一种干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪，所述联用分析仪包括依次连接的一次气溶胶转化装置、膜富集装置、二次气溶胶转化装置，所述一次气溶胶转化装置、膜富集装置、二次气溶胶转化装置分别连接辅助气装置，所述膜富集装置连接分析检测仪一，所述二次气溶胶转化装置、辅助气装置连接分析检测仪二；本实用新型专利技术无需使用试剂，有效实现富集，可应用于复杂基体样品、高纯样品中杂质元素的检测。检测。检测。

【技术实现步骤摘要】
一种干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪


[0001]本技术涉及电感耦合等离子体质谱
，特别是涉及一种干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪。

技术介绍

[0002]随着电感耦合等离子体质谱(ICPMS)技术的发展，已经广泛应用于各个领域无机元素的测定，包括食品、生物医药、半导体、环境、材料等。但是面对样品分析的复杂性，ICPMS也面临着很多的应用难题。首先，ICPMS的分析多数情况下需要进行样品称重，然后进行湿法消解，湿法消解一般需要使用各类的酸或者碱等试剂，并且消解流程一般也比较繁琐，例如有些高温合金的消解过程，动辄耗费几个小时以上，费时费力，并且会使用较多的化学试剂，产生较多的废液，不绿色环保。同时，一些酸的使用，例如盐酸、硫酸等会产生较为复杂的基体效应，也会给测试带来不便。
[0003]此外，ICPMS传统的湿法雾化进样方式，会引入大量的水和试剂，会消耗大量的等离子体能量，从而降低了样品的电离效率。尤其在分析高盐、高基体样品时，基体元素或者盐分会与待测元素产生较大的电离竞争，从而针对待测元素无法完成准确的分析。并且水和试剂的引入，会带来O、H、N、Cl和样品中各种元素结合产生的多原子离子，也会带来很多的干扰，例如ArO就会对Fe的分析产生极大的干扰。
[0004]尽管有些前处理装置通过采用冷凝或者膜去溶的方式能够去除部分的水汽，但是并不完全，仍然会存在较大量的水或者溶剂会进入到等离子体中消耗能量，并且这种去溶剂的方式不能实现样品的富集，对于ICPMS的检出限和分析精度没有特别大的提升。
>
技术实现思路

