加料机对位底座及使用其的加料系统技术方案

技术编号:35397715 阅读:18 留言:0更新日期:2022-10-29 19:24
本实用新型专利技术公开了一种加料机对位底座及使用其的加料系统,包括:支承底板,支承底板的顶端面上间隔地设有多个适于平衡地承托加料机的万向球;限位组件,其包括在支承底板上沿着加料机运动方向的其中一个侧端面设有的固定限位结构和在另一个侧端面设有的活动限位结构;其中活动限位结构适于相对于固定限位结构做相向和相离运动以实现对于加料机的夹紧和释放。本实用新型专利技术可以有效提高加料机与单晶炉的对接操作的精度。炉的对接操作的精度。炉的对接操作的精度。

【技术实现步骤摘要】
加料机对位底座及使用其的加料系统


[0001]本技术涉及太阳能和半导体加工
,尤其涉及一种加料机对位底座及使用其的加料系统。

技术介绍

[0002]太阳能和半导体加工过程中经常需要用加料机对单晶炉进行加料;要求实现加料机与单晶炉的炉筒的快速与准确对接。现有技术中通常采用移动设备把加料机移动到晶炉的炉筒旁边,使加料机前的波纹管中心与晶炉的炉筒上配置的插板阀中心基本重合,其要求重合精度一般在正负5mm以内,而目前移动设备比如AGV车定位精度只有厘米级,满足不了要求。在此情况下,为了尽可能地满足重合精度,可能需要使用AGV车定位来回多次操作来提高对位精度,整体的操作过程不仅比较繁琐,而且其过程中的精度还是无法有效控制。

