一种烘烤装置制造方法及图纸

本申请涉及晶圆制造设备技术领域，提供一种烘烤装置，用于对晶圆烘烤，其中烘烤装置包括：加热部，加热部内具有加热内腔，加热内腔的各侧内壁内均设置有加热件，加热部上开设有与加热内腔相连通的传送口；承载部，承载部设置在加热内腔中，并承载晶圆，以使晶圆与加热内腔的各侧内壁均间隔设置；外盖，外盖活动设置在传送口处，并开启或关闭传送口。解决现有技术中的接触式烘烤所导致的晶圆的上下受热不均匀的问题。均匀的问题。均匀的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种烘烤装置


[0001]本申请涉及晶圆制造设备
，特别涉及一种烘烤装置。

技术介绍

[0002]晶圆的制备过程中，根据制程需要，通常需要对晶圆进行烘烤。现有的烘烤设备中，采用的是通过将晶圆置于热板上进行接触式烘烤，接触式烘烤过程通常是从底部往上加热，导致出现晶圆的上下受热速率不均，受热不均匀的影响在对超薄晶圆进行热处理时将体现的更为严重。晶圆在烘烤时的受热不均对产品质量和生产效率造成影响。
[0003]因此，现有技术还有待于改进和发展。

技术实现思路

[0004]鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种烘烤装置，解决现有技术中接触式烘烤所导致的晶圆的上下受热不均匀的问题。
[0005]本申请的技术方案如下：
[0006]一种烘烤装置，用于对晶圆烘烤，其中烘烤装置包括：
[0007]加热部，加热部内具有加热内腔，加热内腔的各侧内壁内均设置有加热件，加热部上开设有与加热内腔相连通的传送口；
[0008]承载部，承载部设置在加热内腔中，并承载晶圆，以使晶圆与加热内腔的各侧内壁均间隔设置；
[0009]外盖，外盖活动设置在传送口处，并开启或关闭传送口。
[0010]可选地，烘烤装置还包括支撑部，支撑部设置在加热部上；
[0011]外盖上连接有驱动组件，驱动组件设置在支撑部上，外盖通过驱动组件的驱动来开启或关闭传送口。
[0012]可选地，外盖的一端铰接在支撑部上；
[0013]驱动组件包括气缸，气缸设置在支撑部上，气缸的活塞杆铰接外盖。
[0014]可选地，外盖包括：
[0015]连接板，连接板朝向传送口的一侧通过轴承转动连接在支撑部上，连接板靠近轴承的一端铰接在气缸的活塞杆上；
[0016]隔热门板，隔热门板设置在连接板朝向传送口的一侧上。
[0017]可选地，气缸上设置有气缸行程传感器。
[0018]可选地，支撑部包括隔热支撑架，隔热支撑架设置在加热部的下方，驱动组件设置在隔热支撑架上；
[0019]隔热支撑架具有安装腔，驱动组件设置在安装腔内。
[0020]可选地，承载部包括多根顶针，多根顶针凸出设置在加热内腔的底壁上。
[0021]可选地，多根顶针至少包括三根，三根顶针的顶端的连线呈三角形。
[0022]可选地，加热部的外壁上设置有抽气孔，抽气孔连通加热内腔。
[0023]可选地，加热件包括加热丝。
[0024]有益效果：与现有技术相比，本申请提出的一种烘烤装置，通过将晶圆从传送口送入到加热内腔中，使晶圆置于承载部上，加热内腔的各侧内壁内均设置有加热件，加热件发热，使整个加热内腔中的温度升高，由于承载部对晶圆的支撑而使晶圆不与加热内腔的各表面相接触，从而使晶圆的各个方向所受到的热量相同，从而实现对晶圆的上下表面进行均匀加热。晶圆的各表面的受热速率相比热板更为均匀，晶圆在烘烤时均匀受热提高了产品质量和生产效率。
附图说明
[0025]图1为本申请实施例的一种烘烤装置在关闭传送口状态下的剖视图；
[0026]图2为本申请实施例的一种烘烤装置在打开传送口状态下的剖视图；
[0027]图3为本申请实施例的一种烘烤装置在关闭传送口状态下的正视图；
[0028]图4为本申请实施例的一种烘烤装置在打开传送口状态下的正视图；
[0029]图5为本申请实施例的一种烘烤装置的加热内腔的俯视图。
[0030]图中各标号：10、加热部；11、加热内腔；12、加热件；13、传送口；14、抽气孔；15、限位台阶；20、承载部；21、顶针；30、外盖；31、连接板；32、隔热门板；33、第一铰接位；34、第二铰接位；40、支撑部；41、隔热支撑架；42、安装腔；50、驱动组件；51、气缸；52、活塞杆；53、气缸行程传感器。
具体实施方式
