本申请涉及半导体生产设备技术领域，具体而言，涉及一种冲孔装置及叠压机，包括支架、上模单元和下模单元，所述上模单元安装于所述支架，所述上模单元位于所述下模单元的上方；所述上模单元包括从上到下依次连接的直线驱动件、上模座和冲头组件，所述直线驱动件与所述支架连接，所述冲头组件的个数为至少两个；所述下模单元包括下模座和安装于所述下模座的顶端的模具，在所述模具上形成有多个通孔，多个所述通孔用于与各所述冲头组件一一对应的配合以对陶瓷膜片冲孔。本申请的目的在于针对现有技术中，各陶瓷膜片上的定位孔加工位置的一致性难以保证，提供一种冲孔装置及叠压机。提供一种冲孔装置及叠压机。提供一种冲孔装置及叠压机。
【技术实现步骤摘要】
冲孔装置及叠压机
[0001]本申请涉及半导体生产设备
，具体而言，涉及一种冲孔装置及叠压机。
技术介绍
[0002]在叠层式电子元件叠层加工过程中，保证每层陶瓷膜片的位置精度是至关重要的。采用定位孔对陶瓷膜片进行精确定位是叠层加工中被用来对陶瓷膜片进行定位的一种重要方法。保证各陶瓷膜片上的定位孔加工位置的一致性和定位孔的精度是必要的，特别是当每个陶瓷膜片上有多个定位孔时。现有技术中，陶瓷膜片上的各定位孔多为逐个加工成型，某一个陶瓷膜片上两个定位孔之间的距离，与另一个陶瓷膜片在相应位置上的两个定位孔之间的距离难以保持一致，在后续生产中难以保证每层陶瓷膜片的位置精度。
技术实现思路
[0003]本申请的目的在于针对现有技术中，各陶瓷膜片上的定位孔加工位置的一致性难以保证，提供一种冲孔装置及叠压机。
[0004]为了实现上述目的，本申请采用以下技术方案：
[0005]本申请的一个方面提供一种冲孔装置，包括支架、上模单元和下模单元，所述上模单元安装于所述支架，所述上模单元位于所述下模单元的上方；
[0006]所述上模单元包括从上到下依次连接的直线驱动件、上模座和冲头组件，所述直线驱动件与所述支架连接，所述冲头组件的个数为至少两个；
[0007]所述下模单元包括下模座和安装于所述下模座的顶端的模具，在所述模具上形成有多个通孔，多个所述通孔用于与各所述冲头组件一一对应的配合以对陶瓷膜片冲孔。
[0008]可选的，所述冲头组件包括固定于所述上模座的凸模，在所述凸模内形成有在所述凸模的轴向上贯穿所述凸模的空气通道，所述空气通道用于通入压缩空气。
[0009]该技术方案的有益效果在于：当凸模在陶瓷膜片上冲定位孔时，会将定位孔处原有的残料冲下来，该残料很有可能会粘在凸模上，影响后续冲孔作业，本申请实施例在凸模内设置用于通入压缩空气的空气通道，完成冲孔后，粘在凸模上的残料会被通入空气通道中的压缩空气吹掉，使残料难以粘在凸模上，进而不易对后续的冲孔作业产生影响。
[0010]可选的，所述下模单元还包括位于所述下模座内的残料盒，残料盒与各所述通孔连通。
[0011]该技术方案的有益效果在于：这样，完成冲孔后，被凸模吹走的残料会落入残料盒中，而非随意飘落的其他位置，进而减小残料对生产的影响。
[0012]可选的，所述冲头组件包括凸模和卸料板，所述凸模固定于上模座上，所述卸料板为套状，所述卸料板套装于所述凸模之外，在竖直方向上所述卸料板与所述凸模滑动配合，以使所述卸料板的底端能够位于所述凸模的底端的下方。
[0013]该技术方案的有益效果在于：这样，当冲头组件逐渐向下移动的过程中，卸料板首先与陶瓷膜片接触，且卸料板向陶瓷膜片上施加向下的作用力，将陶瓷膜片进一步定位在
模具上，然后凸模相对卸料板和陶瓷膜片向下移动，对陶瓷膜片冲孔，在冲孔的过程中，卸料板使陶瓷膜片不易产生移动，进而获得较好的加工精度。
[0014]可选的，所述冲头组件还包括第一弹簧，所述第一弹簧套装于所述凸模之外，所述第一弹簧的顶端固定于所述上模座，所述第一弹簧的底端固定于所述卸料板。
[0015]该技术方案的有益效果在于：这样，当卸料板与陶瓷膜片接触时，上模座继续向下移动，卸料板和上模座同时压缩第一弹簧，使作用在陶瓷膜片上的作用力既包括卸料板的重力又包括第一弹簧的弹力，进而使陶瓷膜片获得刚好的定位效果，进一步提高加工精度。
[0016]可选的，所述冲头组件还包括卸料板座，所述凸模和所述卸料板座均固定于所述上模座，所述卸料板座为套状，所述卸料板座套装于所述卸料板之外，所述卸料板套装于所述凸模和所述第一弹簧之外，所述卸料板的底端和所述凸模的底端从所述卸料板座的底端端口伸出。
[0017]该技术方案的有益效果在于：这样，通过卸料板座能够对卸料板、凸模和第一弹簧进行一定的保护，延长设备寿命，并对卸料板和第一弹簧的移动形成一定导向，提高加工精度，同时保证被加工的陶瓷膜片不会随凸模一起被抬升。
