(甲基)丙烯酸酯树脂、活性能量射线固化性(甲基)丙烯酸酯树脂组合物、和抗蚀下层膜、以及(甲基)丙烯酸酯树脂的制造方法技术

提供：通过具有低粘度/低极性从而能用于超微细化了的布线图案形成的(甲基)丙烯酸酯树脂。一种(甲基)丙烯酸酯树脂，其是使中间反应产物与不饱和一元羧酸反应而得到的，所述中间反应产物是使选自由1,2,3

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】(甲基)丙烯酸酯树脂、活性能量射线固化性(甲基)丙烯酸酯树脂组合物、和抗蚀下层膜、以及(甲基)丙烯酸酯树脂的制造方法


[0001]本专利技术涉及(甲基)丙烯酸酯树脂、(甲基)丙烯酸酯树脂组合物、和抗蚀下层膜、以及(甲基)丙烯酸酯树脂的制造方法。

技术介绍

[0002]近年来，随着LSI的高集成化和高速度化，其图案加工要求日益微细化，使用了ArF准分子激光(193nm)的光刻法中，根据工艺材料的光学特性的利用、工艺设备的改良而变得超过源自光源的波长的本质的分辨率限制。
[0003]光致抗蚀剂的领域中，开发了各种用于形成更微细的布线图案的方法，其中之一有多层抗蚀法。多层抗蚀法中，在基板上形成1层乃至多层被称为抗蚀下层膜、防反射膜等的层后，在其上基于通常的光刻法形成抗蚀图案，接着，通过干法蚀刻将布线图案加工转印至基板。多层抗蚀法的技术中重要的构件之一为前述抗蚀下层膜，对该下层膜要求低粘度、干法蚀刻耐性高、光反射性低等。另外，抗蚀下层膜以溶剂稀释的状态制膜，因此，抗蚀下层膜用的树脂材料需要可溶于通用有机溶剂。
[0004]另外，近年来的超微细化了的布线图案形成大多使用重复被称为双图案化、多重图案化的多次曝光/蚀刻的工序，该下层膜还承担如下重要的作用：填孔前面工艺中制作的微细的图案后，形成平滑的接下来的工序制作面。因此，基底材料中使用的抗蚀下层膜材料在涂布/干燥材料后浸润至微细空间，因此，要求为低粘度、低极性。
[0005]另外，作为以往的抗蚀下层膜用的含酚羟基化合物，已知有含蒽骨架的化合物(前述专利文献1)。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1：日本特开2010
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285403号公报