[0005]本技术的目的是提供一种干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪，无需使用试剂，有效实现富集，可应用于复杂基体样品、高纯样品中杂质元素的检测。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：
[0007]一种干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪，包括：依次连接的一次气溶胶转化装置、膜富集装置、二次气溶胶转化装置，所述一次气溶胶转化装置、膜富集装置、二次气溶胶转化装置分别连接辅助气装置，所述膜富集装置连接分析检测仪一，所述二次气溶胶转化装置、辅助气装置连接分析检测仪二；
[0008]所述一次气溶胶转化装置用于实现对待分析样品的一次气溶胶化，形成气溶胶；所述膜富集装置设置有滤膜，用于拦截形成的气溶胶，进行富集浓缩，形成均匀的颗粒物膜，所述二次气溶胶转化装置用于激发颗粒物膜产生微小粒径颗粒，所述辅助气装置用于提供高纯气体与微小粒径颗粒溶合形成去溶剂的干燥气溶胶；所述分析检测仪一为无损检测装置，具体采用B射线分析仪、X射线荧光光谱仪、拉曼光谱仪或红外气体分析仪；所述分析检测仪二为破环性检测装置，具体采用ICP
‑
MS分析仪或者ICP
‑
OES分析仪。
[0009]优选的，还包括在线称重装置，所述在线称重装置与所述膜富集装置连接；所述在
线称重装置为原位质量检测仪。
[0010]优选的，所述一次气溶胶转化装置为激光诱导剥蚀装置。
[0011]优选的，所述二次气溶胶转化装置为激光诱导剥蚀装置。
[0012]优选的，所述高纯气体为高纯氩气或氦气。
[0013]根据本技术提供的具体实施例，本技术公开了以下技术效果：本技术提供的干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪，针对固体样品、液体样品或气体样品，首先对待测样品实现一次气溶胶化，然后通过富集浓缩，进而二次激发形成去溶剂的二次气溶胶，与电感耦合等离子体质谱仪形成联用分析仪，实现复杂基体和高纯样品中杂质元素的检测；其中，本技术能够通过膜富集装置实现待测样品的富集浓缩，并通过气溶胶二次激发装置再次激发富集样品，能够提高检出限，可应用于半导体超纯材料或者试剂的杂质测定；本技术涉及的膜富集装置，能够进行实现原位在线的实时称重，极大提高准确定量的分析能力和数据的稳定性；本技术涉及的具有富集功能的联用分析仪能够实现与其他多种检测方法的联用，包括但不限于X射线荧光分析仪、拉曼分析仪、红外分析仪等；二次气溶胶转化装置能够将样品是全部剥蚀，从而完全避免分馏效应和基体效应；本技术能够使用标准溶液进行整个系统的校准，大大的摆脱了对固体标样的依赖，首次实现了使用标准溶液校准，即可实现对不同基体固体样品的测试，针对固体样品无需消解，无液体废物的产生，环境友好，大大降低了废液带来的污染问题。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪的结构示意图；
[0016]图2为本技术实施例一中干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪的结构示意图；
[0017]附图标记说明：1、一次性气溶胶转化装置；2、膜富集装置；3、在线称重装置；4、二次气溶胶转化装置；5
‑
1、分析检测仪一；5
‑
2、分析检测仪二。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0019]本技术的目的是提供一种干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪，针对固体样品、液体样品或气体样品，无需使用试剂，有效实现富集，可应用于复杂基体样品、高纯样品中杂质元素的检测。
[0020]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0021]如图1所示，本技术实施例提供的干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪，包括：依次连接的一次气溶胶转化装置1、膜富集装置2、二次气溶胶转化装置4，所述一次气溶胶转化装置1、膜富集装置2、二次气溶胶转化装置4分别连接辅助气装置6，所述膜富集装置2连接分析检测仪一5
‑
1，所述二次气溶胶转化装置4、辅助气装置6连接分析检测仪二5
‑
2；
[0022]所述一次气溶胶转化装置1用于实现对待分析样品的一次气溶胶化，形成气溶胶；所述膜富集装置2设置有滤膜，用于拦截形成的气溶胶，进行富集浓缩，形成均匀的颗粒物膜，所述二次气溶胶转化装置4用于激发颗粒物膜产生微小粒径颗粒，所述辅助气装置6用于提供高纯气体与微小粒径颗粒溶合形成去溶剂的干燥气溶胶；所述分析检测仪一5
‑
1为无损检测装置，具体采用B射线分析仪、X射线荧光光谱仪、拉曼光谱仪或红外气体分析仪；所述分析检测仪二5
‑
2为破环性检本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干法电感耦合等离子体质谱联用分析仪，其特征在于，包括：依次连接的一次气溶胶转化装置(1)、膜富集装置(2)、二次气溶胶转化装置(4)，所述一次气溶胶转化装置(1)、膜富集装置(2)、二次气溶胶转化装置(4)分别连接辅助气装置(6)，所述膜富集装置(2)连接分析检测仪一(5
‑
1)，所述二次气溶胶转化装置(4)、辅助气装置(6)连接分析检测仪二(5
‑
2)；所述一次气溶胶转化装置(1)用于实现对待分析样品的一次气溶胶化，形成气溶胶；所述膜富集装置(2)设置有滤膜，用于拦截形成的气溶胶，进行富集浓缩，形成均匀的颗粒物膜，所述二次气溶胶转化装置(4)用于激发颗粒物膜产生微小粒径颗粒，所述辅助气装置(6)用于提供高纯气体，与微小粒径颗粒溶合形成去溶剂的干燥气溶胶；所述分析检测仪一(5
‑
1)为无损检测装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈学静，王雷，方哲，王超刚，李瑞超，王小龙，郭文韬，李凯，孟祥娥，
申请(专利权)人：钢研纳克检测技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：