本发明专利技术涉及晶圆加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，包括底板和圆台，圆台固定在底板上，圆台上呈圆周状均匀滑动设置有若干滑动块，若干滑动块顶端均转动设置有驱动轮，驱动轮外壁上设置有阻尼垫，圆台上设置有抛光组件，抛光组件由抛光动板和抛光定板组成，抛光定板固定在圆台上，抛光动板安装在底板上，抛光动板位于抛光定板正上方，且抛光动板能够上下滑动；圆台上纵向贯通设置有若干滑动孔，滑动块在对应的滑动孔内做向心或离心运动，若干驱动轮同步同向旋转。本发明专利技术中同步对晶圆的两个面进行抛光处理，抛光过程中无需停机，无需工作人员参与，省时省力，工作效率高。工作效率高。工作效率高。
【技术实现步骤摘要】
汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备
[0001]本专利技术涉及晶圆加工附属装置的
，特别是涉及一种汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备。
技术介绍
[0002]晶圆是生产汽车传感芯片的重要组成部分，在对晶圆进行加工的过程中，需要对晶圆的表面进行抛光处理，目前，对晶圆的表面进行抛光处理的方式是首先对晶圆进行固定，通过抛光轮对晶圆的一个面进行抛光，之后对晶圆进行翻转，再对晶圆的另一个面进行抛光，现有的对晶圆进行抛光处理的方式，需要依次对晶圆的两个面进行抛光，抛光时间较长，需要工作人员对晶圆进行翻转，工作人员劳动强度较高，工作效率较低。
技术实现思路
[0003]本专利技术的主要目的在于提供一种汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，从而有效解决
技术介绍
中所指出的问题。
[0004]为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案是：汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，包括底板和圆台，圆台固定在底板上，圆台上呈圆周状均匀滑动设置有若干滑动块，若干滑动块顶端均转动设置有驱动轮，驱动轮外壁上设置有阻尼垫，圆台上设置有抛光组件，抛光组件由抛光动板和抛光定板组成，抛光定板固定在圆台上，抛光动板安装在底板上，抛光动板位于抛光定板正上方，且抛光动板能够上下滑动；圆台上纵向贯通设置有若干滑动孔，滑动块在对应的滑动孔内做向心或离心运动，若干驱动轮同步同向旋转。
[0005]优选地，若干滑动块上均纵向贯穿转动设置有转轴，驱动轮固定安装在转轴顶端，转轴底端固定设置有联动轮，若干联动轮上传动套设有皮带；底板上滑动设置有滑动座，滑动座上设置有电机，电机输出端设置有输出轴，输出轴背向电机的一端与若干联动轮中的一个驱动轮固定连接。
[0006]优选地，还包括环形板，环形板套在若干滑动块的外部，若干滑动块的离心一端均设置有凹槽，环形板的内圈壁与凹槽内壁滑动连接，环形板的内圈壁上均匀设置有若干斜坡道，斜坡道的数量与滑动块的数量一致，滑动块的离心一端与滑动孔的内壁之间设置有第一弹簧，底板上固定设置有支撑架，支撑架顶端固定设置有气缸，气缸输出端设置有伸缩轴，伸缩轴背向气缸的一端固定设置有齿条，环形板的圆周外壁上设置有齿结构，齿条与环形板上的齿结构啮合。
[0007]优选地，底板上固定设置有支撑板，支撑板上设置有方形孔，方形孔内滑动设置有移动块，方形孔内底壁上转动设置有转动柱，转动柱顶端转动贯穿方形孔内顶壁，转动柱的圆周外壁位于方形孔内的部分设置有外螺纹，移动块螺装套设在转动柱上，抛光动板的一端与移动块朝向圆台的一端铰接；
抛光定板顶端设置有两根限位柱，两根限位柱分别位于圆台的两侧，抛光动板上与两根限位柱对应的位置上纵向贯通设置有限位孔。
[0008]优选地，底板上设置有滑动槽，滑动槽内滑动设置有调节座，调节座与滑动槽内壁之间设置有第二弹簧，调节座顶端转动设置有连接轴，连接轴顶端固定设置有撑紧轮，撑紧轮的圆周外壁与皮带的外圈壁紧密接触。
[0009]优选地，圆台顶端设置有两个圆弧支板，两个圆弧支板的顶面与抛光定板的顶面齐平，两个圆弧支板位置对称。
[0010]优选地，转动柱顶端固定设置有圆板，圆板顶端的圆心位置转动设置有摇杆。
[0011]优选地，底板底端设置有支腿，底板顶端固定设置有立柱，立柱顶端与圆台底端固定连接。
[0012]采用上述技术方案后，本专利技术的有益效果是：通过阻尼垫的作用，起到增加驱动轮与晶圆的圆周外壁之间摩擦阻力的作用，使得若干驱动轮同步同向旋转的过程，依靠摩擦力的作用推动晶圆进行自旋转，由于抛光定板与晶圆底面接触，抛光动板与晶圆顶面接触，使得晶圆自旋转的过程中，抛光定板和抛光动板自动对晶圆的两个面进行打磨抛光，抛光均匀，且能够同步对晶圆的两个面进行抛光处理，抛光过程中无需停机，无需工作人员参与，省时省力，工作效率高。
附图说明
