加料机对位底座及使用其的加料系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种加料机对位底座及使用其的加料系统，包括：支承底板，支承底板的顶端面上间隔地设有多个适于平衡地承托加料机的万向球；限位组件，其包括在支承底板上沿着加料机运动方向的其中一个侧端面设有的固定限位结构和在另一个侧端面设有的活动限位结构；其中活动限位结构适于相对于固定限位结构做相向和相离运动以实现对于加料机的夹紧和释放。本实用新型专利技术可以有效提高加料机与单晶炉的对接操作的精度。炉的对接操作的精度。炉的对接操作的精度。

【技术实现步骤摘要】
加料机对位底座及使用其的加料系统


[0001]本技术涉及太阳能和半导体加工
，尤其涉及一种加料机对位底座及使用其的加料系统。

技术介绍

[0002]太阳能和半导体加工过程中经常需要用加料机对单晶炉进行加料；要求实现加料机与单晶炉的炉筒的快速与准确对接。现有技术中通常采用移动设备把加料机移动到晶炉的炉筒旁边，使加料机前的波纹管中心与晶炉的炉筒上配置的插板阀中心基本重合，其要求重合精度一般在正负5mm以内，而目前移动设备比如AGV车定位精度只有厘米级，满足不了要求。在此情况下，为了尽可能地满足重合精度，可能需要使用AGV车定位来回多次操作来提高对位精度，整体的操作过程不仅比较繁琐，而且其过程中的精度还是无法有效控制。

技术实现思路

[0003]本技术的第一目的是提供一种加料机对位底座，以解决提高加料机对接操作的精度的技术问题。
[0004]本技术的第二目的是提供一种加料系统，以解决提高加料机与单晶炉的对接操作的精度的技术问题。
[0005]本技术的加料机对位底座是这样实现的：
[0006]一种加料机对位底座本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种加料机对位底座，其特征在于，包括：支承底板，所述支承底板的顶端面上间隔地设有多个适于平衡地承托加料机的万向球；限位组件，其包括在支承底板上沿着加料机运动方向的其中一个侧端面设有的固定限位结构和在另一个侧端面设有的活动限位结构；其中所述活动限位结构适于相对于固定限位结构做相向和相离运动以实现对于加料机的夹紧和释放。2.根据权利要求1所述的加料机对位底座，其特征在于，在所述支承底板上设有四个万向球，且四个万向球分别位于一矩形结构的四个端角处。3.根据权利要求1所述的加料机对位底座，其特征在于，所述固定限位结构包括在支承底板上沿着加料机运动方向的其中一个侧端面设有的至少一个第一滚轮；以及所述第一滚轮的轴线与支承底板垂直以使得第一滚轮适于与加料机的侧壁形成该加料机运动方向的滚动摩擦。4.根据权利要求2或3所述的加料机对位底座，其特征在于，所述活动限位结构包括与所述支承底板滑动配合的活动板和设于活动板朝向加料机一侧端上的至少一个第二滚轮；以及所述第二滚轮的轴线与支承底板垂直以使得第二滚轮适于与加料机...

【专利技术属性】
技术研发人员：李家珍，李昕昱，
申请(专利权)人：常州得迈机电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：