一种多功能大靶面显微管镜和显示面板检测系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种多功能大靶面显微管镜和显示面板检测系统，其包括照明单元，用于将照明光源发射的照明光束导引至待测物；显微成像单元，用于将由待测物反射的照明光束分束为多个分光束，并将每个分光束导引至一个成像相机；自动对焦单元，用于辅助调节显微成像单元与待测物之间的相对位置实现对焦。本实用新型专利技术既能够保证两台相机成像一致性，同时能够有效提升显微检测速度、保证成像质量。保证成像质量。保证成像质量。

【技术实现步骤摘要】
一种多功能大靶面显微管镜和显示面板检测系统


[0001]本技术公开了一种多功能大靶面显微管镜，属于显示面板检测
，具体公开了一种多功能大靶面显微管镜和显示面板检测系统。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的发展、半导体晶片制造技术的不断改进，半导体晶片制造中应用的平板印刷工艺变得更加精密，以使得日益增加的特征结合在半导体晶片的较小表面区域上，保证半导体晶片的更高性能。因此，在半导体晶片上潜在缺陷的尺寸也一般体现在微米至亚微米范围内。
[0003]半导体晶片的制造商们有着日益紧迫地改进半导体晶片质量控制和检测程序的需求，以保证制造的半导体晶片具有一致的高品质。因此，在其生产中排除或找出有缺陷的半导体晶片是至关重要的，当前用于实现半导体晶片检测的系统必不可少的一环是带有管镜结构的显微检测系统，现有技术中的显微检测系统的管镜结构具有简单、靶面小、功能单一、检测速度慢的缺陷，故其已经逐渐不能满足实际工业需求。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的技术问题，本技术提供了一种多功能大靶面显微管镜和显示面板检测系统，其既能够保证两台相机成像一致性，同时能够有效提升显微检测系统的显微检测速度，保证显微检测系统的成像质量。
[0005]本技术公开了一种多功能大靶面显微管镜，其包括照明单元，用于将照明光源发射的照明光束导引至待测物；显微成像单元，用于将由待测物反射的照明光束分束为多个分光束，并将每个分光束导引至一个成像相机；自动对焦单元，用于辅助调节显微成像单元与待测物之间的相对位置实现对焦。
[0006]在本技术的一种优选实施方案中，所述显微成像单元包括平行布置的第一管镜和第二管镜，所述第一管镜和第二管镜通过第三管镜连通，所述第三管镜与所述第一管镜垂直布置，所述第一管镜的一端连接有第一相机、另一端连接有物镜，所述第二管镜的一端连接有所述第二相机，所述第一管镜和所述第三管镜的交界处设置有第二分束镜，所述第二管镜和所述第三管镜的交界处设置有第二平面反射镜。
[0007]在本技术的一种优选实施方案中，所述第一管镜和所述第二管镜内均设置有透镜组。
[0008]在本技术的一种优选实施方案中，所述透镜组包括多个普通球面透镜，相邻两个普通球面透镜相互胶接。
[0009]在本技术的一种优选实施方案中，所述第二分束镜的法线与所述第二平面反射镜的法线相互垂直，所述第二分束镜的法线与所述第一管镜的中轴线之间的夹角为45
°
。
[0010]在本技术的一种优选实施方案中，所述第二分束镜和所述物镜之间设置有与所述第一管镜垂直连通布置的第四管镜，所述第四管镜与所述第一管镜的交界处设置有第
一分束镜，所述第一分束镜的法线与所述第二分束镜的法线相互垂直。
[0011]在本技术的一种优选实施方案中，所述第四管镜上设置有与其垂直连通布置的第五管镜，所述第五管镜的一端连接有照明光源，所述第五管镜和所述第四管镜的交界处设置有第三分束镜，所述第三分束镜的法线与所述第一分束镜的法线相互垂直。
[0012]在本技术的一种优选实施方案中，所述第四管镜上设置有与其垂直连通布置的第六管镜，所述第六管镜的一端连接有所述自动对焦单元，所述第六管镜和所述第四管镜的交界处设置有第一平面反射镜，所述第一平面反射镜的法线与所述第一分束镜的法线相互垂直。
[0013]在本技术的一种优选实施方案中，所述照明单元的照明光源为同轴光源。
[0014]在本技术的一种优选实施方案中，所述自动对焦单元包括激光模组和物距分析对焦模组。
[0015]在本技术的一种优选实施方案中，所述第一相机为黑白相机或者彩色相机。