技术实现思路

[0003]本技术的第一目的是提供一种加料机对位底座,以解决提高加料机对接操作的精度的技术问题。
[0004]本技术的第二目的是提供一种加料系统,以解决提高加料机与单晶炉的对接操作的精度的技术问题。
[0005]本技术的加料机对位底座是这样实现的:
[0006]一种加料机对位底座,包括:
[0007]支承底板,所述支承底板的顶端面上间隔地设有多个适于平衡地承托加料机的万向球;
[0008]限位组件,其包括在支承底板上沿着加料机运动方向的其中一个侧端面设有的固定限位结构和在另一个侧端面设有的活动限位结构;其中所述活动限位结构适于相对于固定限位结构做相向和相离运动以实现对于加料机的夹紧和释放。
[0009]在本技术可选的实施例中,在所述支承底板上设有四个万向球,且四个万向球分别位于一矩形结构的四个端角处。
[0010]在本技术可选的实施例中,所述固定限位结构包括在支承底板上沿着加料机运动方向的其中一个侧端面设有的至少一个第一滚轮;以及
[0011]所述第一滚轮的轴线与支承底板垂直以使得第一滚轮适于与加料机的侧壁形成该加料机运动方向的滚动摩擦。
[0012]在本技术可选的实施例中,所述活动限位结构包括与所述支承底板滑动配合的活动板和设于活动板朝向加料机一侧端上的至少一个第二滚轮;以及
[0013]所述第二滚轮的轴线与支承底板垂直以使得第二滚轮适于与加料机的侧壁形成该加料机运动方向的滚动摩擦。
[0014]在本技术可选的实施例中,所述活动板与支承底板之间设有适于驱动该活动板做垂直于加料机运动方向的驱动组件。
[0015]在本技术可选的实施例中,所述驱动组件包括与所述活动板固连的滑块、设于支承底板上的且与所述滑块滑动配合的一对滑轨,以及与所述活动板背离加料机的底端面固连的伸缩驱动件。
[0016]在本技术可选的实施例中,所述伸缩驱动件采用伸缩气缸。
[0017]在本技术可选的实施例中,在所述支承底板朝向加料机的顶端面还设有凸起的适于与加料机底端接触配合的阻尼座;以及
[0018]所述阻尼座采用弹性材质制成。
[0019]在本技术可选的实施例中,所述加料机对位底座还包括在支承底板背离加料机的底端面设有的多个支撑腿。
[0020]本技术的加料系统是这样实现的:
[0021]一种加料系统,包括:所述的加料机对位底座、设于所述加料机对位底座上的加料机,以及放置在加料机对位底座旁侧的以适于与加料机对接的单晶炉。
[0022]采用了上述技术方案,本技术具有以下的有益效果:本技术的加料机对位底座及使用其的加料系统,将支承底板按照加料机与单晶炉的对位精度来准确地固定其位置,由于支承底板整体的结构简单,不像加料机本身结构复杂,重量较大,故而将支承底板与单晶炉之间精确对位的操作难度小,精确度可控。待支承底板固定到位后,通过移动设备例如运转小车将加料机放置在支承底板上,此时的移动设备只需要将加料机大致运送放置在支承底板上即可,不需要考虑加料机与单晶炉之间的对位精度问题。综上,也即可以通过支承底板来实现加料机与单晶炉之间进行对接操作的过渡衔接作用,从而降低对接精度的控制难度,以最终提高操作的便捷性以及对接的精确度。
附图说明
[0023]图1为本技术的加料机对位底座的第一视角下的整体结构示意图;
[0024]图2为本技术的加料机对位底座的第二视角下的整体结构示意图;
[0025]图3为本技术的加料机对位底座的第三视角下的整体结构示意图;
[0026]图4为本技术的加料系统的整体结构示意图。
[0027]图中:支承底板1、万向球11、第一滚轮2、活动板3、第二滚轮4、滑轨51、滑块52、伸缩气缸53、支撑腿6、阻尼座7。
具体实施方式
[0028]为了使本技术的内容更容易被清楚地理解,下面根据具体实施例并结合附图,对本技术作进一步详细的说明。
[0029]实施例1:
[0030]请参阅图1至3所示,本实施例提供了一种加料机对位底座,包括:支承底板1和设于支承底板1上的限位组件。
[0031]具体来说,在支承底板1的顶端面上间隔地设有多个适于平衡地承托加料机的万向球11;结合附图以一种可选的情况举例来说,本实施例在支承底板1上设有四个万向球11,且四个万向球11分别位于一矩形结构的四个端角处。通过四个端角处分别设置的万向球11来起到对于加料机8的平衡支撑,且四个万向球11与加料机8之间可以形成滚动摩擦式
的配合。
[0032]限位组件,其包括在支承底板1上沿着加料机8运动方向的其中一个侧端面设有的固定限位结构和在另一个侧端面设有的活动限位结构;其中活动限位结构适于相对于固定限位结构做相向和相离运动以实现对于加料机8的夹紧和释放。需要加以说明的是,此处加料机的运动方向指的是加料机8在与单晶炉9进行对接操作时的运动方向,通过限位组件的设置来起到对于加料机8的运动方向的侧端面的限位,使得加料机8在与单晶炉9对接的时候防止出现位置的偏移而影响到加料机8与单晶炉9的对接的精度。
[0033]再详细来说,固定限位结构在支承底板1上是固定不变的,而活动限位结构则是可以做相对于固定限位结构的相向和相离运动,当活动限位结构与固定限位结构做相向运动时,可以实现对于加料机8的侧向夹紧;而当动限位结构与固定限位结构做相离运动时,则是可以解除对于加料机8的侧向夹紧。
[0034]接下来结合附图举例一种可选的情况来说,固定限位结构包括在支承底板1上沿着加料机8运动方向的其中一个侧端面设有的两个间隔设置且结构相同的第一滚轮2;需要加以说明的是,第一滚轮2的轴线与支承底板1垂直以使得第一滚轮2适于与加料机的侧壁形成该加料机8运动方向的滚动摩擦。也就是说第一滚轮2虽然可以实现对于加料机8的侧向的夹紧,但是可以通过滚动摩擦来形成对于加料机8的运动方向的助推力,而不会影响第一滚轮2的设置而限制加料机8的运动阻力。
[0035]再者来说,本实施例采用的活动限位结构包括与支承底板1滑动配合的活动板3和设于活动板3朝向加料本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加料机对位底座,其特征在于,包括:支承底板,所述支承底板的顶端面上间隔地设有多个适于平衡地承托加料机的万向球;限位组件,其包括在支承底板上沿着加料机运动方向的其中一个侧端面设有的固定限位结构和在另一个侧端面设有的活动限位结构;其中所述活动限位结构适于相对于固定限位结构做相向和相离运动以实现对于加料机的夹紧和释放。2.根据权利要求1所述的加料机对位底座,其特征在于,在所述支承底板上设有四个万向球,且四个万向球分别位于一矩形结构的四个端角处。3.根据权利要求1所述的加料机对位底座,其特征在于,所述固定限位结构包括在支承底板上沿着加料机运动方向的其中一个侧端面设有的至少一个第一滚轮;以及所述第一滚轮的轴线与支承底板垂直以使得第一滚轮适于与加料机的侧壁形成该加料机运动方向的滚动摩擦。4.根据权利要求2或3所述的加料机对位底座,其特征在于,所述活动限位结构包括与所述支承底板滑动配合的活动板和设于活动板朝向加料机一侧端上的至少一个第二滚轮;以及所述第二滚轮的轴线与支承底板垂直以使得第二滚轮适于与加料机...

【专利技术属性】
技术研发人员:李家珍李昕昱
申请(专利权)人:常州得迈机电技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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