一种真空设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种真空设备，属于真空镀膜领域。本实用新型专利技术包括功能板、真空腔本体以及顶升模组，其中，顶升模组包括推杆以及驱动单元；驱动单元包括升降装置和电机，电机用于为升降装置提供动力源，升降装置远离电机的一端与推杆相连接，升降装置用于驱动推杆做线性运动，且升降装置与真空腔本体之间设置有第一密封圈，形成真空密封。本实用新型专利技术通过优化顶升模组结构，并配合密封圈，使得顶升模组无需设置焊接波纹管，减少设备焊接波纹管的使用数量，降低真空泄漏和特气泄露的概率，提高设备的稼动率。的稼动率。的稼动率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空设备


[0001]本技术涉及一种真空设备，属于真空镀膜领域。

技术介绍

[0002]为了满足高产能的要求，现有真空设备的腔体和功能板已经大尺寸化；为了拓宽工艺窗口，需要镀膜距离可调，即功能板可升降。如图1所示，现有的大尺寸功能板的升降方案为：腔体底部安装一个升降模组，该升降模组上有升降平台，其上有四个或多个支撑柱穿过腔体底部并支撑着功能板升降；支撑柱周边的密封方案为焊接波纹管和密封圈进行密封。
[0003]又例如专利文献中提出了一种硅片的工艺腔体、硅片加工设备和硅片加工方法，其中，工艺腔体包括：壳体，内有腔室；真空门阀，载板，通过真空门阀进出腔室，载板用于承载硅片；传输组件，用于传输载板；在载板进出方向上，腔室的两侧，分别设有多个顶升装置。在该专利文献中，顶升装置的顶升柱同样通过波纹管密封。
[0004]但需要指出的是，功能板的升降机构需满足不泄露，长寿命，方便维护等要求。但升降设备的节拍时间短(30sec)，升降机构的动作频率高，如果按设备工作5年计算，那么这段时间内焊接波纹管的动作次数为：60sec*60*24*365*0.95*5/30sec＝4993200次，(0.95为设备稼动率)。所以对焊接波纹管有长寿命的要求是500万次，而国产的焊接波纹管的寿命普遍比较短(100万次)，即使外国生产的焊接波纹管也才300万次左右。焊接波纹管寿命短带来两个问题：破裂时导致真空泄露，影响设备运行；并且从腔体泄露出有毒工艺气体，给生产人员带来人身安全隐患。
[0005]并且，波纹管在使用一定时间后，需要进行更换。而在现有结构中，波纹管更换较为困难，尤其当需要多次更换波纹管时，不仅会造成成本上升，同时更提升了更换难度。
[0006]专利文献：CN 111477582 A、硅片的工艺腔体、硅片加工设备和硅片加工方法、2020.07.31。

