本发明专利技术公开了连续式芯片洗涤技术领域的一种连续式芯片洗涤装置，包括与外界进行固定的中心轴，中心轴外端转动连接有圆棍，沿圆棍轴线环形阵列排布有多个第一弹簧杆，每个第一弹簧杆母杆端头均固定设置在圆棍上，远离圆棍的每个第一弹簧杆母杆端头均固定连接有清洗槽，清洗槽外端大下端小，每个第一弹簧杆伸长杆均穿过清洗槽底端；本发明专利技术有效解决了常规的超声波清洗模块中，清洗剂需要进行长时间的使用，从而造成清洗剂中杂质越来越多，随着清洗剂一起震动，再清洗剂中进行快速无规则移动，一方面可能会造成划伤芯片的问题，另外一方面会消耗超声波模块的能量传递，使得清洗效果慢慢变差的问题。慢变差的问题。慢变差的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种连续式芯片洗涤装置及工艺
[0001]本专利技术涉及连续式芯片洗涤
，具体为一种连续式芯片洗涤装置及工艺。
技术介绍
[0002]芯片的洁净是过程个工艺过程中的基本要求，整个芯片生产的制程中有将近20％的步骤是清洗。在晶圆生产的整个过程中，要经过多次的化学蚀刻与清洗，每步蚀刻与清洗后都要经过清水的冲洗。由于半导体器件非常容易受到污染，所以工艺用水必须经过相应的处理，达到一定的洁净度要求。硅片的清洗方式一般分为超声波清洗、直接冲刷和溢流清洗等，这三种方式均是为了保证清洗的效果，可根据实际的制程进行相应的选择。
[0003]现有的超声波芯片清洗过程中，将芯片直接倒入超声波清洗池中，再启动超声波模块，使得清洗剂进行快速震动，拥有能量，从而将芯片表面污渍进行冲刷，常规的超声波清洗模块中，清洗剂需要进行长时间的使用，从而造成清洗剂中杂质越来越多，随着清洗剂一起震动，再清洗剂中进行快速无规则移动，一方面可能会造成划伤芯片的问题，另外一方面会消耗超声波模块的能量传递，使得清洗效果慢慢变差。
[0004]基于此，本专利技术设计了一种连续式芯片洗涤装置及工艺，以解决上述问题。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种连续式芯片洗涤装置及工艺，以解决上述
技术介绍
中提出了现有技术缺点的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种连续式芯片洗涤装置，包括与外界进行固定的中心轴，所述中心轴外端转动连接有圆棍，沿所述圆棍轴线环形阵列排布有多个第一弹簧杆，每个所述第一弹簧杆母杆端头均固定设置在圆棍上，远离圆棍的每个所述第一弹簧杆母杆端头均固定连接有清洗槽，所述清洗槽外端大下端小，每个所述第一弹簧杆伸长杆均穿过清洗槽底端，且与清洗槽底端密封滑动连接，每个所述第一弹簧杆伸长杆穿过清洗槽的端部固定连接有超声波模块，所述圆棍侧壁传动连接有现有的动力装置，所述动力装置用于驱动圆棍绕着中心轴单向转动。
[0007]作为本专利技术进一步方案，每个所述清洗槽内部均设置有清洗组件，所述清洗组件包括四个支撑轮，四个支撑轮轴线处于同一平面且平行，每两个支撑轮为一组，每组支撑轮之间设置有滑套，所述滑套内壁两端均滑动连接有两个子杆，两个子杆之间设置有弹簧，所述弹簧位于滑套内部，两个所述子杆端部均固定连接有U型的插板，每个所述插板内部均转动连接到支撑轮侧壁，每组所述支撑轮外壁均套设有柔性的清洗套，两个所述滑套外壁均固定连接有L架，所述L架滑动设置在清洗槽内壁上，位于清洗套上端的所述L架侧壁设置有用于驱动清洗套转动的动力机构，两个所述L架上端设置有用于保持L架同步运动的支撑装置。
[0008]作为本专利技术进一步方案，所述支撑装置包括横板，所述横板上开设有两个贯穿的滑槽，两个L架分别滑动设置在两个滑槽内壁，且位于横板上下端面上的L架外壁均固定连
接有两块限位板，两个限位板的上端面和下端面分别接触在横板上下端面上，所述横板端头设置有用于驱动横板与清洗槽同步转动的同步装置。
