一种晶圆粘贴机电磁阀状态检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆粘贴机电磁阀状态检测装置，包括信号输入电路、控制电路、信号处理电路，信号输入电路至少包括四组光电耦合器，光电耦合器的发射极负极通过光敏二极管连接输入端子，光电耦合器的接收端E极与控制电路连接。光电耦合器的发射极负极通过光敏二极管连接输入端子，光电耦合器的接收端E极与控制电路连接，当向电磁阀发送工作的信号时，光电耦合器的发射极正极便会有正极电压，从而触发光电耦合器的接收端E极，进而使得粘贴机获得电磁阀已经进行破真空的信号，能及时检测真空电磁阀状态,异常时会及时通知设备报警.降低产品畸形,提高产品良率,使异常产品能在当前加工中被发现。当前加工中被发现。当前加工中被发现。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆粘贴机电磁阀状态检测装置


[0001]本技术涉及自动化控制
，尤其涉及一种晶圆粘贴机电磁阀状态检测装置。

技术介绍

[0002]在当前技术中，真空电磁阀解除真空状态时，会发生一个破真空的的动作，即在真空状态解除的同时，电磁阀会进行一个持续50毫秒左右的吹气动作，以保证真空状态的顺利解除。当前没有装置进行检测破真空电磁阀的吹气动作，当真空电磁阀应用于半导体封测领域时，经常发生因为破真空电磁阀未动作而造成的真空状态未解除，进而发生晶圆(芯片)破损的事件。
[0003]公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本技术的总体
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

[0004]为了满足上述要求，本技术的目的在于提供一种晶圆粘贴机电磁阀状态检测装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种晶圆粘贴机电磁阀状态检测装置，包括信号输入电路，所述信号输入电路包括至少两个输入端子，所述输入端子与电磁阀连接，所述信本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆粘贴机电磁阀状态检测装置，其特征在于，包括信号输入电路，所述信号输入电路包括至少两个输入端子，所述输入端子与电磁阀连接，所述信号输入电路还连接有控制电路，所述控制电路的输出信号输出至信号处理电路，所述信号处理电路包括输出端子，所述输出端子与所述粘贴机连接；所述信号输入电路至少包括四组光电耦合器，所述光电耦合器的发射极正极连接有输入电压，所述光电耦合器的发射极负极通过光敏二极管连接输入端子，所述光电耦合器的接收端E极与控制电路连接。2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆洪飞，王春峰，
申请(专利权)人：苏州中搏成机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：