[0016]在本技术的一种优选实施方案中，所述第二相机为黑白相机或者彩色相机。
[0017]本技术还公开了一种显示面板检测系统，其包括多功能大靶面显微管镜。
[0018]本技术的有益效果是：本技术克服了现有技术中显微管镜靶面小、检测速度慢的不足，提供了一种集成有照明单元、显微成像单元和自动对焦单元三个模块的大靶面显微管镜，有效地的压缩整个光学系统的体积，降低了其制造成本，提高了其检测速度和精度；
[0019]进一步的，本技术公开的双管镜结构的显微成像单元可以同时搭载两个不同的大靶面相机，既能够满足不同的检测需求又能够显著提升检测速度；
[0020]进一步的，本技术通过在第一管镜和第二管镜内设置透镜组，能够有效地保证第一相机和第二相机的成像一致性，避免误判；
[0021]进一步的，本技术的透镜组采用的是普通球面双胶合透镜组，该结构形式简单，易于加工和装调，能够显著的降低成本；
[0022]进一步的，本技术集成了自动对焦系统，通过采用特定比例的分束镜，在保证整个系统照明亮度的同时添加了自动对焦功能，避免了因待测物体的差异(如平整度不一致，翘曲等)而导致成像不清晰的问题，提高了检测精度。
附图说明
[0023]图1是本技术一种多功能大靶面显微管镜的示意图；
[0024]图中：1
‑
第一管镜，2
‑
第二管镜，3
‑
第三管镜，4
‑
第一相机，5
‑
物镜，6
‑
第二相机，7
‑
第二分束镜；8
‑
第二平面反射镜；9
‑
透镜组；10
‑
第四管镜； 11
‑
第一分束镜；12
‑
第五管镜；13
‑
第三分束镜；14
‑
第六管镜；15
‑ꢀ
第一平面反射镜；16
‑
同轴光源；17
‑
待测物。
具体实施方式
[0025]下面通过附图以及列举本技术的一些可选实施例的方式，对本技术的技术方案(包括优选技术方案)做进一步的详细描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]如图1所示，本技术公开了一种多功能大靶面显微管镜，其包括照明单元，用于将照明光源发射的照明光束导引至待测物；显微成像单元，用于将由待测物反射的照明光束分束为多个分光束，并将每个分光束导引至一个成像相机；自动对焦单元，用于辅助调节显微成像单元与待测物之间的相对位置实现对焦。
[0027]在本技术的一种优选实施方案中，显微成像单元包括平行布置的第一管镜1和第二管镜2，第一管镜1和第二管镜2通过第三管镜3连通，第三管镜 3与第一管镜1垂直布置，第一管镜1的一端连接有第一相机4、另一端连接有物镜5，第二管镜2的一端连接有第二相机6，第一管镜1和第三管镜3的交界处设置有第二分束镜7本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多功能大靶面显微管镜，其特征在于：包括照明单元，用于将照明光源发射的照明光束导引至待测物；显微成像单元，用于将由待测物反射的照明光束分束为多个分光束，并将每个分光束导引至一个成像相机；自动对焦单元，用于辅助调节显微成像单元与待测物之间的相对位置实现对焦。2.根据权利要求1所述的多功能大靶面显微管镜，其特征在于：所述显微成像单元包括第一管镜(1)和第二管镜(2)，所述第一管镜(1)和第二管镜(2)通过第三管镜(3)连通，所述第一管镜(1)的一端连接有第一相机(4)、另一端连接有物镜(5)，所述第二管镜(2)的一端连接有第二相机(6)，所述第一管镜(1)和所述第三管镜(3)的交界处设置有第二分束镜(7)，所述第二管镜(2)和所述第三管镜(3)的交界处设置有第二平面反射镜(8)。3.根据权利要求2所述的多功能大靶面显微管镜，其特征在于：所述第一管镜(1)和所述第二管镜(2)内均设置有透镜组(9)。4.根据权利要求3所述的多功能大靶面显微管镜，其特征在于：所述透镜组(9)包括多个普通球面透镜，相邻两个普通球面透镜相互胶接。5.根据权利要求2所述的多功能大靶面显微管镜，其特征在于：所述第二分束镜(7)的法线与所述第二平面反射镜(8)的法线相互垂直，所述第二分束镜(7)的法线与所述第一管镜(1)的中轴线之间的夹角为45
°

【专利技术属性】
技术研发人员：刘兴伟，邓俊涛，洪志坤，欧昌东，刘荣华，
申请(专利权)人：武汉精立电子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：