[0009]作为本专利技术进一步方案，所述动力机构包括两个涨紧轮，每个所述涨紧轮摩擦接触在清洗套外端面上，所述涨紧轮转动设置在L架侧壁上，所述涨紧轮侧壁同轴固定连接有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮外啮合有第一锥齿轮棒，所述第一锥齿轮棒转动连接在L架侧壁上，所述第一锥齿轮棒上端外壁固定连接有第二摩擦轮，所述第二摩擦轮位于滑槽内部，所述滑槽内壁固定连接有摩擦条，所述摩擦条用于驱动第二摩擦轮转动，两个所述L架上螺纹连接有同一个丝杆，所述丝杆传动连接到同步装置。
[0010]作为本专利技术进一步方案，所述同步装置包括环板，所述环板同轴固定连接在圆棍侧壁，沿所述环板轴线环形阵列排布设置有多个螺纹杆，多个螺纹杆与清洗槽一一对应，所述螺纹杆与环板转动连接，所述螺纹杆上端穿过横板且与横板螺纹连接，所述螺纹杆上端轴向滑动连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮外端啮合有第三锥齿轮，所述第三锥齿轮同轴固定设置在对应的丝杆端头，所述横板与第二锥齿轮之间设置有拉伸弹簧，所述螺纹杆位于环板内侧的一端设置有驱动螺纹杆进行正反转的往复装置。
[0011]作为本专利技术进一步方案，所述往复装置包括同轴固定连接在螺纹杆端部的第三摩擦轮，每个所述第三摩擦轮两侧均间歇接触连接有两个弧形摩擦条，两个所述弧形摩擦条沿圆棍轴线方向投影互补不重合。
[0012]作为本专利技术进一步方案，所述清洗槽内壁四周固定连接有橡胶垫，每个所述清洗槽外端面侧壁固定设置有同一块加强环圈。
[0013]一种连续式芯片洗涤工艺，该洗涤工艺的具体步骤如下：
[0014]步骤一：将需要进行清洗的芯片转运到清洗现场，将现有的芯片清洗液注液装置转运到清洗现场，且固定好注射位置，将芯片放置到清洗槽内部，此时清洗槽位于上端且开口位于斜上方，同时向清洗槽内注入清洗液；
[0015]步骤二：启动动力装置，圆棍绕着中心轴转动，使得清洗槽进行公转，同时启动超声波模块对清洗液进行能量施加，使得清洗液出现震动，对芯片进行清洗；
[0016]步骤三：在圆棍转动时环板转动，螺纹杆转动驱动环板下降，使得清洗套下降向清洗槽内部移动，压在芯片上，使得芯片压在超声波模块，超声波模块下降，芯片沉入清洗液中，同时两个清洗套边转动，边靠近，从而对芯片上端清理；
[0017]步骤四：随着圆棍持续转动，清洗槽开始下降，清洗套外移，芯片和清洗液被一同倒出清洗槽，从而完成清洗排料，在这一过程中，多个清洗槽位置一直变换，从而进行连续性上料清洗；
[0018]步骤五：清洗完成后将芯片捡出转运，同时将清洗液进行过滤再清洗，从而完成连续性过滤清洗作用。
[0019]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0020]1.本专利技术通过圆棍驱动第一弹簧杆转动，使得清洗槽进行转动，进行往复交替，使得清洗槽开口向上时带动芯片和超声波模块进行公转，从而对清洗槽内的清洗液进行加速震动，从而完成对芯片表面的清洗工作，随着清洗槽继续转动，将开口切换成向下，从而将芯片和清洗后的清洗液一起排出清洗槽，从而使得清洗槽内部进行彻底清洗，从而使得下一次的循环清洗过程中，去除清洗杂质，从而获得更好的清洗环境，使得设备能进行清洗液
更换，有效避免了清洗液长时间不更换杂质在震动过程中划伤芯片的同时也使得清洗效率更好。
[0021]2.本专利技术通过动力机构驱动清洗套转动，再通过支撑装置驱动清洗套向芯片靠近，使得清洗套能主动靠近芯片，对芯片远离超声波模块的一面，清洗效果差的一面进行清洗，起到了清洗无死角，其次也能将芯片压在超声波模块附近，避免芯片在清洗液中到处晃动，与清洗槽产生撞击，造成芯片损坏的问题，其次也避免了芯片距离超声波模块距离过远，使得清洗效果差的问题。
