一种刻蚀机的电极屏蔽装置，解决了现有的电极屏蔽装置装卸过程太过复杂，不便于技术人员的检测和维修，导致工作效率低，同时对于电极柱防护不足，不利于使用的问题，其包括用于使用的电极柱本体，还包括屏蔽机构，所述电极柱本体的外侧设置有屏蔽机构；所述屏蔽机构包括第一屏蔽罩、第二屏蔽罩和防护机构，第一屏蔽罩的一侧设置有第二屏蔽罩，第一屏蔽罩与第二屏蔽罩之间形成有内腔，第一屏蔽罩的一端均设置有插块，第二屏蔽罩对应插块位置处开设有插槽，第一屏蔽罩与第二屏蔽罩的内侧设置有防护机构，本实用新型专利技术结构新颖，构思巧妙，便于第一屏蔽罩和第二屏蔽罩的安装和拆卸，同时，可对电极柱本体进行防护，提高电极柱本体的使用寿命。寿命。寿命。
【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀机的电极屏蔽装置
[0001]本技术涉及屏蔽装置，具体为一种刻蚀机的电极屏蔽装置。
技术介绍
[0002]刻蚀是半导体加工、微电子制造、LED生产等领域中非常重要的一步工艺，常见的刻蚀手段主要有干法刻蚀和湿法刻蚀，与湿法刻蚀相比，干法刻蚀具有各向异性好、选择比高、工艺可控、重复性好、无化学废液污染等优点。
[0003]现有的电极屏蔽装置装卸过程太过复杂，不便于技术人员的检测和维修，导致工作效率低，同时对于电极柱防护不足，不利于使用。
技术实现思路
[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种刻蚀机的电极屏蔽装置，有效的解决了现有的电极屏蔽装置装卸过程太过复杂，不便于技术人员的检测和维修，导致工作效率低，同时对于电极柱防护不足，不利于使用的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：本技术包括用于使用的电极柱本体，还包括屏蔽机构，所述电极柱本体的外侧设置有屏蔽机构；
[0006]所述屏蔽机构包括第一屏蔽罩、第二屏蔽罩、内腔、插块、插槽和防护机构，第一屏蔽罩的一侧设置有第二屏蔽罩，第一屏蔽罩与第二屏蔽罩之间形成有内腔，第一屏蔽罩的一端均设置有插块，第二屏蔽罩对应插块位置处开设有插槽，第一屏蔽罩与第二屏蔽罩的内侧设置有防护机构。
[0007]优选的，所述插槽未贯穿第二屏蔽罩的底端。
[0008]优选的，所述插块的长度与插槽的长度相同。
[0009]优选的，所述第一屏蔽罩和第二屏蔽罩均为弧形结构。
[0010]优选的，所述防护机构包括防护罩、连接柱、限位盘、弹簧和通过槽，防护罩的外侧设置有若干个连接柱，连接柱贯穿第一屏蔽罩的一端设置有限位盘，连接柱位于防护罩的一侧套接有弹簧。
[0011]优选的，所述第一屏蔽罩和第二屏蔽罩对应连接柱位置处开设有通过槽。
[0012]有益效果：本技术安装时，将第二屏蔽罩卡接在电极柱本体的一侧，再拉动第一屏蔽罩上的限位盘，限位盘拉动连接柱，连接柱拉动防护罩克服弹簧弹力，使得防护罩向着第一屏蔽罩移动，此时，将第一屏蔽罩上的插块插接在第二屏蔽罩上的插槽内，将第二屏蔽罩卡接在第一屏蔽罩上，此时，松开限位盘，在弹簧复位弹力的作用下，弹簧推动防护罩贴合在电极柱本体上，即可完成第一屏蔽罩和第二屏蔽罩的安装使用，拆卸第一屏蔽罩和第二屏蔽罩时，只需拉动第一屏蔽罩上的限位盘，限位盘拉动连接柱，连接柱拉动防护罩克服弹簧弹力，使得防护罩向着第一屏蔽罩移动，将第一屏蔽罩上的插块由第二屏蔽罩上的插槽内拉出，即可将第一屏蔽罩和第二屏蔽罩拆卸下来，同时使用时，通过设置的防护罩可对电极柱本体进行防护，电极柱本体的震动等会传递给防护罩，防护罩传递给弹簧，通过弹
簧的形变进行缓冲，便于对电极柱本体进行防护。
[0013]本技术结构新颖，构思巧妙，便于第一屏蔽罩和第二屏蔽罩的安装和拆卸，同时，可对电极柱本体进行防护，提高电极柱本体的使用寿命。
附图说明
[0014]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0015]图1是本技术整体结构示意图；
[0016]图2是本技术内部结构示意图；
[0017]图3是本技术俯视图；
[0018]图中标号：1、电极柱本体；2、屏蔽机构；21、第一屏蔽罩；22、第二屏蔽罩；23、内腔；24、插块；25、插槽；26、防护机构；261、防护罩；262、连接柱；263、限位盘；264、弹簧；265、通过槽。
具体实施方式
[0019]下面结合附图1
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3对本技术的具体实施方式做进一步详细说明。
[0020]实施例一，由图1
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3给出，本技术提供一种刻蚀机的电极屏蔽装置，包括用于使用的电极柱本体1，还包括屏蔽机构2，电极柱本体1的外侧设置有屏蔽机构2；
