在致动器(11)的厚度方向上，相对于第1构件(20)，第1供电构件(61)与第2供电构件(62)配置于相同侧。第1供电构件(61)具备第1外部连接端子(619)。第2供电构件(62)具备第2外部连接端子(629)。第1外部连接端子(619)与第2外部连接端子(629)配置于厚度方向上的相同位置。第2绝缘层(72)配置于第2供电构件(62)与框体(22)之间。第1供电构件(61)中与第1外部连接端子(619)突出那侧相反一侧的远端侧部分(612)向框体(22)侧屈曲，并与框体(22)电连接。并与框体(22)电连接。并与框体(22)电连接。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】致动器、流体控制装置和致动器的制造方法
[0001]本专利技术涉及通过压电元件使平板振动的致动器。
技术介绍
[0002]专利文献1公开一种使用了压电元件的泵。专利文献1记载的泵具备压电元件、振动板、供电板和对置板。
[0003]振动板具备圆板、框体和连结部。框体包围圆板而配置，通过连结部而与圆板的外缘连接。连结部是梁形状，且相对于框体，将圆板支承为能够振动。
[0004]压电元件配置于振动板中的圆板的一个主面。供电板配置于压电元件中的与振动板侧相反侧。供电板的内部连接端子与压电元件中的同振动板侧相反侧的面连接。
[0005]对置板配置于振动板中的与配置有压电元件这侧相反那一侧。对置板与振动板中的框体连接。
[0006]在供电板和对置板分别设置有外部连接端子，通过它们，对压电元件供给驱动信号。
[0007]专利文献1：国际公开第2016/175185号
[0008]然而，在专利文献1所示那样的现有结构中，2个外部连接端子配置于泵的厚度方向(与主面正交的方向)上的不同位置。因此，从外部向2个外部连接端子进行布线并不容易。
[0009]并且，使泵的厚度方向上的2个外部连接端子的位置相同并且通过简单的构造来实现向处于该厚度方向的不同位置的压电元件的供电面(2个主面)供给驱动信号较困难。
技术实现思路
[0010]因此，本专利技术的目的在于提供一种致动器，其使装置的厚度方向上的2个外部连接端子的位置相同，并且能够通过简单的构造更切实地实现驱动信号向压电元件的供给。
[0011]本专利技术的致动器具备第1构件、压电元件、第1供电构件、第2供电构件和绝缘层。第1构件由具有第1主面和第2个主面的导电板构成，并具备第1平板、框体和连结构件，上述框体包围第1平板，上述连结构件连接于第1平板的外缘和框体，且使第1平板向框体连结。压电元件具有第3主面和第4主面，第3主面与第1平板的第1主面对置，且压电元件配置于第1平板。第1供电构件配置于第1构件的第1主面侧，并与第1构件的框体连接。第2构件相对于第1构件配置于与第1供电构件相同一侧，并具有与第4主面连接的部分和重叠于框体的部分。绝缘层配置于第2供电构件与上述框体之间。以第1供电构件和第2供电构件与压电元件排列的方向作为厚度方向，第1供电构件具备：在与厚度方向正交的方向上突出的第1外部连接端子。第2供电构件具备：在与厚度方向正交的方向上突出的第2外部连接端子。第1外部连接端子与第2外部连接端子配置于厚度方向上的相同位置。第1供电构件中与第1外部连接端子突出那侧相反一侧的部分向框体侧屈曲，并向框体电连接。
[0012]在该结构中，在致动器的厚度方向上，第1外部连接端子的位置与第2外部连接端
子的位置相同，并且第1供电构件直接连接于框体，进而连接于压电元件，第2供电构件直接连接于压电元件。
[0013]根据本专利技术，使2个外部连接端子的在装置的厚度方向上的位置相同，并且能够通过简单的构造更切实地实现驱动信号向压电元件的供给。
附图说明
[0014]图1是包含第1实施方式所涉及的致动器11的流体控制装置10的分解立体图。
[0015]图2的(A)是第1实施方式所涉及的致动器11的俯视图，图2的(B)、图2的(C)、图2的(D)是致动器11的侧视剖视图。
[0016]图3是使第1实施方式所涉及的致动器11的各部件的剖面线不同的俯视图。
[0017]图4是供电构件60的立体图。
[0018]图5是包含第2实施方式所涉及的致动器11A的流体控制装置的分解立体图。
[0019]图6的(A)是第2实施方式所涉及的致动器11A的俯视图，图6的(D)是致动器11A的侧视剖视图。
[0020]图7的(B)、图7的(C)是第3实施方式所涉及的致动器11B的侧视剖视图。
具体实施方式
[0021](第1实施方式)