[0022]3.本专利技术通过圆棍同步驱动环板转动，使得螺纹杆公转，使得公转中的螺纹杆下端的第三摩擦轮与两个弧形摩擦条进行切换接触，进行软性驱动，使得螺纹杆进行正反转，使得两个L架能进行相互靠近，从而切换两个清洗套之间间距，从而对芯片进行无死角的清理工作，其次再通过两个本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种连续式芯片洗涤装置，包括与外界进行固定的中心轴(10)，其特征在于：所述中心轴(10)外端转动连接有圆棍(11)，沿所述圆棍(11)轴线环形阵列排布有多个第一弹簧杆(12)，每个所述第一弹簧杆(12)母杆端头均固定设置在圆棍(11)上，远离圆棍(11)的每个所述第一弹簧杆(12)母杆端头均固定连接有清洗槽(13)，所述清洗槽(13)外端大下端小，每个所述第一弹簧杆(12)伸长杆均穿过清洗槽(13)底端，且与清洗槽(13)底端密封滑动连接，每个所述第一弹簧杆(12)伸长杆穿过清洗槽(13)的端部固定连接有超声波模块(14)，所述圆棍(11)侧壁传动连接有现有的动力装置，所述动力装置用于驱动圆棍(11)绕着中心轴(10)单向转动。2.根据权利要求1所述的一种连续式芯片洗涤装置，其特征在于：每个所述清洗槽(13)内部均设置有清洗组件，所述清洗组件包括四个支撑轮(17)，四个支撑轮(17)轴线处于同一平面且平行，每两个支撑轮(17)为一组，每组支撑轮(17)之间设置有滑套(18)，所述滑套(18)内壁两端均滑动连接有两个子杆(19)，两个子杆(19)之间设置有弹簧(20)，所述弹簧位于滑套(18)内部，两个所述子杆(19)端部均固定连接有U型的插板(23)，每个所述插板(23)内部均转动连接到支撑轮(17)侧壁，每组所述支撑轮(17)外壁均套设有柔性的清洗套(21)，两个所述滑套(18)外壁均固定连接有L架(22)，所述L架(22)滑动设置在清洗槽(13)内壁上，位于清洗套(21)上端的所述L架(22)侧壁设置有用于驱动清洗套(21)转动的动力机构，两个所述L架(22)上端设置有用于保持L架(22)同步运动的支撑装置。3.根据权利要求2所述的一种连续式芯片洗涤装置，其特征在于：所述支撑装置包括横板(25)，所述横板(25)上开设有两个贯穿的滑槽(26)，两个L架(22)分别滑动设置在两个滑槽(26)内壁，且位于横板(25)上下端面上的L架(22)外壁均固定连接有两块限位板(27)，两个限位板(27)的上端面和下端面分别接触在横板(25)上下端面上，所述横板(25)端头设置有用于驱动横板(25)与清洗槽(13)同步转动的同步装置。4.根据权利要求3所述的一种连续式芯片洗涤装置，其特征在于：所述动力机构包括两个涨紧轮(30)，每个所述涨紧轮(30)摩擦接触在清洗套(21)外端面上，所述涨紧轮(30)转动设置在L架(22)侧壁上，所述涨紧轮(30)侧壁同轴固定连接有第一锥齿轮(31)，所述第一锥齿轮(31)外啮合有第一锥齿轮棒(32)，所述第一锥齿轮棒(32)转动连接在L架(22)侧壁上，所述第一锥齿轮棒(32)上端外壁固定连接有第二摩擦轮(33)，所述第二摩擦轮(33)位于滑槽(26)内部，所述滑槽(26)内壁固定连接有摩擦条(34)，所述摩...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱子超，王桥，马梅芳，王四俊，章唐辉，彭绍英，
申请(专利权)人：深圳市力子光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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