[0031]本申请提供了一种烘烤装置，为使本申请的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实例对本申请进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。
[0032]现有晶圆烘烤工艺中采用热板进行接触式烘烤，不仅因出现上下受热速率不均而影响工艺；而且与外部隔热较差，影响控温；结构相对复杂，不易进行组装与更换。
[0033]如图1、图2所示，本实施例提供一种烘烤装置，采用空间加热的方式对晶圆烘烤，为方便结构描述，以将晶圆平放进行烘烤为例进行结构说明，晶圆平放后朝向天的一侧为上，朝向地的一侧为下，晶圆沿从前到后的方向被送入到烘烤装置进行烘烤，将上述方向作为本实施例的结构描述的参考方向。本实施例中的烘烤装置具体包括：加热部10，承载部20，以及外盖30。加热部10内具有加热内腔11，加热内腔11的各侧内壁内均设置有加热件12，具体为：加热内腔11可以设置为方形内腔，在方形内腔的前、后、左、右、上、下内壁内均设置有加热件12，通过加热件12对加热内腔11的内部进行加热，从而使加热内腔11中的各方向均匀升温。加热部10上开设有与加热内腔11相连通的传送口13，传送口13可以开设在加热部10的前侧外壁上，并贯穿至加热内腔11中，晶圆从烘烤装置的前侧通过传送口13可以送入到加热内腔11中。承载部20设置在加热内腔11中，并承载晶圆，使晶圆悬置在加热内腔11的中间位置，因此晶圆的上下表面均与加热内腔11的各侧面间隔一段距离，从而实现晶圆的空间加热。外盖30活动设置在传送口13处，并开启或关闭传送口13。外盖30位于加热部10的外侧，当晶圆需要送入到加热内腔11中时，外盖30打开，从而使晶圆能从传送口13进入到加热内腔11中；当晶圆烘烤时，外盖30封闭传送口13，使加热内腔11中的温度保持稳
定；当烘烤结束，外盖30打开从而使晶圆能从传送口13离开加热内腔11。
[0034]上述方案中，如图2、图4所示，通过外盖30将传送口13打开，将晶圆从传送口13送入到加热内腔11中，使晶圆置于承载部20上；如图1、图3所示，再通过外盖30将传送口13关闭，加热内腔11的各侧内壁内均设置有加热件12，加热件12发热，使整个加热内腔11中的温度升高，由于承载部20对晶圆的支撑而使晶圆不与加热内腔11的各表面相接触，从而使晶圆的各个方向所受到的热量相同，从而实现对晶圆的上下表面进行均匀加热。
[0035]如图1、图2所示，本实施例中的烘烤装置还包括支撑部40，支撑部40设置在加热部10上，通过支撑部40与加热部10连接，实现支撑部40对加热部10的支撑。外盖30上连接有驱动组件50，驱动组件50连接在支撑部40上，外盖30通过驱动组件50的驱动而开启或关闭传送口13。支撑部40提供安装位置而对驱动组件50进行支撑，驱动组件50可通过控制而产生驱动力，外盖30在驱动力的作用下而活动，从而打开或关闭传送口13。本实施例中只加热部10和支撑部40需要占用空间，加热部10和支撑部40构建了本烘烤装置的整体外形结构，其结构简单本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烘烤装置，用于对晶圆烘烤，其特征在于，所述烘烤装置包括：加热部，所述加热部内具有加热内腔，所述加热内腔的各侧内壁内均设置有加热件，所述加热部上开设有与所述加热内腔相连通的传送口；承载部，所述承载部设置在所述加热内腔中，并承载所述晶圆，以使所述晶圆与所述加热内腔的各侧内壁均间隔设置；外盖，所述外盖活动设置在所述传送口处，并开启或关闭所述传送口。2.根据权利要求1所述的烘烤装置，其特征在于，所述烘烤装置还包括支撑部，所述支撑部设置在所述加热部上；所述外盖上连接有驱动组件，所述驱动组件设置在所述支撑部上，所述外盖通过所述驱动组件的驱动来开启或关闭所述传送口。3.根据权利要求2所述的烘烤装置，其特征在于，所述外盖的一端铰接在所述支撑部上；所述驱动组件包括气缸，所述气缸设置在所述支撑部上，所述气缸的活塞杆铰接所述外盖。4.根据权利要求3所述的烘烤装置，其特征在于，所述外盖包括：连接板，所述连接板朝向所述传送口的一侧通过轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄宗友，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：