[0018]可选的，所述卸料板包括第一套部和外侧限位部，所述外侧限位部位于所述第一套部的顶端，所述外侧限位部形成于所述第一套部的外壁；所述卸料板座包括第二套部和内侧限位部，所述内侧限位部位于所述第二套部的底端，所述内侧限位部形成于所述第二套部的内壁，所述外侧限位部用于与所述内侧限位部配合。
[0019]该技术方案的有益效果在于：所述外侧限位部与所述内侧限位部配合可以限制卸料板相对卸料板座向下移动的极限位置，使卸料板不易从卸料板座中掉出，提高了冲孔装置的可靠性。
[0020]可选的，所述上模单元还包括固定于所述上模座的导向组件，所述下模单元还包括衬套，所述衬套固定于所述模具，所述导向组件用于伸入所述衬套，且所述导向组件用于与所述衬套在竖直方向上滑动配合。
[0021]该技术方案的有益效果在于：当上模座和冲头组件逐渐向下移动时，导向组件也一同逐渐向下移动，导向组件伸入衬套后，导向组件与衬套滚动配合，开始对上模座和冲头组件的移动进行导向，并在该导向下对陶瓷膜片冲孔，进一步提高了陶瓷膜片冲孔的精度。
[0022]可选的，所述导向组件包括导柱、钢球衬套和第二弹簧，所述导柱固定于上模座，所述钢球衬套和所述第二弹簧均套装于所述导柱，在竖直方向上所述钢球衬套相对所述导柱滚动配合，所述钢球衬套用于与所述衬套滚动配合以压缩所述第二弹簧。
[0023]本申请的另一个方面提供一种叠压机，包括本申请实施例所提供的冲孔装置。
[0024]本申请提供的技术方案可以达到以下有益效果：
[0025]本申请所提供的冲孔装置及叠压机，使用时，将待冲孔的陶瓷膜片放置于模具，模具首先对陶瓷膜片进行定位，然后，使各冲头组件在直线驱动件的带动下逐渐下移，并使各冲头组件与模具上的各通孔一一对应配合完成对陶瓷膜片冲定位孔，由于在上模座上各冲头组件之间的距离是固定不变的，冲孔装置在陶瓷膜片上加工出的各定位孔之间的相对距离就是固定的，这使得某一个陶瓷膜片上两个定位孔之间的距离，与另一个陶瓷膜片在相应位置上的两个定位孔之间的距离总是一致，这有利于保证后续生产中每层陶瓷膜片的位置精度。
[0026]本申请的附加技术特征及其优点将在下面的描述内容中阐述地更加明显，或通过本申请的具体实践可以了解到。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本申请具体实施方式的技术方案，下面将对具体实施方式描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0028]图1为本申请实施例提供的冲孔装置的一种实施方式的立体结构示意图；
[0029]图2为本申请实施例提供的冲孔装置的一种实施方式的侧视结构示意图；
[0030]图3为本申请实施例提供的上模单元的一种实施方式的仰视结构示意图；
[0031]图4为本申请实施例提供的上模单元本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.冲孔装置，其特征在于，包括支架、上模单元和下模单元，所述上模单元安装于所述支架，所述上模单元位于所述下模单元的上方；所述上模单元包括从上到下依次连接的直线驱动件、上模座和冲头组件，所述直线驱动件与所述支架连接，所述冲头组件的个数为至少两个；所述下模单元包括下模座和安装于所述下模座的顶端的模具，在所述模具上形成有多个通孔，多个所述通孔用于与各所述冲头组件一一对应的配合以对陶瓷膜片冲孔。2.根据权利要求1所述的冲孔装置，其特征在于，所述冲头组件包括固定于所述上模座的凸模，在所述凸模内形成有在所述凸模的轴向上贯穿所述凸模的空气通道，所述空气通道用于通入压缩空气。3.根据权利要求2所述的冲孔装置，其特征在于，所述下模单元还包括位于所述下模座内的残料盒，残料盒与各所述通孔连通。4.根据权利要求1所述的冲孔装置，其特征在于，所述冲头组件包括凸模和卸料板，所述凸模固定于上模座上，所述卸料板为套状，所述卸料板套装于所述凸模之外，在竖直方向上所述卸料板与所述凸模滑动配合，以使所述卸料板的底端能够位于所述凸模的底端的下方。5.根据权利要求4所述的冲孔装置，其特征在于，所述冲头组件还包括第一弹簧，所述第一弹簧套装于所述凸模之外，所述第一弹簧的顶端固定于所述上模座，所述第一弹簧的底端固定于所述卸料板。6.根据权利要求5所述的冲孔装置，其特征在于，所述冲头组件还包...
【专利技术属性】
技术研发人员：张世强，乔文远，朱林涛，刘洋，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：
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