一种单晶硅生产用晶棒固化回温库制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅生产用晶棒固化回温库，包括分隔板，其设置在所述主体支架的内部，所述主体支架与分隔板固定连接，所述主体支架内部的两侧均安装有安装支架，所述安装支架与主体支架和分隔板均通过卡槽连接，所述安装支架的后端安装有连接支架，该装置通过安装分隔板可以起到分隔支撑的作用，保证装置功能性的完整，安装阻断网板可以防止物料滑落，起到限位的作用，增强装置的实用性，安装陶瓷支架可以便于工作人员安装物料使物料均匀受热，增强装置的使用效果，有利于提高产品质量，设置限位槽可以卡住物料，防止物料滑脱，同时保证物料良好受热，增强装置的实用性，便于工作人员快速安装固定物料，有效提高生产效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅生产用晶棒固化回温库


[0001]本技术涉及单晶硅生产
，具体为一种单晶硅生产用晶棒固化回温库。

技术介绍

[0002]硅是最常见应用最广的半导体材料，当熔融的单质硅凝固时，硅原子以金刚石晶格排列成晶核，其晶核长成晶面取向相同的晶粒，形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿,单晶硅棒是通过区熔或直拉工艺在炉膛中整形或提拉形成的硅单晶体棒,单晶硅片在生产时需要对硅棒进行回温，改善单晶硅棒的物理性能。
[0003]但是，现有的单晶硅生产用晶棒固化回温库在使用时不便于工作人员快速安装固定单晶硅棒，严重影响生产效率；因此，不满足现有的需求，对此我们提出了一种单晶硅生产用晶棒固化回温库。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种单晶硅生产用晶棒固化回温库，以解决上述
技术介绍
中提出的单晶硅生产用晶棒固化回温库在使用时不便于工作人员快速安装固定单晶硅棒，严重影响生产效率的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅生产用晶棒固化回温库，包括主体支架；
[0006]分隔板，其设置在所述主体支架的内部，所述主体支架与分隔板固定连接，所述主体支架内部的两侧均安装有安装支架，所述安装支架与主体支架和分隔板均通过卡槽连接，所述安装支架的后端安装有连接支架，所述连接支架与安装支架固定连接，所述连接支架的外部安装有阻断网板，所述阻断网板与连接支架固定连接，所述阻断网板的后端面安装有安装陶瓷支架，所述安装陶瓷支架与阻断网板固定连接；
[0007]限位槽，其设置在所述安装陶瓷支架的外部，所述限位槽设置有若干个，所述安装陶瓷支架的后端安装有密封盖，所述密封盖与安装陶瓷支架通过铰链旋转连接。
[0008]优选的，所述主体支架内部后端的两侧均安装有旋转盘，所述旋转盘与主体支架旋转连接。
[0009]优选的，所述旋转盘的前端面安装有外部热反射筒，所述外部热反射筒与旋转盘固定连接，所述旋转盘的前端面安装有第一加热管，所述第一加热管与旋转盘固定连接。
[0010]优选的，所述旋转盘的前端面安装有内部热反射筒，所述内部热反射筒与旋转盘固定连接，所述旋转盘的前端面安装有第二加热管，所述第二加热管与旋转盘固定连接。
[0011]优选的，所述旋转盘的后端安装有从动齿轮，所述从动齿轮与旋转盘固定连接。
[0012]优选的，所述主体支架后端面的两侧均安装有驱动机构，所述驱动机构与主体支架固定连接。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、本技术通过安装分隔板可以起到分隔支撑的作用，保证装置功能性的完整，安装阻断网板可以防止物料滑落，起到限位的作用，增强装置的实用性，安装陶瓷支架可以便于工作人员安装物料使物料均匀受热， 增强装置的使用效果，有利于提高产品质量，设置限位槽可以卡住物料，防止物料滑脱，同时保证物料良好受热，增强装置的实用性，便于工作人员快速安装固定物料，有效提高生产效率；
[0015]2、本技术通过安装旋转盘可以带动第一加热管和第二加热管进行往复三十度旋转运动，使物料均匀受热，增强装置的使用效果，安装外部热反射筒和内部热反射筒可以防止大量热量向外界辐射，增强装置的实用性。
附图说明
[0016]图1为本技术一种单晶硅生产用晶棒固化回温库的结构示意图。
[0017]图2为本技术安装支架的俯视图。
[0018]图3为本技术旋转盘的主视图。
[0019]图4为本技术安装陶瓷支架与密封盖的连接关系图。