技术实现思路

[0007]1.要解决的问题
[0008]为了降低设备部件的更换难度，本技术提供一种真空设备，包括功能板、真空腔本体以及顶升模组，其中，顶升模组包括推杆以及驱动单元；驱动单元包括升降装置和电机，电机用于为升降装置提供动力源，升降装置远离电机的一端与推杆相连接，升降装置用于驱动推杆做线性运动，且升降装置与真空腔本体之间设置有第一密封圈，形成真空密封；本技术通过优化顶升模组结构，并配合密封圈，使得顶升模组无需设置焊接波纹管，减少设备焊接波纹管的使用数量，降低真空泄漏和特气泄露的概率，提高设备的稼动率。
[0009]2.技术方案
[0010]为了解决上述问题，本技术所采用的技术方案如下：
[0011]本技术提供一种真空设备，包括功能板、真空腔本体以及顶升模组；真空腔本
体的内部设置有腔室，腔室用于安置功能板，顶升模组的一端与功能板相连接；
[0012]其中，顶升模组包括：
[0013]驱动单元，驱动单元包括升降装置和电机，电机用于为所述升降装置提供动力源；所述真空腔本体与所述升降装置接触位置设置有通孔，且两者之间设置有第一密封圈；以及
[0014]推杆，所述推杆的一端穿过所述真空腔本体的通孔与所述功能板相连接，所述推杆的另一端与所述驱动单元相连，所述驱动单元驱动所述推杆沿所述真空腔本体的所述通孔做线性运动。
[0015]优选地，推杆与功能板可拆卸地连接。
[0016]优选地，升降装置与功能板可拆卸地连接。
[0017]优选地，升降装置与电机之间设置有磁流体和减速机，减速机与电机的输出端，磁流体设置于减速机和升降装置之间。
[0018]优选地，升降装置内部具有通道，至少部分推杆可沿通道内壁做线性运动，且通道通过通孔与真空腔本体内部的腔室相连通；升降装置的壳体侧壁设置有抽真空管路，抽真空管路与通道相连通。
[0019]优选地，还包括冷却水路，冷却水路设置于升降装置的壳体内部，用于冷却升降装置。
[0020]优选地，推杆与通道内壁的接触面为光洁面，且推杆与通道内壁之间设置有第二密封圈。
[0021]优选地，功能板为加热板、冷却板、电极板中的至少一种。
[0022]优选地，还包括功能板导线柱和波纹管，功能板导线柱的一端与功能板相连接，一端具有用于安装配套部件的安装部，波纹管套装于安装部周侧。
[0023]优选地，顶升模组设置有位置传感器。
[0024]优选地，安装部设置有位置传感器。
[0025]优选地，波纹管的一端与真空腔本体连接，波纹管的另一端与安装部远离功能板的一端相连接。
[0026]优选地，真空设备包括功能板、真空腔本体以及至少两个顶升模组，且至少一个顶升模组不设置波纹管。
[0027]3.有益效果
[0028]相比于现有技术，本技术的真空设备，其驱动单元包括升降装置和电机，电机用于为升降装置提供动力源，升降装置远离电机的一端与推杆相连接，升降装置用于驱动推杆做线性运动，且升降装置与真空腔本体之间设置有第一密封圈，形成真空密封；本技术通过优化顶升模组结构，并在连接处设置密封圈，使得顶升模组无需设置焊接波纹管进行密封，减少设备焊接波纹管的使用数量，降低真空泄漏和特气泄露的概率，提高设备的稼动率和产量。
附图说明
[0029]图1为现有技术中的真空设备结构示意图；
[0030]图2为本技术的真空设备的结构示意图；
[0031]图3为本技术的真空设备的侧视图；
[0032]图4为本技术的波纹管的设置位置示意图；
[0033]图5为本技术的顶升模组的结构示意图；
[0034]图6为本技术安装有位置传感器的顶升模组的结构示意图；
[0035]图7为本技术的顶升模组的侧部结构示意图；
[0036]图8为本技术的顶升模组的剖视结构示意图；
[0037]图9为本技术的第二位置传感器结构示意图；
[0038]图中：
[0039]330、现有技术中的波纹管；
[0040]100、真空腔本体；110、腔室；120、功能板；130、功能板导线柱；140、陶瓷垫片；
[0041]200、顶升模组；210、推杆；211、丝杆；220/220a/220b、抽真空管路；230、升降装置； 240、磁流体；250、减速机；260、电机；261、电机信号线；261a、第一电机信号线261b、第二电机信号线；270a/270b/270c/270d/270e/270f、冷却水路的进/出水口；280a、第一密封圈； 280b、第二密封圈；290a/290b、位置传感器；
[0042]310、静法兰；320、波纹管；331、遮光板；332、支架；333、上极限槽型开关；334、原点槽型开关；335、下极限槽型开关。
具体实施方式
[0043]下文对本技术的示例性实施例的详细描述参考了附图，该附图形成描述的一部分，在该附图中作为示例示出本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空设备，包括功能板(120)、真空腔本体(100)以及顶升模组(200)；所述真空腔本体(100)的内部设置有腔室(110)，所述腔室(110)用于安置功能板(120)；所述顶升模组(200)的一端与功能板(120)相连接；其特征在于，所述顶升模组(200)包括：驱动单元，所述驱动单元包括升降装置(230)和电机(260)，所述电机(260)用于为所述升降装置(230)提供动力源；所述真空腔本体(100)与所述升降装置(230)接触位置设置有通孔，且两者之间设置有第一密封圈(280a)；推杆(210)，所述推杆(210)的一端穿过所述真空腔本体(100)的通孔与所述功能板(120)相连接，所述推杆(210)的另一端与所述驱动单元相连，所述驱动单元驱动所述推杆(210)沿所述真空腔本体(100)的所述通孔做线性运动。2.根据权利要求1所述的一种真空设备，其特征在于：所述推杆(210)与所述功能板(120)可拆卸地连接，和/或所述升降装置(230)与所述功能板(120)可拆卸地连接。3.根据权利要求1所述的一种真空设备，其特征在于：所述升降装置(230)与所述电机(260)之间设置有磁流体(240)和减速机(250)，所述减速机(250)与所述电机(260)的输出端，所述磁流体(240)设置于所述减速机(250)和升降装置(230)之间。4.根据权利要求3所述的一种真空设备，其特征在于：所述升降装置(230)内部具有通道，至少部分所述推杆(210)可沿所述通道内壁做线性运动，且所述通道通过所述通孔与真空腔本体(100...

【专利技术属性】
技术研发人员：周剑，李王俊，张斌，房现飞，王朝，刘亚南，
申请(专利权)人：苏州迈为科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：