[0013]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0014]图1是本专利技术实施例中的整体右前顶角向下斜视结构示意立体图；图2是本专利技术实施例中的联动轮和皮带处的部分结构右前顶角向下斜视结构示意立体图；图3是本专利技术实施例中的环形板和若干滑动块处的部分结构右前顶角向下斜视结构示意立体图；图4是本专利技术实施例中的圆台、驱动轮、抛光定板和抛光动板处的部分结构左前顶角向下斜视结构示意立体图；图5是本专利技术实施例中的圆台、驱动轮、抛光定板、两个圆弧支板、阻尼垫和第一弹簧的俯视平面结构图；图6是本专利技术实施例中的底板、支撑板和圆台处的部分结构从前侧剖视情况下的前视平面图；图7是本专利技术实施例中的抛光动板旋转一定角度从圆台上方移开时的部分结构左前顶角向下斜视结构示意立体图；图8是本专利技术实施例中的滑动块、转轴、驱动轮、阻尼垫和联动轮的结构示意立体图；图9是本专利技术实施例中的环形板的结构示意俯视平面图；图10是本专利技术实施例中的本专利技术实施例图6中A处的局部结构放大示意图；
图11是本专利技术实施例中的若干驱动轮驱动待抛光的晶圆进行旋转的示意图；附图标记：1、底板；2、圆台；3、滑动块；4、驱动轮；5、阻尼垫；6、抛光动板；7、抛光定板；8、滑动孔；9、转轴；10、联动轮；11、皮带；12、滑动座；13、电机；14、输出轴；15、环形板；16、凹槽；17、斜坡道；18、第一弹簧；19、支撑架；20、气缸；21、伸缩轴；22、齿条；23、支撑板；24、方形孔；25、移动块；26、转动柱；27、限位柱；28、限位孔；29、滑动槽；30、调节座；31、第二弹簧；32、连接轴；33、撑紧轮；34、圆弧支板；35、圆板；36、摇杆；37、支腿；38、立柱；39、待抛光的晶圆。
具体实施方式
[0015]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0016]需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
[0017]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0018]本专利技术实施例中为了解决现有技术中需要依次对晶圆的两个面进行抛光，抛光时间较长，需要工作人员对晶圆进行翻转，工作人员劳动强度较高，工作效率较低的问题，实现了同步对晶圆的两个面进行抛光处理，抛光过本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，其特征在于，包括底板（1）和圆台（2），圆台（2）固定在底板（1）上，圆台（2）上呈圆周状均匀滑动设置有若干滑动块（3），若干滑动块（3）顶端均转动设置有驱动轮（4），驱动轮（4）外壁上设置有阻尼垫（5），圆台（2）上设置有抛光组件，抛光组件由抛光动板（6）和抛光定板（7）组成，抛光定板（7）固定在圆台（2）上，抛光动板（6）安装在底板（1）上，抛光动板（6）位于抛光定板（7）正上方，且抛光动板（6）能够上下滑动；圆台（2）上纵向贯通设置有若干滑动孔（8），滑动块（3）在对应的滑动孔（8）内做向心或离心运动，若干驱动轮（4）同步同向旋转。2.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，其特征在于，若干滑动块（3）上均纵向贯穿转动设置有转轴（9），驱动轮（4）固定安装在转轴（9）顶端，转轴（9）底端固定设置有联动轮（10），若干联动轮（10）上传动套设有皮带（11）；底板（1）上滑动设置有滑动座（12），滑动座（12）上设置有电机（13），电机（13）输出端设置有输出轴（14），输出轴（14）背向电机（13）的一端与若干联动轮（10）中的一个驱动轮（4）固定连接。3.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备，其特征在于，还包括环形板（15），环形板（15）套在若干滑动块（3）的外部，若干滑动块（3）的离心一端均设置有凹槽（16），环形板（15）的内圈壁与凹槽（16）内壁滑动连接，环形板（15）的内圈壁上均匀设置有若干斜坡道（17），斜坡道（17）的数量与滑动块（3）的数量一致，滑动块（3）的离心一端与滑动孔（8）的内壁之间设置有第一弹簧（18），底板（1）上固定设置有支撑架（19），支撑架（19）顶端固定设置有气缸（20），气缸（20）输出端设置有伸缩轴（21），伸缩轴（21）背向气缸（20）的一端固定设置有齿条（22），环形板（...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐宝，吴刚，徐元，
申请(专利权)人：苏州米洛微纳电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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