[0020]图5为本技术一种单晶硅生产用晶棒固化回温库的侧视图。
[0021]图中：1、主体支架；2、安装支架；3、连接支架；4、旋转盘；5、外部热反射筒；6、第一加热管；7、第二加热管；8、内部热反射筒；9、阻断网板；10、分隔板；11、安装陶瓷支架；12、限位槽；13、密封盖；14、从动齿轮；15、驱动机构。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0023]请参阅图1
‑
5，本技术提供的一种实施例：一种单晶硅生产用晶棒固化回温库，包括主体支架1；
[0024]分隔板10，其设置在主体支架1的内部，安装分隔板10可以起到分隔支撑的作用，保证装置功能性的完整，主体支架1与分隔板10固定连接，主体支架1内部的两侧均安装有安装支架2，安装支架2与主体支架1和分隔板10均通过卡槽连接，安装支架2的后端安装有连接支架3，连接支架3与安装支架2固定连接，连接支架3的外部安装有阻断网板9，安装阻断网板9可以防止物料滑落，起到限位的作用，增强装置的实用性，阻断网板9与连接支架3固定连接，阻断网板9的后端面安装有安装陶瓷支架11，安装陶瓷支架11与阻断网板9固定连接，安装陶瓷支架11可以便于工作人员安装物料使物料均匀受热， 增强装置的使用效果，有利于提高产品质量；
[0025]限位槽12，其设置在安装陶瓷支架11的外部，限位槽12设置有若干个，安装陶瓷支架11的后端安装有密封盖13，密封盖13与安装陶瓷支架11通过铰链旋转连接，设置限位槽12可以卡住物料，防止物料滑脱，同时保证物料良好受热，增强装置的实用性，便于工作人员快速安装固定物料，有效提高生产效率。
[0026]请参阅图1、图2、图3、图4和图5，主体支架1内部后端的两侧均安装有旋转盘4，安
装旋转盘4可以带动第一加热管6和第二加热管7进行往复三十度旋转运动，使物料均匀受热，增强装置的使用效果，旋转盘4与主体支架1旋转连接，旋转盘4的前端面安装有外部热反射筒5，外部热反射筒5与旋转盘4固定连接，旋转盘4的前端面安装有第一加热管6，第一加热管6与旋转盘4固定连接，旋转盘4的前端面安装有内部热反射筒8，安装外部热反射筒5和内部热反射筒8可以防止大量热量向外界辐射，增强装置的实用性，内部热反射筒8与旋转盘4固定连接，旋转盘4的前端面安装有第二加热管7，第二加热管7与旋转盘4固定连接，旋转盘4的后端安装有从动齿轮14，从动齿轮14与旋转盘4固定连接，主体支架1后端面的两侧均安装有驱动机构15，驱动机构15与主体支架1固定连接。
[0027]工作原理：使用时，工作人员将物料安装进安装陶瓷支架11外部的限位槽12内部，然后关上密封盖13，并通过安装支架2将装置安装进主体支架1内部，第一加热管6和第二加热管7产生热量对物料进行回温，同时驱动机构15通过从动齿轮14带动旋转盘4进行往复三十度旋转运动，使物料均匀受热，本装置安装分隔板10可以起到分隔支撑的作用，保证装置功能性的完整，安装阻断网板9可以防止物料滑落，起到限位的作用，增强装置的实用性，安装陶瓷支架11可以便于工作人员安装物料使物料均匀受热，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅生产用晶棒固化回温库，包括主体支架（1），其特征在于：分隔板（10），其设置在所述主体支架（1）的内部，所述主体支架（1）与分隔板（10）固定连接，所述主体支架（1）内部的两侧均安装有安装支架（2），所述安装支架（2）与主体支架（1）和分隔板（10）均通过卡槽连接，所述安装支架（2）的后端安装有连接支架（3），所述连接支架（3）与安装支架（2）固定连接，所述连接支架（3）的外部安装有阻断网板（9），所述阻断网板（9）与连接支架（3）固定连接，所述阻断网板（9）的后端面安装有安装陶瓷支架（11），所述安装陶瓷支架（11）与阻断网板（9）固定连接；限位槽（12），其设置在所述安装陶瓷支架（11）的外部，所述限位槽（12）设置有若干个，所述安装陶瓷支架（11）的后端安装有密封盖（13），所述密封盖（13）与安装陶瓷支架（11）通过铰链旋转连接。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅生产用晶棒固化回温库，其特征在于：所述主体支架（1）内部后端的两侧均安装有旋转盘（4），所述旋...

【专利技术属性】
技术研发人员：王大伟，武瑞，武治军，曹政民，曹进根，万遥，彭予安，姜利伟，王青山，瞿梦成，吕熊，李瑞鹏，崔伟，
申请(专利权)人：无锡中环应用材料有限公司，
类型：新型
国别省市：