高分辨率的电子空间成像谱仪制造技术

本发明专利技术公开了一种高分辨率的电子空间成像谱仪，包括：激光光源、沿入射激光方向依次设置的样品架、第一电透镜组、若干第二电透镜组以及探测器；第一电透镜组和第二电透镜组中均包括若干个电透镜，且所有的电透镜均为同心设置的带圆孔的金属圆片；样品架用于粘附固体样品，且与第一电透镜组中的最靠近激光光源的一个电透镜接触，第一电透镜组和若干个第二电透镜组相互间隔设置。本发明专利技术提供了一种级联放大的电子显微成像结构，通过电透镜组的层层放大，形成一种超高分辨率的电子空间图成像谱仪；该空间成像谱仪具备对空间分布间距为100nm的分散粒子的显微成像能力，具有百纳米的空间分辨率，在一定条件下，不受粒子初始发射速度的影响。射速度的影响。射速度的影响。

【技术实现步骤摘要】
高分辨率的电子空间成像谱仪


[0001]本专利技术涉及光电子成像领域，特别涉及一种高分辨率的电子空间成像谱仪。

技术介绍

[0002]速度图成像谱仪(Velocity Map Imaging Spectrometer)由Andr
é
T.J.B.Eppink和David H.Parker于1997年专利技术。在文章(Velocity map imaging of ions and electrons using electrostatic lenses:Application in photoelectron and photofragment ion imaging of molecular oxygen，Review of Scientific Instruments 68,3477(1977).)中，通过使用离子透镜光学和二维探测的这种组合使“速度图成像”成为可能，即具有相同初始速度角的所有粒子都被映射到探测器上的同一点上。使用带有孔的三个平板电极组件，形成了一个电透镜的组合，结构如图4所示。激光沿着平行于电透镜2和3的方本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高分辨率的电子空间成像谱仪，其特征在于，包括：激光光源、沿入射激光方向依次设置的样品架、第一电透镜组、若干第二电透镜组以及探测器；所述第一电透镜组和第二电透镜组中均包括若干个电透镜，且所有的电透镜均为同心设置的带圆孔的金属圆片；所述样品架用于粘附固体样品，且与所述第一电透镜组中的最靠近激光光源的一个电透镜接触，所述第一电透镜组和若干个第二电透镜组相互间隔设置。2.根据权利要求1所述的高分辨率的电子空间成像谱仪，其特征在于，沿入射激光方向，所述第一电透镜组中的电透镜的圆孔的内径依次增大。3.根据权利要求2所述的高分辨率的电子空间成像谱仪，其特征在于，第一电透镜组中的离激光光源最远的一个电透镜的圆孔内径与若干第二电透镜组中所有电透镜的圆孔内径均相等。4.根据权利要求3所述的高分辨率的电子空间成像谱仪，其特征在于，所有电透镜的外边缘上均设置有电压接口。5.根据权利要求4所述的高分辨率的电子空间成像谱仪，其特征在于，还包括外包裹层，所述激光光源、样品架、第一电透镜组、第二电透镜组以及探测器均处于所述外包裹层内。6.根据权利要求1所述的高分辨率的电子空间成像谱仪，其特征在于，第一电透镜组内的每个电透镜之间间距均为10
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【专利技术属性】
技术研发人员：叶虹，史国华，何益，邢利娜，
申请(专利权)人：中国科学院苏州生物医学工程技术研究所，
类型：发明
国别省市：