【技术实现步骤摘要】
照明场非均匀性探测系统及方法
[0001]本公开涉及照明非均匀性领域，尤其涉及一种照明场非均匀性探测系统及方法。
技术介绍
[0002]目前，在一些精密加工领域对于一定面积的照明场内光照强度分布的非均匀性有非常高的要求，为了适配被检系统对检测结果的高精度要求，对检测设备的精度，检测结果与被检系统状态的一致性，检测方法的可重复性都有较高要求。
[0003]在实现本公开的过程中发现，图像传感器本身就存在非均匀性问题，不同探测单元在相同条件下的响应输出并非完全相同，导致用图像复现照明场的光照强度分布时，图像传感器本身的不均匀性将对检测结果造成影响，使其无法表征被检系统形成的照明场内光照强度分布的非均匀性，因此，采用光电探测器扫描照明场，根据光电探测器扫描所得的数据以及均匀性指标设置相关的电荷耦合装置CCD(Charge
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coupled Device)图像传感器扫描参数，通过CCD图像传感器的扫描结果对照明场的非均匀性进行评价，这种方式可以提高均匀性检测的精度。
[0004]然而，现有技术中缺乏同...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种照明场非均匀性探测系统，其特征在于，包括：位移控制模块，用于控制运动台带动光电探测器和图像传感器在照明场中移动；照明信号采集模块，用于控制所述光电探测器在照明场中以不同采集频率采集不同的响应信号以及所述控制图像传感器在所述照明场中采集响应图像；数据处理模块，用于根据所述不同的响应信号获得多个不同光照辐射强度且光照强度分布视为均匀的照明场，基于多个不同光照辐射强度且光照强度分布视为均匀的照明场获得多个校正后的图像传感器灰度矩阵，并对多个校正后的图像传感器灰度矩阵进行拟合，得到参数矩阵；非均匀性检测模块，用于根据所述参数矩阵对所述响应图像进行校正，利用校正后的响应图像灰度分布的非均匀指标表征照明场内光照强度分布的非均匀性。2.根据权利要求1所述的照明场非均匀性探测系统，其特征在于，所述照明信号采集模块还用于控制所述光电探测器在预设时间段采集照明系统输出的功率来确定所述照明系统的时域稳定性，在所述照明系统的时域稳定后，控制光电探测器采集所述响应信号。3.根据权利要求1所述的照明场非均匀性探测系统，其特征在于，所述照明信号采集模块内配置有数据处理单元、频率设置单元和频率验证单元；在所述数据处理单元开启的情况下，所述数据处理单元对所述光电探测器每次探测的数据进行有效性判断，将有效数据作为所述响应数据；在所述数据处理单元关闭的情况下，所述频率验证单元将所述光电探测器探测的所有数据作为所述响应数据；所述频率设置单元用于设置所述采集频率；所述频率验证单元还用于根据所述所有数据验证所述光电探测器采集响应信号的实际频率与所述采集频率是否一致。4.根据权利要求3所述的照明场非均匀性探测系统，其特征在于，所述数据处理单元配置有第一标志位和第二标志位；在所述数据处理单元设置为第一标志位的情况下，所述照明信号采集模块持续保存采集的有效数据；在所述数据处理单元设置为第二标志位的情况下，所述照明信号采集模块保存单次采集的所有有效数据的平均值。5.根据权利要求4所述的照明场非均匀性探测系统，其特征在于，在所述采集频率大于频率阈值时，采用异步回调的方式包裹所述第一标志位。6.根据权利要求1所述的照明场非均匀性探测系统，其特征在于，所述数据处理模块根据所述不同的响应信号获得多个不同光照辐射强度且光照强度分布视为均匀的照明场，具体包括：根据所述光电探测器在所述照明场的任一行采集的响应数据的分布曲线的顶点对应的列采集的响应数据的分布曲线获得所述视为均匀的照明场的纵向尺寸，根据该列采集的响应数据的分布曲线的顶点对应的行采集的响应数据的分布曲线获得所述视为均匀的照明场的横向尺寸；或者根据所述光电探测器在所述照明场的每一行采集的响应数据的分布曲线获取多个初始横向尺寸，将所述多个初始横向尺寸中最小的...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗先刚，李奕，冯金花，吴斯翰，张绍宇，何渝，赵立新，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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