一种被动旋转配重加压式抛头制造技术

一种被动旋转配重加压式抛头，本实用新型专利技术涉及压式抛头技术领域，立柱设于箱体上；横梁设于立柱的上端；设于横梁上；气缸与外部气源连接；调心组件设于气缸的活动端下方；配重盘设于调心组件的下端；陶瓷盘设于配重盘的下端；陶瓷环套设于陶瓷盘的外侧；支撑环固定在立柱的底部，支撑环与陶瓷环的外环壁配合设置；导轮的数量为两个，且分别通过轴和轴承旋接在支撑环的两端底部，导轮与陶瓷环活动抵触设置；结构简单，能够实现下盘平面度自修研，提高了实用性；能够实现上盘加压，在满足一般市场使用需求后，性价比较高。性价比较高。性价比较高。

【技术实现步骤摘要】
一种被动旋转配重加压式抛头


[0001]本技术涉及压式抛头
，具体涉及一种被动旋转配重加压式抛头。

技术介绍

[0002]当前在对10英寸以内规则或异形的晶圆进行厚度抛光减薄加工时，若选用传统多头单面研抛设备，则显得性价比不高，因为传统的上抛头零件组成较多，且有专门的加压系统，上抛头基本均为电机独立驱动的主动旋转式，下盘的平面的修研都配有车刀系统进行配车修平，故其价格较高；同时对于加工10英寸以内的晶圆在效率上也没有较大的优势；目前市场上这种传动链结构简单、机械式抛头加压、自适应下盘平面度自修研的单面多头抛设备比较少，是一块空白。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提出一种被动旋转配重加压式抛头，结构简单，能够实现下盘平面度自修研，提高了实用性；能够实现上盘加压，在满足一般市场使用需求后，性价比较高。
[0004]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：它包含箱体和下盘系统；箱体和下盘系统；箱体上设有下盘系统；
[0005]其特征在于，它还包含：
[0006]上抛头组件，所述的上抛头组件的数量为三个，且分别设于箱体上；所述的上抛头组件包含：
[0007]立柱，所述的立柱设于箱体上；
[0008]横梁，所述的横梁设于立柱的上端；
[0009]气缸，所述的气缸设于横梁上；气缸与外部气源连接；
[0010]调心组件，所述的调心组件设于气缸的活动端下方；
[0011]配重盘，所述的配重盘设于调心组件的下端；r/>[0012]陶瓷盘，所述的陶瓷盘设于配重盘的下端；
[0013]陶瓷环，所述的陶瓷环套设于陶瓷盘的外侧；
[0014]支撑环，所述的支撑环固定在立柱的底部，支撑环与陶瓷环的外环壁配合设置；
[0015]导轮，所述的导轮的数量为两个，且分别通过轴和轴承旋接在支撑环的两端底部，导轮与陶瓷环活动抵触设置。
[0016]优选地，三个立柱以下盘系统为圆心呈等圆角分别。
[0017]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术提供了一种被动旋转配重加压式抛头，结构简单，能够实现下盘平面度自修研，提高了实用性；能够实现上盘加压，在满足一般市场使用需求后，性价比较高。
附图说明
[0018]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1是本技术的结构示意图。
[0020]图2是图1中的A部放大图。
[0021]附图标记说明：
[0022]箱体1、下盘系统2、上抛头组件3、立柱3
‑
1、横梁3
‑
2、气缸3
‑
3、调心组件3
‑
4、配重盘3
‑
5、陶瓷盘3
‑
6、陶瓷环3
‑
7、支撑环3
‑
8、导轮3
‑
9。
具体实施方式
[0023]下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0024]参看如图1至图2所示，本具体实施方式采用的技术方案是：它包含箱体1和下盘系统2；箱体1和下盘系统2；箱体1上设有下盘系统2；
[0025]它还包含：
[0026]上抛头组件3，所述的上抛头组件3的数量为三个，且分别设于箱体1上；所述的上抛头组件3包含：
[0027]立柱3
‑
1，所述的立柱3
‑
1设于箱体1上；
[0028]横梁3
‑
2，所述的横梁3
‑
2设于立柱3
‑
1的上端；
[0029]气缸3
‑
3，所述的气缸3
‑
3设于横梁3
‑
2上；气缸3
‑
3与外部气源连接，气缸3
‑
3的具体使用型号根据实际使用要求直接从市场上购买安装并使用的；
[0030]调心组件3
‑
4，所述的调心组件3
‑
4设于气缸3
‑
3的活动端下方；
[0031]配重盘3
‑
5，所述的配重盘3
‑
5设于调心组件3
‑
4的下端；
[0032]陶瓷盘3
‑
6，所述的陶瓷盘3
‑
6设于配重盘3
‑
5的下端；
[0033]陶瓷环3
‑
7，所述的陶瓷环3
‑
7套设于陶瓷盘3
‑
6的外侧；
[0034]支撑环3
‑
8，所述的支撑环3
‑
8通过螺栓固定在立柱3
‑
1的底部，支撑环3
‑
8与陶瓷环3
‑
7的外环壁配合设置；
[0035]导轮3
‑
9，所述的导轮3
‑
9的数量为两个，且分别通过轴和轴承旋接在支撑环3
‑
8的两端底部，导轮3
‑
9与陶瓷环3
‑
7活动抵触设置。
[0036]作为优选方案，更进一步的，三个立柱3
‑
1以下盘系统2为圆心呈等圆角分别。
[0037]本具体实施方式的工作原理：使用时，选择合适规格的配重盘3
‑
5，调心组件3
‑
4与配重环连接，配重盘3
‑
5下面为承载产品工件的陶瓷盘3
‑
6，启动气缸3
‑
3，气缸3
‑
3控制上抛头组件3的升降，陶瓷环3
‑
7套设于陶瓷盘3
‑
6的外侧，陶瓷环3
‑
7与下盘系统2旋转时能够自动修研下盘平面度，陶瓷环3
‑
7上的两个导轮3
‑
9位置稳定。
[0038]采用上述结构后，本具体实施方式的有益效果为：
[0039]1、设有陶瓷环3
‑
7和导轮3
‑
9，结构简单，能够实现下盘平面度自修研，提高了实用性；
[0040]2、设有配重盘3
‑
5，配重盘3
‑
5调节上盘加压功能，能够实现上盘加压，在满足一般
市场使用需求后，性价比较高。
[0041]以上所述，仅用以说明本技术的技术方案而非限制，本领域普通技术人员对本技术的技术方案所做的其它修改或者等同替换，只要不脱离本技术技术方案的精神和范围，均应涵盖在本技术的权利要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种被动旋转配重加压式抛头，其特征在于：它包含箱体（1）和下盘系统（2）；箱体（1）和下盘系统（2）；箱体（1）上设有下盘系统（2）；其特征在于，它还包含：上抛头组件（3），所述的上抛头组件（3）的数量为三个，且分别设于箱体（1）上；所述的上抛头组件（3）包含：立柱（3
‑
1），所述的立柱（3
‑
1）设于箱体（1）上；横梁（3
‑
2），所述的横梁（3
‑
2）设于立柱（3
‑
1）的上端；气缸（3
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3），所述的气缸（3
‑
3）设于横梁（3
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2）上；气缸（3
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3）与外部气源连接；调心组件（3
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4），所述的调心组件（3
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4）设于气缸（3
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3）的活动端下方；配重盘（3
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5），所述的配重盘（3
‑
5）设于调心组件（3
‑
...

【专利技术属性】
技术研发人员：高霞，许景琴，王正东，贺海良，袁建强，周三虎，
申请(专利权)人：兰州靖峰机电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：