极与板之间因螺纹联接的松动而产生间隙，造成晶圆蚀刻工艺性能下降的问题。
[0005]同时，作为解决以上问题的方法，在阴极中形成圆形通孔，衬套在借助台阶固定的同时插入通孔中，并提供插入衬套的外部空间和阴极的通孔的内部空间之间的组装环，然后将与等离子体室的板连接的组装螺钉以拧入的方式与衬套联接，从而抑制螺纹接合的损坏，在发生损坏时，采用只更换损坏的衬套的配置。
[0006]然而，在以上配置中，存在插入阴极的通孔中的衬套移动并由于与通孔的侧部接触而受损坏的问题。与一般的螺栓连接结构一样，仍然存在的问题在于，由于衬套在晶圆蚀刻工艺中移动，并且组装螺钉和衬套之间的螺钉联接松动而在阴极和板之间产生间隙，因此蚀刻性能劣化。
技术实现思路
[0007]技术问题
[0008]因此，本公开是在牢记现有技术中出现的以上问题的情况下做出的，本公开的一个目的旨在提供一种具有改进的紧固力的互锁紧固上电极组件，其中，该组件配置成使得内外攻丝复合螺母的上部形成多边形防旋转部，该防旋转部插入硅电极中并与夹紧螺栓连接，以将阳极氧化板连接到硅电极，该防旋转部在硅电极上方突出，以便插入阳极氧化板中并与之联接，从而可防止内外攻丝复合螺母旋转，并在阳极氧化板内产生间隙，借此使负载最小化并提高其生产率。
[0009]技术方案
[0010]为了实现上述目标，根据本公开的一个实施例，提供一种具有改进的紧固力的互
锁紧固上电极组件，该组件包括：内外攻丝复合螺母100，所述内外攻丝复合螺母与硅电极10的组装槽11和阳极氧化板20联接以防止旋转；内外攻丝螺母200，所述内外攻丝螺母组装在所述硅电极10的所述组装槽11中，并装配在所述内外攻丝复合螺母100周围；以及组装模块300，所述组装模块穿过所述阳极氧化板20的贯通部21的内部联接并与所述内外攻丝复合螺母100组装在一起，以固定设置在所述硅电极10上方的所述阳极氧化板20。
[0011]所述内外攻丝复合螺母100可以包括：插入部110，所述插入部插入所述内外攻丝复合螺母下方的所述组装槽11中，以与所述组装槽的内表面紧密接触；紧固部120，所述紧固部在所述插入部110上方延伸，并包括攻丝部T1，从而与所述内外攻丝螺母200紧固；防旋转部130，所述防旋转部位于所述紧固部120上并与所述阳极氧化板20的所述贯通部21联接，以防止所述内外攻丝复合螺母100旋转；以及紧固槽140，所述紧固槽具有螺纹，从而允许所述组装模块穿过所述防旋转部130被紧固。
[0012]所述防旋转部130可以在所述硅电极10上方突出，并可以插入由所述组装模块300组装的所述阳极氧化板20中，并且所述防旋转部可以具有三角形或六边形的多边形形状，以便防止所述内外攻丝复合螺母100旋转。
[0013]所述贯通部21中可以产生有位于所述防旋转部130周围的间隙S，所述间隙是所述防旋转部与所述贯通部联接后余留的空的空间。
[0014]所述内外攻丝螺母200可以在其外部上包括攻丝部T2，以便紧固到所述硅电极10的所述组装槽11中，并且所述内外攻丝螺母可以具有联接槽210，所述联接槽中具有螺纹，使得所述内外攻丝复合螺母100可以穿过所述内外攻丝螺母的上端和下端与所述内外攻丝螺母联接。
[0015]所述组装模块300可以包括：夹紧螺栓310，所述夹紧螺栓插入所述阳极氧化板20的所述贯通部21中并紧固到所述内外攻丝复合螺母100；环形垫圈320，所述环形垫圈设置在所述夹紧螺栓310的外部，并装配到所述阳极氧化板20的所述贯通部21中；弹簧垫圈330，所述弹簧垫圈装配在所述夹紧螺栓310周围并位于所述环形垫圈320上方；以及多个第一防松垫圈340和第二防松垫圈350，所述第一防松垫圈和所述第二防松垫圈可以位于所述弹簧垫圈330上方，并防止所述夹紧螺栓310松动。
[0016]可以在所述第一防松垫圈340的上部上以预定间隔形成有多个安置槽341，并且可以在所述第二防松垫圈350的下部上设置有多个安置突起351，以安置到相应的所述安置槽341中。
[0017]作为本公开的另一实施方式，可以是一种等离子体装置，该等离子体装置包括具有改进的紧固力的互锁紧固电极组件，所述电极组件将阳极氧化板20与硅电极10联接，其中，所述电极组件可以包括内外攻丝复合螺母100、内外攻丝螺母200以及组装模块300。
