一种真空镀膜机用蒸发舟交错顶夹结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜机用蒸发舟交错顶夹结构，包括前侧板、后侧板和蒸发舟主体，所述后侧板一侧的侧壁分别安装有第一固定座和第二固定座，且第一固定座的长度小于第二固定座的长度，所述第一固定座和第二固定座一侧的侧壁安装有第一顶夹结构，所述前侧板的内部皆安装有第三固定座，且第三固定座的内壁皆开设有第二滑槽，所述第二滑槽的内部设置有第二滑块，且第二滑块远离第二滑槽的一端安装有连接板，所述连接板的一端安装有贯穿第三固定座的连接杆。该真空镀膜机用蒸发舟交错顶夹结构通过第三滑槽和第三滑块的相互配合，使第三螺纹杆在旋转的同时可以带动第二挤压板升降来对蒸发舟主体进行顶夹固定。降来对蒸发舟主体进行顶夹固定。降来对蒸发舟主体进行顶夹固定。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机用蒸发舟交错顶夹结构


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种真空镀膜机用蒸发舟交错顶夹结构。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种，蒸发舟为所有蒸发器皿的统称，蒸发舟为所有蒸发器皿的统称。根据使用用途的不同，其成分配方也不一样。所涉及到的材料有氮化硼，二硼化钛，氮化铝，氧化铝，氧化锆，碳化硅，氮化硅等多种金属非金属化合物。19世纪多使用石墨材料做蒸发舟，但污染严重和寿命低，极少使用，蒸发舟在使用时需要通过顶夹机构来进行安装固定，传统的蒸发舟交错顶夹结构基本可以满足人们的使用需求，但是依旧存在一定的问题，具体问题如下所述：
[0003]目前市场上大多数蒸发舟的排布都是直排，使相邻蒸发舟之间的中心距离较大，镀同样宽幅的膜，需要排布更多的蒸发舟，同时在装夹蒸发舟时，无法对顶夹机构的距离进行调节，同时无法对不同长度的蒸发舟进行装夹固定。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机用蒸发舟交错顶夹结构，包括前侧板(1)、后侧板(2)和蒸发舟主体(21)，其特征在于：所述后侧板(2)一侧的侧壁分别安装有第一固定座(3)和第二固定座(4)，且第一固定座(3)的长度小于第二固定座(4)的长度，所述第一固定座(3)和第二固定座(4)一侧的侧壁安装有第一顶夹结构(5)，所述前侧板(1)的内部皆安装有第三固定座(13)，且第三固定座(13)的内壁皆开设有第二滑槽(14)，所述第二滑槽(14)的内部设置有第二滑块(15)，且第二滑块(15)远离第二滑槽(14)的一端安装有连接板(16)，所述连接板(16)的一端安装有贯穿第三固定座(13)的连接杆(18)，且连接杆(18)的一端安装有第二顶夹结构(19)，所述第一顶夹结构(5)和第二顶夹结构(19)的内部设置有蒸发舟主体(21)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用蒸发舟交错顶夹结构，其特征在于：所述第一顶夹结构(5)内部一端的侧壁皆开设有第一滑槽(6)，且第一滑槽(6)的内部设置有第一滑块(7)，所述第一滑块(7)远离第一滑槽(6)的一端安装有第一挤压板(8)，且第一挤压板(8)的底端皆安装有第一齿块(9)，所述第一顶夹结构(5)的顶端开设有第一螺纹孔(10)，且第一螺纹孔(10)的内部螺纹连接有第一螺纹杆(11)，所述第一螺纹杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：王松，
申请(专利权)人：无锡新诚真空科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：