[0022]参照附图对本专利技术的第1实施方式所涉及的致动器和流体控制装置进行说明。图1是包含第1实施方式所涉及的致动器11的流体控制装置10的分解立体图。图2的(A)是第1实施方式所涉及的致动器11的俯视图，图2的(B)、图2的(C)、图2的(D)是致动器11的侧视剖视图。图3是使第1实施方式所涉及的致动器11的各部件的剖面线不同的俯视图。另外，各图为了容易理解致动器和流体控制装置的结构，使各个结构要素的形状作为部分或者整体而夸张地记载。
[0023](致动器11的结构)
[0024]如图1、图2的(A)、图2的(B)、图2的(C)、图2的(D)和图3所示，致动器11具备第1构件20、压电元件30、供电构件60和绝缘层70。
[0025](第1构件20的结构)
[0026]第1构件20为导电板，且具有主面201和主面202。主面201与本专利技术的“第1主面”对应，主面202与本专利技术的“第2个主面”对应。第1构件20具备第1平板21、框体22和多个连结构件23。
[0027]第1平板21俯视的形状(在厚度方向上观察的形状)为圆形的平板。
[0028]框体22为平板，从第1平板21的中心观察，且框体22配置于比第1平板21的外缘靠外侧的位置。在俯视时，框体22包围第1平板21。即，框体22在中央具有圆形的开口，第1平板21配置于该开口内。开口的形状是与第1平板21的外形相似形状，且比第1平板21的外形大。框体22的外形例如为矩形，但框体22的外形不局限于矩形。
[0029]多个连结构件23为梁形状。多个连结构件23配置于第1平板21与框体22之间。多个连结构件23连接于第1平板21的外缘和框体22的内缘。多个连结构件23沿着第1平板21的外缘，隔开间隔配置。另外，连结构件23的个数为三个以上即可，多个连结构件23沿着第1平板
21的外周以等间隔配置较佳。
[0030]多个空隙230从主面201至主面202贯通第1构件20。多个空隙230配置于第1平板21与框体22之间。多个空隙230是在第1平板21与框体22之间的区域中由第1平板21、框体22、多个连结构件23围起的部分。
[0031]根据这样的结构，多个空隙230使第1平板21的靠主面201侧的空间与靠主面202侧的空间连通。此外，通过隔着这样的多个空隙230而形成有多个连结构件23，从而多个连结构件23容易变形。即，多个连结构件23连结第1平板21并使第1平板21相对于框体22能够振动。此处的第1平板21的振动是弯曲振动，且是在对第1平板21进行侧视(在与厚度方向正交的方向上观察)时主面201和主面202以波浪状位移的振动。
[0032](压电元件30的结构)
[0033]如图2的(B)所示，压电元件30具备压电体31、驱动电极321和驱动电极322。压电体31是圆形的平板。驱动电极321形成于平板状的压电体31的一个主面，驱动电极322形成于平板状的压电体31的另一个主面。压电元件30中靠驱动电极321侧的外主面301本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种致动器，其特征在于，具备：第1构件，其由具有第1主面和第2个主面的导电板构成，并具备第1平板、框体和连结构件，所述框体包围所述第1平板，所述连结构件连接于所述第1平板的外缘和所述框体，且使所述第1平板向所述框体连结；压电元件，其具有第3主面和第4主面，所述第3主面与所述第1平板的所述第1主面对置，且所述压电元件配置于所述第1平板；第1供电构件，其配置于所述第1构件的所述第1主面侧，并与所述第1构件的所述框体连接；第2供电构件，其相对于所述第1构件配置于与所述第1供电构件相同一侧，并具有与所述第4主面连接的部分和重叠于所述框体的部分；以及绝缘层，其在与所述第2供电构件和所述框体重叠的部分配置于所述第2供电构件与所述框体之间，以所述第1供电构件和所述第2供电构件与所述压电元件排列的方向作为厚度方向，所述第1供电构件具备：在与所述厚度方向正交的方向上突出的第1外部连接端子，所述第2供电构件具备：在与所述厚度方向正交的方向上突出的第2外部连接端子，所述第1外部连接端子与所述第2外部连接端子配置于所述厚度方向的相同位置，所述第1供电构件中与所述第1外部连接端子突出那侧相反一侧的部分向所述框体侧屈曲，并向所述框体电连接。2.根据权利要求1所述的致动器，其特征在于，所述第2供电构件在延伸的方向的中途具备在所述厚度方向上离开所述压电元件的弯曲部。3.根据权利要求1或2所述的致动器，其特征在于，所述绝缘层比所述压电元件薄。4.根据权利要求1～3中任一项所述的致动器，其特征在于，具备粘合剂，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：田中伸拓，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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