[0018]所述内外攻丝复合螺母100可以包括：插入部110，所述插入部插入所述硅电极10的组装槽11中，以与所述组装槽的底表面的内表面紧密接触；紧固部120，所述紧固部在所述插入部上方延伸并包括形成在所述紧固部的外部上的攻丝部T1；以及防旋转部130，所述防旋转部设置在所述紧固部120上并插入所述阳极氧化板20的所述贯通部21中。
[0019]所述内外攻丝螺母200可以装配在所述内外攻丝复合螺母100周围，并组装到所述硅电极10的所述组装槽11。
[0020]所述组装模块300穿过所述阳极氧化板20的所述贯通部21的内部空间联接并与所
述内外攻丝复合螺母100组装，使得所述阳极氧化板20可以固定到所述硅电极10。
[0021]所述内外攻丝复合螺母100可以具有紧固槽140，所述紧固槽具有螺纹，从而允许所述组装模块300穿过所述防旋转部130被紧固。
[0022]所述防旋转部130可以在所述硅电极10上方突出并可以插入所述阳极氧化板20中，并且可以具有三角形或六边形的多边形形状，从而防止所述内外攻丝复合螺母100旋转。
[0023]所述阳极氧化板20的所述贯通部21中可以设置有位于所述防旋转部130周围的间隙S，并且所述间隙可以是所述防旋转部130与所述阳极氧化板的所述贯通部联接后余留的空的空间。
[0024]所述内外攻丝螺母200可以在其外部上包括攻丝部T2，以便紧固到所述硅电极10的所述组装槽11中，并且所述内外攻丝螺母可以包括联接槽210，所述联接槽本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种具有改进的紧固力的互锁紧固上电极组件，该组件包括：内外攻丝复合螺母，所述内外攻丝复合螺母与硅电极的组装槽和阳极氧化板联接以防止旋转；内外攻丝螺母，所述内外攻丝螺母组装在所述硅电极的所述组装槽中，并装配在所述内外攻丝复合螺母周围；以及组装模块，所述组装模块穿过所述阳极氧化板的贯通部的内部联接并与所述内外攻丝复合螺母组装在一起，以固定设置在所述硅电极上方的所述阳极氧化板，其中，所述内外攻丝复合螺母包括：插入部，所述插入部插入所述内外攻丝复合螺母下方的所述组装槽中，以与所述组装槽的内表面紧密接触；紧固部，所述紧固部在所述插入部上方延伸，并包括攻丝部，从而与所述内外攻丝螺母紧固；防旋转部，所述防旋转部位于所述紧固部上并与所述阳极氧化板的所述贯通部联接，以防止所述内外攻丝复合螺母旋转；以及紧固槽，所述紧固槽具有螺纹，从而允许所述组装模块穿过所述防旋转部被紧固，并且所述防旋转部在所述硅电极上方突出，并插入由所述组装模块组装的所述阳极氧化板中，并且所述防旋转部具有三角形或六边形的多边形形状，以便防止所述内外攻丝复合螺母旋转，并且所述贯通部中产生有位于所述防旋转部周围的间隙，所述间隙是所述防旋转部与所述贯通部联接后余留的空的空间。2.根据权利要求1所述的组件，其中，作为所述防旋转部与所述贯通部联接后余留的空的空间的所述间隙的宽度在0.1mm至0.3mm的范围内。3.根据权利要求1所述的组件，其中，所述内外攻丝螺母在其外部上包括攻丝部，以便紧固到所述硅电极的所述组装槽中，并且所述内外攻丝螺母具有联接槽，所述联接槽中具有螺纹，使得所述内外攻丝复合螺母穿过所述内外攻丝螺母的上端和下端与所述内外攻丝螺母联接。4.根据权利要求1所述的组件，其中，所述内外攻丝螺母的上部的对置部分处分别形成有旋转槽，从而允许所述内外攻丝螺母借助紧固工具旋转。5.根据权利要求1所述的组件，其中，所述组装模块包括：夹紧螺栓，所述夹紧螺栓插入所述阳极氧化板的所述贯通部中并紧固到所述内外攻丝复合螺母；环形垫圈，所述环形垫圈设置在所述夹紧螺栓的外部，并装配到所述阳极氧化板的所述贯通部中；弹簧垫圈，所述弹簧垫圈装配在所述夹紧螺栓周围并位于所述环形垫圈上方；以及多个第一防松垫圈和第二防松垫圈，所述第一防松垫圈和所述第二防松垫圈位于所述弹簧垫圈上方，并防止所述夹紧螺栓松动。6.根据权利要求5所述的组件，其中，...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴珍庆，
申请(专利权)人：TEM株式会社，
类型：发明
国别省市：
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