技术实现思路

[0009]专利技术要解决的问题
[0010]前述专利文献1中记载的含蒽骨架的化合物的固化涂膜中的光反射率低，作为防反射膜的特性优异，但根据分子大小和宽的芳香族电子云所产生的π
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π相互作用而对微细空间的浸润性低。
[0011]本专利技术的课题在于，提供：通过具有低粘度/低极性，从而能用于超微细化了的布线图案形成的(甲基)丙烯酸酯树脂。
[0012]另外，本专利技术的课题在于，提供：能用于超微细化了的布线图案形成的活性能量射线固化性(甲基)丙烯酸酯树脂组合物。
[0013]另外，本专利技术的课题在于，提供：能形成超微细化了的布线图案的抗蚀下层膜。
[0014]另外，本专利技术的课题在于，提供：通过具有低粘度/低极性，从而能用于超微细化了的布线图案形成的(甲基)丙烯酸酯树脂的制造方法。
[0015]用于解决问题的方案
[0016]对1种三羟基苯进行环氧化而得到的产物、对该产物进行(甲基)丙烯酸酯化而得到的(甲基)丙烯酸酯树脂有结晶性高、粘度高的倾向。因此，如果使用这种(甲基)丙烯酸酯树脂作为抗蚀下层膜用树脂，则对微细空间的湿润性变低，难以形成微细的布线图案。本专利技术人等发现：意图使2种以上的三羟基苯以混合了的状态与环氧卤丙烷反应而得到中间反应产物，使得到的中间反应产物与不饱和一元羧酸反应，从而可以得到具有低粘度/低极性、能用于超微细化了的布线图案形成的(甲基)丙烯酸酯树脂。
[0017]即，本专利技术为一种(甲基)丙烯酸酯树脂，其是使中间反应产物与不饱和一元羧酸反应而得到的，所述中间反应产物是使选自由1,2,3
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三羟基苯、1,2,4
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三羟基苯和1,3,5
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三羟基苯组成的组中的2种以上的混合物与环氧卤丙烷反应而得到的。
[0018]另外，本专利技术为一种活性能量射线固化性(甲基)丙烯酸酯树脂组合物，其含有：前述(甲基)丙烯酸酯树脂、光聚合引发剂、和有机溶剂。
[0019]另外，本专利技术为一种抗蚀下层膜，其是使前述活性能量射线固化性(甲基)丙烯酸酯树脂组合物固化而成的。
[0020]另外，本专利技术为一种(甲基)丙烯酸酯树脂的制造方法，其具备如下工序：
[0021]工序(1)，使选自由1,2,3
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三羟基苯、1,2,4
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三羟基苯和1,3,5
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三羟基苯组成的组中的2种以上以混合了的状态与环氧卤丙烷反应得到中间反应产物；和工序(2)，使前述中间反应产物与不饱和一元羧酸反应得到(甲基)丙烯酸酯树脂。
[0022]专利技术的效果
[0023]根据本专利技术，可以提供通过具有低粘度/低极性，从而能用于超微细化了的布线图案形成的(甲基)丙烯酸酯树脂。
[0024]另外，根据本专利技术，可以提供能用于超微细化了的布线图案形成的(甲基)丙烯酸酯树脂组合物。
[0025]另外，根据本专利技术，可以提供能形成超微细化了的布线图案的下层膜。
[0026]另外，根据本专利技术，可以提供通过具有低粘度/低极性，从而能用于超微细化了的布线图案形成的(甲基)丙烯酸酯树脂的制造方法。
附图说明
[0027]图1为合成例1中得到的环氧树脂(1)的GPC谱图
[0028]图2为合成例1中得到的环氧树脂(1)的1H
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NMR谱图
[0029]图3为合成例1中得到的环氧树脂(1)的
13
C
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NMR谱图
[0030]图4为合成例2中得到的环氧树脂(2)的GPC谱图
[0031]图5为合成例3中得到的环氧树脂(3)的GPC谱图
[0032]图6为实施例1中得到的丙烯酸酯树脂(A
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1)的GPC谱图
[0033]图7为实施例1中得到的丙烯酸酯树脂(A
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1)的1H
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NMR谱图
[0034]图8为实施例1中得到的丙烯酸酯树脂(A
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1)的
13
C
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NMR谱图
[0035]图9为实施例2中得到的甲基丙烯酸酯树脂(B
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1)的GPC谱图
[0036]图10为实施例3中得到的丙烯酸酯树脂(A
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2)的GPC谱图
[0037]图11为实施例4中得到的丙烯酸酯树脂(A
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3)的GPC谱图
[0038]图12为合成例4中得到的环氧树脂(4)的GPC谱图
[0039]图13为合成例5中得到的环氧树脂(5)的GPC谱图
[0040]图14为比较例1中得到的丙烯酸酯树脂(A
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4)的GPC谱图
[0041]图15为比较例2中得到的丙烯酸酯树脂(A
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5)的GPC谱图
[0042]图16为比较例3中得到的丙烯酸酯树脂(A
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6)的GPC谱图
[0043]图17为比较例4中得到的丙烯酸酯树脂(A
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7)的GPC谱图
[0044]图18为丙烯酸酯树脂混合物(C
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种(甲基)丙烯酸酯树脂，其是使中间反应产物与不饱和一元羧酸反应而得到的，所述中间反应产物是使选自由1,2,3
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三羟基苯、1,2,4
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三羟基苯和1,3,5
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三羟基苯组成的组中的2种以上的混合物与环氧卤丙烷反应而得到的。2.根据权利要求1所述的(甲基)丙烯酸酯树脂，其中，所述不饱和一元羧酸为(甲基)丙烯酸酯。3.根据权利要求1或2所述的(甲基)丙烯酸酯树脂，其中，包含相对于所述1,2,3
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三羟基苯、所述1,2,4
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三羟基苯和所述1,3,5
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三羟基苯的总计100质量份为20～80质量份的所述1,2,3
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三羟基苯。...

【专利技术属性】
技术研发人员：今田知之，长江教夫，
申请(专利权)人：DIC株式会社，
类型：发明
国别省市：