[0021]屏蔽机构2包括第一屏蔽罩21、第二屏蔽罩22、内腔23、插块24、插槽25和防护机构26，第一屏蔽罩21的一侧设置有第二屏蔽罩22，第一屏蔽罩21与第二屏蔽罩22之间形成有内腔23，第一屏蔽罩21的一端均设置有插块24，第二屏蔽罩22对应插块24位置处开设有插槽25，第一屏蔽罩21与第二屏蔽罩22的内侧设置有防护机构26。
[0022]具体使用时：本技术安装时，将第二屏蔽罩22卡接在电极柱本体1的一侧，再拉动第一屏蔽罩21上的限位盘263，限位盘263拉动连接柱262，连接柱262拉动防护罩261克服弹簧264弹力，使得防护罩261向着第一屏蔽罩21移动，此时，将第一屏蔽罩21上的插块24插接在第二屏蔽罩22上的插槽25内，将第二屏蔽罩22卡接在第一屏蔽罩21上，此时，松开限位盘263，在弹簧264复位弹力的作用下，弹簧264推动防护罩261贴合在电极柱本体1上，即可完成第一屏蔽罩21和第二屏蔽罩22的安装使用，拆卸第一屏蔽罩21和第二屏蔽罩22时，只需拉动第一屏蔽罩21上的限位盘263，限位盘263拉动连接柱262，连接柱262拉动防护罩261克服弹簧264弹力，使得防护罩261向着第一屏蔽罩21移动，将第一屏蔽罩21上的插块24由第二屏蔽罩22上的插槽25内拉出，即可将第一屏蔽罩21和第二屏蔽罩22拆卸下来，同时使用时，通过设置的防护罩261可对电极柱本体1进行防护，电极柱本体1的震动等会传递给防护罩261，防护罩261传递给弹簧264，通过弹簧264的形变进行缓冲，便于对电极柱本体1进行防护。
[0023]有益效果：本技术结构新颖，构思巧妙，便于第一屏蔽罩21和第二屏蔽罩22的安装和拆卸，同时，可对电极柱本体1进行防护，提高电极柱本体1的使用寿命。
[0024]实施例二
[0025]实施例一中插块24插接后限位不便，参照图1，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，插槽25未贯穿第二屏蔽罩22的底端，便于对插接后的插块24进行限位。
[0026]实施例三
[0027]实施例一中插块24与插槽25配合不便，参照图1，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，插块24的长度与插槽25的长度相同，便于插块24与插槽25的配合使用。
[0028]实施例四
[0029]实施例一中第一屏蔽罩21和第二屏蔽罩22使用不便，参照图3，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，第一屏蔽罩21和第二屏蔽罩22均为弧形结构，便于第一屏蔽罩21和第二屏蔽罩22的配合使用。
[0030]实施例五
[0031]实施例一中对电极柱本体1防护不便，参照图2和图3，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，防护机构26包括防护罩261、连接柱262、限位盘263、弹簧264和通过槽265，防护罩261的外侧设置有若干个连接柱262，连接柱262贯穿第一屏蔽罩21的一端设置有限位盘263，连接柱262位于防护罩本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种刻蚀机的电极屏蔽装置，包括用于使用的电极柱本体(1)，其特征在于：还包括屏蔽机构(2)，所述电极柱本体(1)的外侧设置有屏蔽机构(2)；所述屏蔽机构(2)包括第一屏蔽罩(21)、第二屏蔽罩(22)、内腔(23)、插块(24)、插槽(25)和防护机构(26)，第一屏蔽罩(21)的一侧设置有第二屏蔽罩(22)，第一屏蔽罩(21)与第二屏蔽罩(22)之间形成有内腔(23)，第一屏蔽罩(21)的一端均设置有插块(24)，第二屏蔽罩(22)对应插块(24)位置处开设有插槽(25)，第一屏蔽罩(21)与第二屏蔽罩(22)的内侧设置有防护机构(26)。2.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的电极屏蔽装置，其特征在于，所述插槽(25)未贯穿第二屏蔽罩(22)的底端。3.根据权利要求1所述的一种刻蚀机的电极屏蔽装...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐建成，颜维逸，赵佳伟，梁晓航，
申请(专利权)人：无锡芯汉电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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